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1. 发明申请

WO2008138532A1 FLEXIBLES LEITERPLATTENMATERIAL UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN DESSELBEN 审中-公开
标题翻译：柔性电路板材料和方法生产同样
公开(公告)号：WO2008138532A1
公开(公告)日：2008-11-20
申请号：PCT/EP2008/003678
申请日：2008-05-07
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , GÜNTHER, Steffen , SCHÖNBERGER, Waldemar , STRAACH, Steffen , SCHILLER, Nicolas , KIRCHHOFF, Volker
发明人： GÜNTHER, Steffen , SCHÖNBERGER, Waldemar , STRAACH, Steffen , SCHILLER, Nicolas , KIRCHHOFF, Volker
IPC分类号： C23C14/20 , H05K1/00 , H05K3/38
CPC分类号： C23C14/024 , C23C14/205 , H05K1/0393 , H05K3/388 , H05K2201/0179
摘要： Die Erfindung betrifft ein flexibles Leiterplattenmaterial, umfassend ein Polymersubstrat (2) und eine Kupfer-Schicht (4), sowie ein Verfahren zu dessen Herstellung, wobei zwischen Polymersubstrat und Kupfer-Schicht eine Schicht aus Titanoxid (3) abgeschieden wird und die Schicht aus Titanoxid und die Kupfer-Schicht mittels Vakuumverfahren abgeschieden werden. Das Polymersubstrat besteht beispielsweise aus einem der Materalien Polymid, PEN, PEEK, PET oder Fluorpolymer.
摘要翻译：本发明涉及一种柔性印刷电路板材料，其包含聚合物基材（2）和铜层（4），和它的制备方法，其中（3）的二氧化钛的层的聚合物基材和铜层和钛氧化物层之间沉积和铜层通过真空工艺沉积。聚合物基材包括例如该材料是聚酰亚胺，PEN，PEEK，PET或含氟聚合物中的一个。

2. 发明申请

WO2002103077A1 EINRICHTUNG ZUR PLASMAAKTIVIERTEN BEDAMPFUNG GROSSER FLÄCHEN 审中-公开
标题翻译：设备技术等离子体活化蒸发大片
公开(公告)号：WO2002103077A1
公开(公告)日：2002-12-27
申请号：PCT/EP2002/006505
申请日：2002-06-13
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E. V. , NEUMANN, Manfred , STRAACH, Steffen , KRUG, Mario , SCHILLER, Nicolas
发明人： NEUMANN, Manfred , STRAACH, Steffen , KRUG, Mario , SCHILLER, Nicolas
IPC分类号： C23C14/32
CPC分类号： H01J37/32422 , C23C14/32 , C23C14/56
摘要： Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur plasmaaktivierten Bedampfung großflächiger bewegter Substrate, mindestens enthaltend einen Vakuumrezipienten, ein Pumpsystem, einen Verdampfer, eine Vorrichtung zur Halterung und zum Transport der zu beschichtenden Substrate und mindestens eine Bogenentladungs-Plasmaquelle, wobei mindestens eine magnetfelderzeugende Einrichtung enthalten ist, die in der Bedampfungszone zwischen dem Verdampfer und dem Substrat ein Magnetfeld erzeugen kann, dessen Feldlinien annähernd senkrecht zur Bewegungsrichtung und parallel zur Transportebene des Substrates ausgerichtet sind und mindestens eine Bogenentladungs-Plasmaquelle so angeordnet ist, dass die Achse der Bogenentladungs-Plasmaquelle annähernd senkrecht zu den Feldlinien des Magnetfeldes ausgerichtet ist.
摘要翻译：本发明涉及一种设备，用于大区域移动衬底等离子体活化气相沉积，含有至少一个真空容器，泵系统，蒸发器，一个装置，用于保持和输送基片要涂覆和至少一个电弧放电等离子体源，至少一个磁场产生装置包括其可以在蒸发器和基板之间的真空沉积区域产生磁场，磁力线是大致垂直于运动和平行于对准并且至少一个电弧放电等离子体源被布置在所述基板的输送平面的方向，以使电弧放电等离子体源的轴线大致垂直于磁力线与磁场对齐。

