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1. 发明专利

TW201834118A 用於控制針對半導體基板之輸送及大氣儲存的傳輸外殼之緊密性的裝置及方法审中-公开
简体标题：用于控制针对半导体基板之输送及大气存储的传输外壳之紧密性的设备及方法
公开(公告)号：TW201834118A
公开(公告)日：2018-09-16
申请号：TW106137250
申请日：2017-10-27
申请人：法商普發真空公司 , PFEIFFER VACUUM
发明人：貝雷伯翠德 , BELLET, BERTRAND , 邦努爾朱利安 , BOUNOUAR, JULIEN , 契培爾尼可拉斯 , CHAPEL, NICOLAS
IPC分类号： H01L21/673 , G01M3/00
摘要：本發明有關用於控制針對半導體基板(3)之傳送及大氣儲存的至少一個傳輸外殼(2)之緊密性的裝置(1)，該傳輸外殼(2)包含具有開口(4)之堅硬殼體(4)、能夠使該開口(5)被封閉的可移除門件(6)、及至少二個換氣通口(8、9)。該控制裝置(1)包含被建構來耦接至該傳輸外殼(2)之至少一個介面(20)，該介面(20)包含：　　　至少二個連接頭(23、24)，至少一個連接頭係藉由被建構來嚙合於該傳輸外殼(2)的換氣通口(8)中之測量頭(23)所形成，該測量頭(23)包含：　　　　突出端部件(29)，貫通至少一個孔口(30)；及　　　　周邊密封元件(31)，環繞該端部件(29)，該周邊密封元件(31)被配置在該至少一個孔口(30)的上游；　　　該傳輸外殼(2)之所有該換氣通口(8、9)被耦接至該介面(20)的連接頭(23、24)。　　本發明亦有關用於控制該至少一個傳輸外殼之緊密性的方法。
简体摘要：本发明有关用于控制针对半导体基板(3)之发送及大气存储的至少一个传输外壳(2)之紧密性的设备(1)，该传输外壳(2)包含具有开口(4)之坚硬壳体(4)、能够使该开口(5)被封闭的可移除门件(6)、及至少二个换气通口(8、9)。该控制设备(1)包含被建构来耦接至该传输外壳(2)之至少一个界面(20)，该界面(20)包含：　　　至少二个连接头(23、24)，至少一个连接头系借由被建构来啮合于该传输外壳(2)的换气通口(8)中之测量头(23)所形成，该测量头(23)包含：　　　　突出端部件(29)，贯通至少一个孔口(30)；及　　　　周边密封组件(31)，环绕该端部件(29)，该周边密封组件(31)被配置在该至少一个孔口(30)的上游；　　　该传输外壳(2)之所有该换气通口(8、9)被耦接至该界面(20)的连接头(23、24)。　　本发明亦有关用于控制该至少一个传输外壳之紧密性的方法。

2. 发明专利

TW201903287A 用於監視抽泵裝置的操作狀態的方法审中-公开
简体标题：用于监视抽泵设备的操作状态的方法
公开(公告)号：TW201903287A
公开(公告)日：2019-01-16
申请号：TW107116742
申请日：2018-05-17
申请人：法商普發真空公司 , PFEIFFER VACUUM
发明人：布蘭多林瑟吉 , BRANDOLIN, SERGE
IPC分类号： F04B49/06 , F04B37/14
摘要：本發明係關於一種用於監視一連接至處理室(2)的抽泵裝置(5)的操作狀態的方法，用以判定該抽泵裝置(5)的一故障的操作狀態(failing operation state)，該抽泵裝置(5)包含至少一粗真空幫浦(7)，其包含：　　-一用來驅動該粗真空幫浦(7)的馬達(M1)，及　　-一變速驅動器(12)，其被建構來控制該馬達(M1)的轉速且被建構來一方面接收一對應於設定點頻率(set point frequency)(C)的第一輸入參數及一對應於馬達電流(i)的第二輸入參數以及另一方面送出一對應於控制頻率(F)的輸出參數至該馬達(M1)，　　其特徵在於故障操作狀態是在穩態操作(H)時該第一輸入參數和該輸出參數之間的差異等於或大於該第一輸入參數的10%持續了一超過3秒鐘的預定的時間(T)的時候被判定。本發明亦關於一種抽泵裝置和設備。
简体摘要：本发明系关于一种用于监视一连接至处理室(2)的抽泵设备(5)的操作状态的方法，用以判定该抽泵设备(5)的一故障的操作状态(failing operation state)，该抽泵设备(5)包含至少一粗真空帮浦(7)，其包含：　　-一用来驱动该粗真空帮浦(7)的马达(M1)，及　　-一变速驱动器(12)，其被建构来控制该马达(M1)的转速且被建构来一方面接收一对应于设置点频率(set point frequency)(C)的第一输入参数及一对应于马达电流(i)的第二输入参数以及另一方面送出一对应于控制频率(F)的输出参数至该马达(M1)，　　其特征在于故障操作状态是在稳态操作(H)时该第一输入参数和该输出参数之间的差异等于或大于该第一输入参数的10%持续了一超过3秒钟的预定的时间(T)的时候被判定。本发明亦关于一种抽泵设备和设备。

