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    • 1. 发明申请
    • MIKROELEKTROMECHANISCHER OSZILLATOR
    • 微机电振荡器
    • WO2010003605A1
    • 2010-01-14
    • PCT/EP2009/004856
    • 2009-07-06
    • ALBERT-LUDWIGS-UNIVERSITÄT FREIBURGHE, LinBUHMANN, AlexanderMANOLI, YiannosTASCHWER, ArminNORTHEMANN, Thomas
    • HE, LinBUHMANN, AlexanderMANOLI, YiannosTASCHWER, ArminNORTHEMANN, Thomas
    • G01C19/56G01P9/04
    • G01C19/5755G01C19/5726
    • Ein mikroelektromechanischer Oszillator hat einen Schwingungserreger, der einen Aktor (7a, 7b) und eine Ansteuereinrichtung (10) dafür aufweist. Der Aktor (7a, 7b) steht mit einer in Schwingung zu versetzenden Masse (2) in Antriebsverbindung. Zur Erfassung eines von der Schwingung der Masse (2) abhängigen Messsignals ist eine Messvorrichtung (8) vorgesehen, die derart mit der Ansteuereinrichtung (10) in einen Oszillator-Regelkreis geschaltet ist, dass die Masse (2) mit einer Resonanzfrequenz zur Schwingung angeregt wird. Die Messvorrichtung (8) umfasst einen mikroelektromechanischen kapazitiven Sensor (9a, 9b), der Elektroden aufweist, die in Abhängigkeit von der Auslenkung der Masse (2) aufeinander zu und voneinander weg bewegbar sind. Die Messvorrichtung (8) weist ein Positionssensor-Interface auf, der im Oszillator-Regelkreis angeordnet ist und mit einem Eingangsanschluss (15a, 15b) mit dem Sensor (9a, 9b) und mit einem Ausgangsanschluss (20a, 20b) mit der Ansteuereinrichtung (10) verbunden ist. Im Oszillator-Regelkreis ist ein Phasenschieber vorgesehen.
    • 具有振动激励器,其致动器(7A,7B)和驱动器(10)用于其的微机电振荡器。 的致动器(7A,7B)与在质量的振动驱动器连接到移动(2)。 取决于用于检测质量块的振动中的一个(2)的测量信号是被连接在振荡器回路(8),设置以这样的方式与所述驱动装置(10)的测量装置,该质量块(2)是在对振动的共振频率激发 , 的测量装置(8)包括一个微机电电容式传感器(9A,9B)中,具有作为电极的质量(2)的朝向和远离彼此的偏转的函数。 的测量装置(8)包括一个位置传感器接口,其被布置在所述振荡器环路并具有与该传感器的输入端子(15A,15B)(9A,9B)和一个输出端(20A,20B)(与驱动装置10 )连接。 振荡器回路中,提供了一种移相器。
    • 4. 发明申请
    • MESSVORRICHTUG MIT EINEM MIKROELEKTROMECHANISCHEN KAPAZITIVEN SENSOR
    • 用微机电电容式传感器MESSVORRICHTUG
    • WO2010003612A1
    • 2010-01-14
    • PCT/EP2009/004868
    • 2009-07-06
    • ALBERT-LUDWIGS-UNIVERSITÄT FREIBURGHE, LinMANOLI, YiannosBUHMANN, AlexanderTASCHWER, ArminNORTHEMANN, Thomas
    • HE, LinMANOLI, YiannosBUHMANN, AlexanderTASCHWER, ArminNORTHEMANN, Thomas
    • G01C19/56G01P9/04
    • G01C19/5726
    • Eine Messvorrichtung (8) weist einen mikroelektromechanischen kapazitiven Sensor (9a, 9b) auf, der zur Messung einer mechanischen Auslenkung einer Prüfmasse (2) aufeinander zu und voneinander weg bewegbare Elektroden hat. Die Messvorrichtung (8) hat einen Ladungsintegrator, der einen Operationsverstärker (11) aufweist, der mindestens einen mit dem Sensor (9a, 9b) verbundenen Verstärkereingang (13a, 13b) und einen Verstärkerausgang (15a, 15b) hat, der über einen Integrationskondensator (16a, 16b) mit dem Verstärkereingang (13a, 13b) rückgekoppelt ist. Der Verstärkereingang (13a, 13b) ist über einen hochohmigen elektrischen Widerstand (17a, 17b) mit einem Anschluss (18) für ein elektrisches Gleichtakt-Referenzpotential verbunden. Zusätzlich zu dem Verstärkereingang (13a, 13b) weist der Operationsverstärker (11) einen Hilfseingang (20a, 20b) auf. Der Verstärkerausgang (15a, 15b) ist über einen Tiefpass (22) mit dem Hilfseingang (20a, 20b) verbunden.
    • 的测量装置(8)包括电容性传感器的微机电(9A,9B),其具有用于测量质量块的机械位移(2)朝向和远离彼此移动的电极。 的测量装置(8)包括一个电荷积分器包括一个运算放大器(11),所述至少一个所述传感器(9A,9B)放大器输入连接(13A,13B)和一个放大器输出端(15A,15B),其(通过积分电容器 ,16B),13b)的16A反馈到放大器输入端(13a上。 经由高电阻的放大器的输入(13A,13B)(17A,17B)连接到用于电共模参考电位的端子(18)。 除了放大器输入(13A,13B),所述运算放大器(11)包括一个辅助输入端(20A,20B)上。 放大器输出(15A,15B)经由低通(22)到所述辅助输入连接(20A,20B)相连。