3. 发明申请

WO9723661A3 PROCESS FOR PRODUCING ORGANICALLY MOFIFIED OXIDE, OXYNITRIDE OR NITRIDE LAYERS BY VACUUM DEPOSITION 审中-公开
标题翻译：通过真空沉积生产有机氧化物，氧化物或氮化物层的方法
公开(公告)号：WO9723661A3
公开(公告)日：1997-08-28
申请号：PCT/DE9602434
申请日：1996-12-13
申请人： FRAUNHOFER GES FORSCHUNG , NEUMANN MANFRED , SCHILLER SIEGFRIED , MORGNER HENRY , SCHILLER NICOLAS , STRAACH STEFFEN
发明人： NEUMANN MANFRED , SCHILLER SIEGFRIED , MORGNER HENRY , SCHILLER NICOLAS , STRAACH STEFFEN
IPC分类号： C23C14/00 , C23C14/08 , C23C14/32 , C23C14/06 , B65G11/00
CPC分类号： C23C14/08 , C23C14/0021 , C23C14/32 , Y10T428/31663
摘要： According to the invention, in plasma-activated high-rate evaporation of an oxide former, monomers are applied in addition to oxygen in such a way that the evaporated oxide formers and the oxygen and the monomers have a preferential direction on the substrate and pass through a high-density plasma zone. More than 50 wt % of the coating on the substrate consists of inorganic molecules and under 50 wt % of partially cross-linked organic molecules. The process is used for packaging, window glazing, mirrors, decorative surfaces or façade linings.
摘要翻译： PCT No.PCT / DE96 / 02434 Sec。 371日期：1998年7月22日 102（e）日期1998年7月22日PCT 1996年12月13日PCT PCT。公开号WO97 / 23661 日期1997年7月3日通过使包含氮化物形成蒸发材料和氧化物和低氧化物蒸发材料之一的蒸发材料的等离子体增强蒸发在衬底上真空涂覆来生产至少一种有机改性氧化物，氮氧化物或氮化物层的方法，其中通过使用气体单体和包括氧和氮中的至少一种的反应性气体，通过等离子体增强的反应性高速蒸发蒸发材料沉积至少一层，并且其中蒸发材料，气体单体和反应性气体立即在基板的前方通过高密度等离子体区域。一种用于通过氧化物和低氧化物蒸发材料之一的等离子体增强蒸发在衬底上真空涂覆来生产至少一种有机改性氧化物，氮氧化物或氮化物层的方法，其中所述至少一层通过等离子体增强的反应性沉积使用气体单体和包括至少一种氧气和氮气的反应气体蒸发材料的高速蒸发，并且其中蒸发材料，气体单体和反应性气体立即通过高密度等离子体区域底物。通过该方法制备的具有有机改性的氧化物，氮氧化物或氮化物层的衬底，其中通过等离子体增强的高速气相沉积沉积的至少一层包括超过50重量％的无机分子和小于50重量％％的部分交联的有机分子。

4. 发明申请

WO1993019360A1 PROCESS FOR DETERMINING THE CONCENTRATION OF ELEMENTS DURING ELECTRON BEAM MELTING 审中-公开
标题翻译：用于确定电子束熔融过程中元素浓度的方法
公开(公告)号：WO1993019360A1
公开(公告)日：1993-09-30
申请号：PCT/DE1993000203
申请日：1993-03-03
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ... , PANZER, Siegfried , SCHILLER, Siegfried , SCHILLER, Nicolas
发明人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ...
IPC分类号： G01N23/225
CPC分类号： G01N33/206
摘要： In order to determine the concentration of elements during electron beam melting by evaluating the characteristic X-radiation of the elements contained in the melt, measurement phases are integrated into the melting process at certain predetermined time intervals. The melting regime is also modified so that no cloud of steam that could affect the measurements is generated above the melt during said time. The concentration is determined by analysis of the X-radiation during said time.

