专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明公开

EP0356787A3 Indikator zum Nachweis des Überschreitens einer bestimmten Feldstärke eines Magnetfeldes 失效
标题翻译：用于检测预测磁场的表面的指示器
公开(公告)号：EP0356787A3
公开(公告)日：1991-07-03
申请号：EP89114879.3
申请日：1989-08-11
申请人： Klein, Hans-Hermann, Dr. , Strasser, Wilhelm , Timm, Uwe, Dr.
发明人： Klein, Hans-Hermann, Dr. , Strasser, Wilhelm , Timm, Uwe, Dr.
IPC分类号： G01R33/02 , G01V3/08
CPC分类号： G01R33/04
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf einen Indikator zum Nachweis des Überschreitens einer bestimmten Feldstärke eines Magnetfeldes; dieser umfaßt einen Sensormagneten (1, 2) mit einer bestimmten Koerzitivfeldstärke H c , welcher die Eigenschaft hat, seine Magnetisierungsrichtung umzukehren, wenn ein die Feldstärke H c überschreitendes Magnetfeld in entgegengesetzter Richtung wirkt, und Mittel zur Erkennung der Umkehr der Magnetisierungsrichtung.

2. 发明公开

EP0356787A2 Indikator zum Nachweis des Überschreitens einer bestimmten Feldstärke eines Magnetfeldes 失效
标题翻译： Indikator zum Nachweis desÜberschreitenseiner bestimmtenFeldstärkeeines Magnetfeldes。
公开(公告)号：EP0356787A2
公开(公告)日：1990-03-07
申请号：EP89114879.3
申请日：1989-08-11
申请人： Klein, Hans-Hermann, Dr. , Strasser, Wilhelm , Timm, Uwe, Dr.
发明人： Klein, Hans-Hermann, Dr. , Strasser, Wilhelm , Timm, Uwe, Dr.
IPC分类号： G01R33/02 , G01V3/08
CPC分类号： G01R33/04
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf einen Indikator zum Nachweis des Überschreitens einer bestimmten Feldstärke eines Magnetfeldes; dieser umfaßt einen Sensormagneten (1, 2) mit einer bestimmten Koerzitivfeldstärke H c , welcher die Eigenschaft hat, seine Magnetisierungsrichtung umzukehren, wenn ein die Feldstärke H c überschreitendes Magnetfeld in entgegengesetzter Richtung wirkt, und Mittel zur Erkennung der Umkehr der Magnetisierungsrichtung.
摘要翻译：本发明涉及一种用于检测超过磁场的预定磁场强度的指示器：所述指示器包括具有预定矫顽场强度Hc的传感器磁体（1,2），其具有使磁化方向反转的性质，超过场强Hc的磁场沿相反方向操作，以及用于识别磁化方向的反转的装置。

3. 发明申请

WO1993015318A1 CRYOPUMP WITH A SUBSTANTIALLY POT-SHAPED HOUSING 审中-公开
标题翻译：具有重大形状的外壳的CRYOPUMP
公开(公告)号：WO1993015318A1
公开(公告)日：1993-08-05
申请号：PCT/EP1992000869
申请日：1992-04-18
申请人： LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT , MATTERN-KLOSSON, Monika , MUNDINGER, Hans-Jürgen , HÄFNER, Hans-Ulrich , TIMM, Uwe
发明人： LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT
IPC分类号： F04B37/08
CPC分类号： F04B37/08 , Y10S417/901
摘要： The invention relates to a cryopump with a substantially pot-shaped housing (2) with a radiation screen (4), also substantially pot-shaped, arranged in the housing, an inlet aperture (6), a cold head (3) extending into the housing and into the radiation screen, pumping surfaces (15) secured on the cold head for condensable gases and a collection chamber for liquid condensate occurring during the regeneration of the pump; to permit regeneration of the pump in differing installation positions, it is proposed that the condensate collection chamber be arranged on the side in such a way that the pump (1) can be regenerated even when installed horizontally.

