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    • 2. 发明授权
    • Process and device for determining three-dimensional structure in the
submicron range
    • 用于确定亚微米范围内的三维结构的方法和装置
    • US5910660A
    • 1999-06-08
    • US913485
    • 1997-09-17
    • Walter HodelValerio RomanoHeinz Paul Weber
    • Walter HodelValerio RomanoHeinz Paul Weber
    • G01B9/04G01B9/023G01B11/24G01B11/245G01N21/27G01N21/45G02B21/18
    • G01B11/2441G01B9/023
    • A device and method for defining a three-dimensional structure of an object having a submicrometer size splits a coherent electromagnetic radiation beam into two partial beams including a first partial beam and a second partial beam. The first partial beam is focused on the object. The first partial beam is reflected from or dispersed from the object to yield a first radiation directed toward a locus. The second partial beam is directed toward the locus. The first radiation and the second radiation form an electromagnetic combination in a region of the locus. Second phase values are established from the initial phase values via multiplication of the initial phase values by one or more predetermined values to provide information for generating a magnified image representative of the object.
    • PCT No.PCT / CH96 / 00078 Sec。 371日期1997年9月17日 102(e)1997年9月17日PCT PCT 1996年3月6日PCT公布。 公开号WO96 / 29570 日期1996年9月26日用于定义具有亚微米尺寸的物体的三维结构的装置和方法将相干电磁辐射束分成包括第一部分光束和第二部分光束的两个部分光束。 第一部分光束聚焦在物体上。 第一部分光束从物体反射或分散,以产生朝向轨迹的第一辐射。 第二部分光束指向轨迹。 第一辐射和第二辐射在该场所的区域中形成电磁组合。 通过将初始相位值乘以一个或多个预定值,从初始相位值建立第二相位值,以提供用于生成代表对象的放大图像的信息。