5. 发明申请

WO2009080139A1 TRANSPARENTE KUNSTSTOFFFOLIE ZUM ABSCHIRMEN ELEKTROMAGNETISCHER WELLEN UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER SOLCHEN KUNSTSTOFFFOLIE 审中-公开
标题翻译：透明的塑料薄膜，用于屏蔽电磁波和用于制备这种塑料薄膜
公开(公告)号：WO2009080139A1
公开(公告)日：2009-07-02
申请号：PCT/EP2008/008779
申请日：2008-10-16
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , FAHLAND, Matthias , VOGT, Tobias , SCHILLER, Nicolas , SCHÖNBERGER, Waldemar , GÜNTHER, Steffen , FAHLTEICH, John
发明人： FAHLAND, Matthias , VOGT, Tobias , SCHILLER, Nicolas , SCHÖNBERGER, Waldemar , GÜNTHER, Steffen , FAHLTEICH, John
IPC分类号： H05K9/00
CPC分类号： H05K9/0094
摘要： Die Erfindung betrifft eine transparente Kunststofffolie zum Abschirmen elektromagnetischer Wellen, umfassend ein transparentes Foliensubstrat und ein Schichtsystem, welches mindestens eine Silber-Schicht aufweist, sowie ein Verfahren zum Herstellen einer solchen Kunststofffolie, wobei die Silber-Schicht zwischen zwei Nioboxid-Schichten eingebettet wird.
摘要翻译：本发明涉及透明塑料膜用于屏蔽电磁波，其包括透明的薄膜基材和层系统，其包括至少一个银层，和用于制造这样的塑料薄膜，其中，两个铌氧化物层之间的银层被嵌入的方法。

6. 发明申请

WO2005073427A3 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES ULTRABARRIERE-SCHICHTSYSTEMS 审中-公开
公开(公告)号：WO2005073427A3
公开(公告)日：2005-08-11
申请号：PCT/EP2004/013258
申请日：2004-11-23
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E. V. , CHARTON, Christoph , FAHLAND, Matthias , KRUG, Mario , SCHILLER, Nicolas , STRAACH, Steffen
发明人： CHARTON, Christoph , FAHLAND, Matthias , KRUG, Mario , SCHILLER, Nicolas , STRAACH, Steffen
IPC分类号： C23C14/06
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Ultrabarriere-Schichtsystems durch Vakuumbeschichtung eines Substrates mit einem Schichtstapel, der als Wechselschichtsystem aus Glättungsschichten und transparenten keramischen Schichten ausgebildet wird, mindestens jedoch eine Glättungsschicht zwischen zwei transparenten keramischen Schichten umfasst, welche durch Sputtern aufgebracht werden, bei dem während der Abscheidung der Glättungsschicht ein Monomer in eine evakuierte Beschichtungskammer eingelassen wird, in der ein Magnetronplasma betrieben wird.

