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1. 发明授权

US07126143B2 Method and device for producing extreme ultraviolet radiation and soft x-ray radiation 失效
标题翻译：用于产生极紫外辐射和软X射线辐射的方法和装置
公开(公告)号：US07126143B2
公开(公告)日：2006-10-24
申请号：US10474121
申请日：2002-03-23
申请人： Jürgen Klein , Willi Neff , Stefan Seiwart , Klaus Bergmann , Joseph Pankert , Michael Löken
发明人： Jürgen Klein , Willi Neff , Stefan Seiwart , Klaus Bergmann , Joseph Pankert , Michael Löken
IPC分类号： G21K5/02
CPC分类号： H05G2/003 , G03F7/70033
摘要： A method for generating extreme ultraviolet radiation and soft x-ray radiation with a gas discharge operated on the left branch of the Paschen curve, in particular, for EUV lithography,wherein a discharge chamber (10) of a predetermined gas pressure and two electrodes (11, 12) are used, wherein the electrodes have an opening (14, 15), respectively, positioned on the same symmetry axis (13) and, in the course of a voltage increase (16) upon reaching a predetermined ignition voltage (Uz), generate a plasma (17) located in the area between their openings (14, 15), which plasma is a source of the radiation (17′) to be generated, wherein an ignition of the plasma (17) is realized by affecting the gas pressure and/or by triggering, and wherein, with the ignition of the plasma (17), an energy storage device supplies by means of the electrodes (11, 12) stored energy into the plasma (17), characterized in that the ignition of the plasma (17) is realized by using a predetermined ignition delay (18).
摘要翻译：一种用于在帕邢斯曲线的左分支上操作的气体放电产生极紫外辐射和软X射线辐射的方法，特别是用于EUV光刻，其中具有预定气体压力的放电室（10）和两个电极 11，12），其中电极分别具有位于同一对称轴线（13）上的开口（14,15），并且在达到预定点火电压（U）时在电压增加（16）的过程中产生位于其开口（14,15）之间的区域中的等离子体（17），该等离子体是要产生的辐射源（17'），其中点火通过影响气体压力和/或通过触发实现等离子体（17），并且其中，通过等离子体（17）的点火，能量存储装置通过电极（11,12）将储存的能量供应到等离子体（17），其特征在于，通过以下方式实现等离子体（17）的点火使用预定的点火延迟（18）。

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