4. 发明申请

WO1992008894A1 PROCESS FOR REGENERATING A CRYOPUMP AND SUITABLE CRYOPUMP FOR IMPLEMENTING THIS PROCESS 审中-公开
标题翻译：用于再生用于实施本方法的CRYOPUMP和适用CRYOPUMP的方法
公开(公告)号：WO1992008894A1
公开(公告)日：1992-05-29
申请号：PCT/EP1991001713
申请日：1991-09-10
申请人： LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT , FLICK, Gerd , MUNDINGER, Hans-Jürgen , TIMM, Uwe , KLEIN, Hans-Hermann , FORTH, Hans-Joachim , HÄFNER, Hans-Ulrich
发明人： LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT
IPC分类号： F04B37/08
CPC分类号： F04B37/08 , Y10S417/901
摘要： The invention relates to a process for regenerating a cryopump (1) with an inlet valve (33), pumping surfaces (6, 8, 11) at a temperature during the operation of the pump which results in the condensation and/or adsorption of gases, said surfaces being heated for the purpose of their regeneration, and a backing pump (45) connected to the inside of the pump (9) via a valve (44). In this process, with the inlet valve (33) closed and the connection between the inside of the pump (9) and the backing pump (45) closed, heating of the pump surfaces is started, so that both the temperature of the pump surfaces and the pressure inside the pump rise to values above the corresponding value of the triple point of the gas to be removed. The removal of the deposits released from the pump surfaces takes place in the liquid and/or gaseous stage via a line (46) with a regeneration valve (47) which is actuated dependently upon the pressure in the inside of the pump (9).
摘要翻译：本发明涉及一种用于在泵操作期间的温度下用入口阀（33）再生泵送表面（6,8,11）的低温泵（1）的过程，其导致气体的冷凝和/或吸附所述表面被加热以便进行再生，以及通过阀（44）连接到泵（9）的内部的背衬泵（45）。在这个过程中，当入口阀33关闭并且泵（9）和背衬泵（45）的内部之间的连接关闭时，开始泵表面的加热，使得泵表面的温度并且泵内的压力升高到高于要去除的气体的三重点的对应值的值。从泵表面释放的沉积物的去除通过经由具有再生阀（47）的管线（46）在液体和/或气态阶段中进行，再生阀（47）根据泵（9）内部的压力被致动。

5. 发明申请

WO2006120228A1 VORRICHTUNG ZUM TRANSPORTIEREN VON PLÄTTCHEN 审中-公开
标题翻译：设备运送板
公开(公告)号：WO2006120228A1
公开(公告)日：2006-11-16
申请号：PCT/EP2006/062237
申请日：2006-05-11
申请人： MÜHLBAUER AG , FREDRICH, Reinhard , RÖNSCH, Gerhard , STROBL, Heinrich , TIMM, Uwe
发明人： FREDRICH, Reinhard , RÖNSCH, Gerhard , STROBL, Heinrich , TIMM, Uwe
IPC分类号： B65G47/91 , B65G47/84 , H01L21/00 , H05K13/04
CPC分类号： H01L21/67144 , B65G47/848 , B65G47/918 , H01L21/6838 , H05K13/0408
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Transportieren von Plättchen mit einer um eine vorgegebene Hauptachse (H) drehbar geordneten Trägereinrichtung (4) an der eine Vielzahl von Aufnahme- und Ablegewerkzeugen (21) angeordnet ist, wobei jedes Aufnahme- und Ablegewerkzeug (21) bezüglich der Trägereinrichtung (4) um eine Drehachse (N) drehbar ist, die im Wesentlichen parallel zu der Hauptachse (H) verläuft.
摘要翻译：本发明涉及一种装置，用于通过预定的主轴线（H）输送具有晶片是可转动地水平载装置（4），其上有多个拾取和放置工具（21）被布置，其中，每个拾取和放置工具（21）相对于围绕旋转轴线（N）的支撑件（4）是可旋转的，大致平行于主轴线（H）。

6. 发明申请

WO1995011381A1 PROCESS FOR OPERATING A CRYOPUMP AND VACUUM PUMP SYSTEM WITH CRYOPUMP AND FORE-PUMP 审中-公开
标题翻译：一种用于操作低温泵及真空系统与低温泵和前级泵
公开(公告)号：WO1995011381A1
公开(公告)日：1995-04-27
申请号：PCT/EP1994002648
申请日：1994-08-10
申请人： LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT , TIMM, Uwe , KLEIN, Hans-Hermann , HÄFNER, Hans-Ulrich , MUNDINGER, Hans-Jürgen
发明人： LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT
IPC分类号： F04B37/08
CPC分类号： F04B37/08
摘要： A process is disclosed for operating a cryopump (1) with coolable pump surfaces (5, 6, 8, 9) and a fore-pump (15). In order to reduce fore-vacuum or initial pressure generation costs and to eliminate the danger of oil contamination, cooling of the pump surfaces of the cryopump starts at more than 1 mbar initial pressure generated by the fore-pump. The fore-pump is preferably a diaphragm vacuum pump.
摘要翻译：本发明涉及一种用于操作低温泵（1）与可冷却泵面（5,6，8,9），和与背衬泵（15）; 以减少产生预真空或启动压力，以消除油污染的风险的两个费用，所以建议大于1毫巴开始与由泵前开始压力产生的信号的低温泵的泵表面的Einkühlung; 优选地，背衬泵是隔膜真空泵。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式