7. 发明申请

WO2005069059A1 VERFAHREN ZUM REDUZIEREN DES SPECKLEKONTRASTS BEI EINER LASERPROJEKTION AUF EINE BILDWAND SOWIE EINE BILDWAND FÜR EINE LASERPROJEKTION 审中-公开
标题翻译：一种用于减少SPECKLEKONTRASTS激光投影在屏幕和激光投影屏幕
公开(公告)号：WO2005069059A1
公开(公告)日：2005-07-28
申请号：PCT/EP2004/014349
申请日：2004-12-16
申请人： FRAUNHOFER GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , FAHLAND, Matthias , SCHILLER, Nicolas , RICKERS, Christoph , VERGÖHL, Michael , VON KOPYLOW, Christian
发明人： FAHLAND, Matthias , SCHILLER, Nicolas , RICKERS, Christoph , VERGÖHL, Michael , VON KOPYLOW, Christian
IPC分类号： G02B27/48
CPC分类号： G02B27/48
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Reduzieren des Specklekontrasts bei der Projektion von Laserlicht auf eine Bildwand sowie eine Bildwand für eine Laserprojektion, welche mindestens eine für Laserlicht transparente Schicht (2) und mindestens eine das Laserlicht reflektierende Schicht (3) umfasst, wobei die reflektierende Schicht (3) flexibel ausgebildet wird und die transparente Schicht (2) eine höhere Steifigkeit gegenüber der reflektierenden Schicht (3) aufweist, so dass auf die Bildwand (1) treffendes Laserlicht die transparente Schicht (2) durchdringt und an der Oberfläche der zumindest einen reflektierenden Schicht (3) der Bildwand (1) reflektiert wird, wobei zumindest die Oberflächenstruktur der reflektierenden Schicht (3) während des Projektionsvorgangs zeitlich derart verändert wird, dass ein auf einen Punkt der reflektierenden Schicht (3) treffender Laserlichtstrahl in Abhängigkeit von einer Zeitfunktion in unterschiedliche Richtungen reflektiert wird.
摘要翻译：本发明涉及一种方法，用于投射激光时到屏幕上并进行激光投射的屏幕包括至少一个透明的，以激光光层（2）和至少一个激光光反射层（3），其中所述反射层降低Specklekontrasts （3）被设计为柔性的，并且与所述反射层（3）的透明层（2）具有较高的刚性，以便在屏幕（1）撞击激光穿过，和透明层（2）的至少一个反射表面上层（3）的屏幕（1）的被反射，其中，至少所述反射层的表面结构（3）在投影操作期间随时间变化，使得在响应于在不同的时间函数的一个点的反射层（3）易于激光光束的方向被反射。

8. 发明申请

WO2012143149A1 VERFAHREN ZUM ABSCHEIDEN EINES TRANSPARENTEN BARRIERESCHICHTSYSTEMS 审中-公开
标题翻译：方法用于分离的透明阻挡涂料体系
公开(公告)号：WO2012143149A1
公开(公告)日：2012-10-26
申请号：PCT/EP2012/052537
申请日：2012-02-15
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , GÜNTHER, Steffen , MEYER, Björn , STRAACH, Steffen , KÜHNEL, Thomas , BUNK, Sebastian , SCHILLER, Nicolas
发明人： GÜNTHER, Steffen , MEYER, Björn , STRAACH, Steffen , KÜHNEL, Thomas , BUNK, Sebastian , SCHILLER, Nicolas
IPC分类号： C23C14/00 , C23C14/08 , C23C14/56
CPC分类号： C23C16/30 , C23C14/0021 , C23C14/081 , C23C14/562
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines transparenten Barriereschichtsystems, indem in einer Vakuumkammer auf einer transparenten Kunststofffolie mindestens zwei transparente Barriereschichten und eine zwischen den beiden Barriereschichten angeordnete transparente Zwischenschicht abgeschieden werden, wobei zum Abscheiden der Barriereschichten Aluminium verdampft und gleichzeitig mindestens ein erstes Reaktivgas in die Vakuumkammer eingelassen wird und dass zum Abscheiden der Zwischenschicht Aluminium verdampft und gleichzeitig mindestens ein zweites Reaktivgas und eine gasförmige oder dampfförmige organische Komponente in die Vakuumkammer eingelassen werden.
摘要翻译：本发明涉及一种方法，用于由至少两个透明的阻挡层的透明阻挡层系统和布置在所述两个阻挡层透明的中间层被沉积在真空室上的透明塑料膜，其中所述阻挡层的沉积蒸发的铝和同时至少一个第一反应气体之间真空室被引入，并且，对于中间层的沉积蒸发的铝和同时引入到真空室中的至少一个第二反应性气体和气态或蒸气有机组分。

