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    • 3. 发明公开
    • 금속 산화막의 성막 방법
    • 形成金属氧化物膜的方法
    • KR20180006959A
    • 2018-01-19
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    • HIRAMATSU TAKAHIROORITA HIROYUKIKAWAHARAMURA TOSHIYUKIFUJITA SHIZUOUCHIDA TAKAYUKI
    • C23C16/448C23C16/40
    • C23C16/40C23C16/44C23C16/455H01L21/31
    • 본발명은, 생산효율을높이면서, 고품질의금속산화막을얻는금속산화막의성막방법을얻는것을목적으로한다. 그리고, 본발명의성막방법은이하의처리를실행한다. 용액용기(15) 내에있어서, 금속원소인알루미늄을포함하는원료용액(14)을미스트화시켜원료용액미스트(M1)를얻는다. 용액용기(15)와는독립된용액용기(25) 내에있어서, 산화알루미늄형성용의반응지원제를포함하는반응지원용액(24)을미스트화시켜지원제미스트(M2)를얻는다. 그리고, 경로(L1 및 L2)를통해반응용기(11) 내에설치된노즐(12)에원료용액미스트(M1) 및지원제미스트(M2)를공급한다. 그후, 노즐(12) 내에서원료용액미스트(M1)와지원제미스트(M2)를혼합하여혼합미스트(M3)를얻어, 가열상태에있는 P형실리콘기판(4)의이면상에혼합미스트(M3)를공급한다.
    • 本发明的一个目的是获得一种能够在提高生产效率的同时获得高质量金属氧化物膜的金属氧化物膜的形成方法。 本发明的成膜方法执行以下处理。 在溶液容器15中,使含有作为金属元素的铝的原料溶液14雾化而得到原料溶液雾M1。 在独立于溶液容器15的溶液容器25中,包含用于形成氧化铝的反应载体的反应载体溶液24被雾化以获得载体雾M2。 原料溶液雾M1和支撑雾雾M2通过路径L1和L2供应到设置在反应容器11中的喷嘴12。 之后,在喷嘴12中混合原料溶液雾M 1和粉雾M 2,得到混合雾M 3,在加热状态下在P型硅基板4的表面形成混合雾M 3。 耗材。