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    • 7. 发明申请
    • GASSENSOR
    • 电容控制的场效应气体传感器含有疏水层
    • WO2005012896A1
    • 2005-02-10
    • PCT/EP2004/008309
    • 2004-07-24
    • MICRONAS GMBHALBERT-LUDWIGS- UNIVERSITÄT FREIBURGRÜHE, JürgenSAMUEL, J.D.Jeyaprakash, S.FRERICHS, Heinz-PeterLEHMANN, Mirko
    • RÜHE, JürgenSAMUEL, J.D.Jeyaprakash, S.FRERICHS, Heinz-PeterLEHMANN, Mirko
    • G01N27/414
    • G01N33/0059G01N27/4143
    • Ein Gassensor (1) weist ein Substrat (2) eines ersten Ladungströgertyps auf, auf dem eine Drain (3) und eine Source (4) eines zweiten Ladungströgertyps angeordnet sind. Zwischen Drain (3) und Source (4) ist ein Kanolbereich (8) gebildet. Ferner hat der Gassensor (1) eine gassensitive Schicht (10), die Pole (11, 12) aufweist, zwischen denen in Abhöngigkeit von der Konzentration eines mit der Schicht (10) in Kontakt befindlichen Gases eine gasinduzierte Spannung auftritt, Zur Messung der Spannung ist die gassensitive Schicht (10) mit ihrem einen Pol (12) über einen Luftspolt (14) kopazitiv an den Kanalbereich (8) gekoppelt und mit ihrem anderen Pol (11) mit einer ein Bezugspotential aufweisenden Gegenelektrode (13) verbunden. An der Oberflöche des Gassensors (1) ist zwischen der gassensitiven Schicht (10) und dem Kanalbereich (8) und/oder einer Sensorelektrode, die mit einer an dem Kanalbereich (8) angeordneten Gateelektrode elektrisch verbundenen ist, eine hydrophobe Schicht (19) angeordnet.
    • 一种气体传感器(1)包括衬底(2)上布置的漏极(3)和第二Ladungströgertyps源(4)的第一Ladungströgertyps的。 漏极(3)和源(4)之间形成一个Kanolbereich(8)。 此外,气体传感器(1)具有一个气体敏感层(10),所述磁极(11,12),在它们之间发生在Abhöngigkeit气体感应电压位于接触气体中的层(10)的浓度,以测量电压 气体敏感层(10)经由Luftspolt其一个极(12)(14)被kopazitiv耦合到沟道区(8),并与连接到具有对置电极(13)的参考电势的另一极(11)。 在气体传感器的Oberflöche(1)的气体敏感层(10)和沟道区(8)和/或传感器电极,它们在所述栅电极电连接在所述沟道区域(8)布置成与一个之间,布置的疏水层(19) ,