9. 发明申请

WO2011088875A1 VERFAHREN ZUM VAKUUMBESCHICHTEN EINES SUBSTRATES MIT EINEM TRANSPARENTEN LEITFÄHIGEN METALLEGIERUNGSOXID SOWIE EINE TRANSPARENTE LEITFÄHIGE SCHICHT AUS EINEM METALLEGIERUNGSOXID 审中-公开
标题翻译： METHOD FOR真空镀膜使基材与透明导电AND METALLEGIERUNGSOXID的透明导电层由METALLEGIERUNGSOXID
公开(公告)号：WO2011088875A1
公开(公告)日：2011-07-28
申请号：PCT/EP2010/007673
申请日：2010-12-16
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , FAHLAND, Matthias , SCHÖNBERGER, Alexander , SCHÖNBERGER, Waldemar , STRAACH, Steffen , SCHILLER, Nicolas
发明人： FAHLAND, Matthias , SCHÖNBERGER, Alexander , SCHÖNBERGER, Waldemar , STRAACH, Steffen , SCHILLER, Nicolas
IPC分类号： C23C14/00 , C23C14/08 , H01L31/0224
CPC分类号： C23C14/0078 , C23C14/086 , H01L31/022466 , H01L31/022483 , H01L31/1884 , Y02E10/50
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Abscheiden einer transparenten leitfähigen Schicht, umfassend ein Wirtsmaterial und ein Dotiermaterial, auf einem Substrat (2) innerhalb einer Vakuumkammer (1), wobei das Wirtsmaterial aus Zinkoxid oder Indiumoxid besteht und das Dotiermaterial ein Oxid mindestens eines der metallischen oder halbmetallischen Elemente aus der Hauptgruppe III oder IV umfasst, wobei während des Abscheidens des Wirtsmaterials mittels eines PVD-Prozesses Sauerstoff und ein Precursor in die Vakuumkammer (1) eingelassen werden, wobei der Precursor das mindestens eine Element aus der Hauptgruppe III oder IV enthält und dass die Konzentration des Dotiermaterials im Schichtdickenverlauf mit einem Gradienten ausgebildet wird. Ferner betrifft die Erfindung eine transparente leitfähige Schicht aus einem Metalllegierungsoxid.
摘要翻译：本发明涉及一种用于在真空室内的衬底（2）上沉积包含主体材料和掺杂剂材料的透明导电层（1），其特征在于，氧化锌或氧化铟的基质材料是由和所述掺杂剂是在金属中的至少一种或的氧化物包括从所述主族III或IV半金属元素，其中所述主体材料的通过PVD工艺，氧气的沉积和前体进入真空室（1）中被嵌入，其中，所述前体含有从主族III或IV，并且至少一种元素形成为与梯度层厚度分布的掺杂剂的浓度。此外，本发明涉及一种由一个Metalllegierungsoxid的透明导电层。

10. 发明申请

WO2009127373A1 TRANSPARENTES BARRIERESCHICHTSYSTEM 审中-公开
标题翻译：透明障涂层系统
公开(公告)号：WO2009127373A1
公开(公告)日：2009-10-22
申请号：PCT/EP2009/002678
申请日：2009-04-09
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , FAHLTEICH, John , FAHLAND, Matthias , SCHÖNBERGER, Waldemar , SCHILLER, Nicolas
发明人： FAHLTEICH, John , FAHLAND, Matthias , SCHÖNBERGER, Waldemar , SCHILLER, Nicolas
IPC分类号： C23C14/00 , C23C16/00 , C23C28/00 , C23C30/00
CPC分类号： C23C14/00 , C23C16/00 , C23C28/042 , C23C28/048 , C23C28/42 , C23C30/00 , Y10T428/24942
摘要： Die Erfindung betrifft ein transparentes Barriereschichtsystem auf einem Substrat, wobei das Barriereschichtsystem eine Abfolge von Einzelschichten umfasst, wobei die Einzelschichten alternierend aus einer Schicht A und einer Schicht B bestehen und wobei sich eine Schicht A von einer Schicht B bezüglich der Aktivierungsenergie bei der Permeation von Wasserdampf mit einer Differenz von mindestens 1,5 kJ/mol unterscheidet.
摘要翻译：本发明涉及在基板上的透明阻挡层系统，其中所述阻挡层系统包括单独的层，其中，所述各个层交替组成的层A和层B的序列，并且其中层A与B层相对于所述活化能为水蒸汽的渗透具有至少为1.5kJ / mol的差异而不同。

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