3. 发明专利

TW202018186A 用於控制真空泵的溫度之方法及相關的真空泵和設備审中-公开
简体标题：用于控制真空泵的温度之方法及相关的真空泵和设备
公开(公告)号：TW202018186A
公开(公告)日：2020-05-16
申请号：TW108132800
申请日：2019-09-11
申请人：法商普發真空公司 , PFEIFFER VACUUM
发明人：葛蘭爾亞尼克 , GRENIER, YANNICK , 迪科德保羅 , DECORDE, PAUL
IPC分类号： F04C25/02 , H02K11/25
摘要：本發明關於受到可變泵送負載之乾式真空泵型真空泵(2)的溫度控制方法，其中藉由耦合到定子(5)的至少一冷卻元件(11a、11b)而基於定子(5)的溫度設定點和溫度測量來控制真空泵(2)的溫度；該方法的特徵在於：監視著監視器看指示選自真空泵(2)所抽取電流或所消耗功率的泵送負載之參數的數值是否低於負載閾限，並且如果指示泵送負載之參數的數值低於負載閾限，則增加溫度設定點。本發明也關於乾式真空泵型真空泵以及設備。
简体摘要：本发明关于受到可变泵送负载之干式真空泵型真空泵(2)的温度控制方法，其中借由耦合到定子(5)的至少一冷却组件(11a、11b)而基于定子(5)的温度设置点和温度测量来控制真空泵(2)的温度；该方法的特征在于：监视着监视器看指示选自真空泵(2)所抽取电流或所消耗功率的泵送负载之参数的数值是否低于负载阈限，并且如果指示泵送负载之参数的数值低于负载阈限，则增加温度设置点。本发明也关于干式真空泵型真空泵以及设备。

4. 发明专利

TW201812178A 定子、轉軸、乾真空泵及相關製造方法审中-公开
简体标题：定子、转轴、干真空泵及相关制造方法
公开(公告)号：TW201812178A
公开(公告)日：2018-04-01
申请号：TW106114997
申请日：2017-05-05
申请人：普發真空公司 , PFEIFFER VACUUM
发明人：曼德拉艾立克 , MANDALLAZ, ERIC
IPC分类号： F04C25/02 , F04C18/12 , F16C3/00
CPC分类号： F04C18/126 , F04C18/123 , F04C25/02 , F04C2220/12 , F04C2240/60 , F04C2280/04 , F05C2201/0466 , F16C3/02 , F16C2204/52 , F16C2220/02
摘要：本發明關於一種用於乾式真空泵(1)的定子(2)，該真空泵(1)具有至少兩個轉子(10、11)，能夠在定子(2)的中心殼體(3)中沿相反方向以同步方式旋轉，用以使氣體在定子(2)的吸入口(4、5)和輸送出口(6)之間被抽送，其特徵在於該定子(2)包括：-由含有小於5%鎳的鑄鐵製成之定子外部(14)，以及-定子插入件(15)，佈設有中心殼體(3)，其經配置為接收真空泵(1)的轉子(10、11)，該定子插入件(15)包含至少10%的鎳，-該定子外部(14)已鑄造於該定子插入件(15)上。本發明亦關於一種轉軸，其經配置以承受及驅動真空泵之至少一個轉子旋轉。本發明還關於一種乾式真空泵，具有至少一個前述定子及/或至少一個前述軸的乾式真空泵，以及一種用於製造前述定子及/或轉軸的方法。
简体摘要：本发明关于一种用于干式真空泵(1)的定子(2)，该真空泵(1)具有至少两个转子(10、11)，能够在定子(2)的中心壳体(3)中沿相反方向以同步方式旋转，用以使气体在定子(2)的吸入口(4、5)和输送出口(6)之间被抽送，其特征在于该定子(2)包括：-由含有小于5%镍的铸铁制成之定子外部(14)，以及-定子插入件(15)，布设有中心壳体(3)，其经配置为接收真空泵(1)的转子(10、11)，该定子插入件(15)包含至少10%的镍，-该定子外部(14)已铸造于该定子插入件(15)上。本发明亦关于一种转轴，其经配置以承受及驱动真空泵之至少一个转子旋转。本发明还关于一种干式真空泵，具有至少一个前述定子及/或至少一个前述轴的干式真空泵，以及一种用于制造前述定子及/或转轴的方法。

