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    • 3. 发明授权
    • Test apparatus for parallel testing a number of electronic components and a method for calibrating the test apparatus
    • 用于并行测试多个电子部件的测试装置和用于校准测试装置的方法
    • US06677745B2
    • 2004-01-13
    • US10134132
    • 2002-04-29
    • Roman MayrAndreas Schellinger
    • Roman MayrAndreas Schellinger
    • G01R104
    • G01R31/3191
    • A method for calibrating a test apparatus for parallel testing of a number of semiconductor memories, to a time-critical parameter, in which the components are positioned in batches at predetermined test positions and the parameter is measured. The various test positions give different measurement results since they are not identical. These different measurement results are compensated for by the following steps: The invention provides for a position-specific mean value MPS to be formed from batch parameter measurements at each test position, for a position-independent mean value MPU to be formed for the batch parameter measurements at all the test positions, and for a corrected mean value to be obtained for each test position by adding a correction value &dgr;, which is determined from the difference between the position-specific mean value MPS and the position-independent mean value MPU, to the position-specific mean value MPS.
    • 一种用于校准用于多个半导体存储器的并行测试的测试装置的方法,以及时间关键参数,其中组件在预定的测试位置分批定位并且测量参数。 各种测试位置给出不同的测量结果,因为它们不相同。 这些不同的测量结果通过以下步骤进行补偿:本发明提供了通过在每个测试位置处的批次参数测量形成的位置特定平均值MPS,针对要为批次参数形成的位置无关平均值MPU 在所有测试位置进行测量,并且对于通过添加根据位置特定平均值MPS和位置无关平均值MPU之间的差确定的校正值Δ来为每个测试位置获得的校正平均值, 到位置特异性平均值MPS。