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1. 发明申请

WO2010045750A1 SPEICHERVORRICHTUN 审中-公开
公开(公告)号：WO2010045750A1
公开(公告)日：2010-04-29
申请号：PCT/CH2009/000338
申请日：2009-10-20
申请人： TEC-SEM AG , BLATTNER, Jakob , ZAUGG, Franz
发明人： BLATTNER, Jakob , ZAUGG, Franz
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/68 , H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67265 , H01L21/67259 , H01L21/67769 , H01L21/67778 , H01L21/681
摘要： Bei einer Speichervorrichtung für eine Zwischenlagerung von für die Produktion von Halbleiterbauelementen vorgesehenen Objekten, wie Substrate, Wafer, Reticles, und dergleichen, wobei die Speichervorrichtung ein Gehäuse aufweist, das einen Innenraum umschliesst, das Gehäuse mit einer verschliessbaren Öffnung versehen ist, durch die Objekte in das Gehäuse einführbar und aus dem Gehäuse ausführbar sind, die mit einer Reinraumeinrichtung zur Erzeugung und Aufrechterhaltung von Reinraumbedingungen innerhalb des Gehäuses versehen ist, die eine Handhabungseinrichtung innerhalb des Innenraums aufweist, mittels der Objekte im Innenraum handhabbar sind, und die eine Vielzahl von Lagerplätzen für die Anordnung von Objekten in offenen transportablen Speichermitteln aufweist, soll mit möglichst wenig konstruktiven Aufwand eine möglichst kompakt bauende Speichervorrichtung realisiert werden, bei der auch bei einer Veränderung der Anzahl an Lagerplätzen der Speichervorrichtung eine sichere Positionierung der Handhabungseinrichtung vor den jeweiligen Lagerplätzen und deren Aufnahmen für einzelne Objekte zu erfolgt. Es wird hierzu vorgeschlagen, dass die Handhabungseinrichtung mit Detektionsmitteln versehen ist, die sowohl zur Erkennung von Positionsinformationen des jeweiligen Lagerplatzes als auch zur Erkennung von einzelnen Objekten in den Speichermitteln vorgesehen sind. Zudem kann nur eine Handhabungseinrichtung mit austauschbaren Endeffektoren vorgesehen sein.
摘要翻译：在为用于生产半导体器件，对象，如衬底，晶片标线，和类似物，其中所述存储器装置包括壳体包围的内部空间的临时存储的存储装置，该壳体设置有，通过该对象在一个可封闭的开口所述壳体与所述壳体，该壳体设置有用于生产和在壳体内的洁净室条件维持无尘室设施可插入和可执行，具有在内部空间内的操作装置，可以通过在内部的对象来处理，并且对于所述多个存储位置在打开便携式存储对象的装配装置，以尽可能少的结构支出尽可能内置的紧凑存储装置可以实现，其中即使当在所述存储装置中的S的存储位置的数目的变化到Ichere进行的处理定位装置在各自的存储箱以及它们用于各个对象插座的前面。它提出了一种用于此目的的是，处理装置设置有检测装置，其用于检测相应的存储位置的位置信息两者，并用于检测在各个对象的所述存储装置提供的。另外，只有一个处理设备可以设置有可更换末端执行器。

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