5. 发明专利

TW201804083A 用於降低負載鎖定件內的壓力的方法及相關的幫浦單元审中-公开
简体标题：用于降低负载锁定件内的压力的方法及相关的帮浦单元
公开(公告)号：TW201804083A
公开(公告)日：2018-02-01
申请号：TW106120787
申请日：2017-06-21
申请人：普發真空公司 , PFEIFFER VACUUM
发明人：曼德拉艾立克 , MANDALLAZ, ERIC , 聖提克里斯多福 , SANTI, CHRISTOPHE
IPC分类号： F04B49/06 , F04B37/14
CPC分类号： F04C25/02 , F04C18/126 , F04C28/02 , F04C28/08 , F04C2220/30 , F04C2270/205
摘要：本發明係關於一種用一幫浦單元(1)來降低在大氣壓力之用於一基板的負載鎖定件內的壓力的方法，該幫浦單元具有一粗真空幫浦(2)及一高真空幫浦(3)其被配置在該粗真空幫浦(2)在被抽泵的氣體的流動方向的上游，其特徵在於在壓力下降期間且在該負載鎖定件內的壓力達到一預定的低壓力門檻值之前，該高真空幫浦(3)的轉速係如該高真空幫浦(3)的一操作參數的函數般地被控制以提高該高真空幫浦產生的流率(SoR)，使得該高真空幫浦所產生的流率(SoR)落在一範圍內，該範圍的上限制是該粗真空幫浦產生的流率(So1)的6倍且下限值是該粗真空幫浦產生的流率(So1)的1.3倍。本發明亦關於一用來實施該降低壓力的方法的幫浦單元。
简体摘要：本发明系关于一种用一帮浦单元(1)来降低在大气压力之用于一基板的负载锁定件内的压力的方法，该帮浦单元具有一粗真空帮浦(2)及一高真空帮浦(3)其被配置在该粗真空帮浦(2)在被抽泵的气体的流动方向的上游，其特征在于在压力下降期间且在该负载锁定件内的压力达到一预定的低压力门槛值之前，该高真空帮浦(3)的转速系如该高真空帮浦(3)的一操作参数的函数般地被控制以提高该高真空帮浦产生的流率(SoR)，使得该高真空帮浦所产生的流率(SoR)落在一范围内，该范围的上限制是该粗真空帮浦产生的流率(So1)的6倍且下限值是该粗真空帮浦产生的流率(So1)的1.3倍。本发明亦关于一用来实施该降低压力的方法的帮浦单元。

6. 发明专利

TW201837310A 泵抽單元及其用途审中-公开
简体标题：泵抽单元及其用途
公开(公告)号：TW201837310A
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：TW107109998
申请日：2018-03-23
申请人：法商普發真空公司 , PFEIFFER VACUUM
发明人：戴伯樂菲利浦 , D'HARBOULLE, PHILIPPE
IPC分类号： F04B37/14 , C23C16/54
摘要：本發明關於一種泵抽單元(1)，包含：　　多階段乾式之前級真空泵(2)，包含串接的至少四泵抽階段(T1、T2、T3、T4、T5)，　　其特徵在該泵抽單元(1)包含：　　兩階段魯氏真空泵(3)，包含串接的第一及第二泵抽階段(B1、B2)，該兩階段魯氏真空泵(3)之該第二泵抽階段(B2)是在待泵抽氣體之流動方向上串接於該前級真空泵(2)之第一泵抽階段(T1)並且設於其上游處；　　該兩階段魯氏真空泵(3)之該第一泵抽階段(B1)之體積位移對該兩階段魯氏真空泵(3)之該第二泵抽階段(B2)之體積位移的比率小於6，及　　該兩階段魯氏真空泵(3)之該第二泵抽階段(B2)之體積位移對該前級真空泵(2)之該第一泵抽階段(T1)之體積位移的比率小於6。　　本發明亦關於該泵抽單元(1)之用途。
简体摘要：本发明关于一种泵抽单元(1)，包含：　　多阶段干式之前级真空泵(2)，包含串接的至少四泵抽阶段(T1、T2、T3、T4、T5)，　　其特征在该泵抽单元(1)包含：　　两阶段鲁氏真空泵(3)，包含串接的第一及第二泵抽阶段(B1、B2)，该两阶段鲁氏真空泵(3)之该第二泵抽阶段(B2)是在待泵抽气体之流动方向上串接于该前级真空泵(2)之第一泵抽阶段(T1)并且设于其上游处；　　该两阶段鲁氏真空泵(3)之该第一泵抽阶段(B1)之体积位移对该两阶段鲁氏真空泵(3)之该第二泵抽阶段(B2)之体积位移的比率小于6，及　　该两阶段鲁氏真空泵(3)之该第二泵抽阶段(B2)之体积位移对该前级真空泵(2)之该第一泵抽阶段(T1)之体积位移的比率小于6。　　本发明亦关于该泵抽单元(1)之用途。

7. 发明专利

TW201724307A 用於測量基板的大氣傳輸和儲存之傳輸箱的汙染之方法及站审中-公开
简体标题：用于测量基板的大气传输和存储之传输箱的污染之方法及站
公开(公告)号：TW201724307A
公开(公告)日：2017-07-01
申请号：TW105127911
申请日：2016-08-30
申请人：普發真空公司 , PFEIFFER VACUUM
发明人：樂巴克奧利維 , LE-BARILLEC, OLIVIER , 邦努爾朱利安 , BOUNOUAR, JULIEN
IPC分类号： H01L21/66 , G01N21/85 , G01N21/94
CPC分类号： H01L21/67389 , H01L21/67253
摘要：本發明關於一種用於測量基板(3)的大氣傳輸和儲存之傳輸箱(2)的汙染之方法，其中該傳輸箱(2)內部的至少一個氣體種類的濃度由測量裝置所測量，該測量裝置包含至少一個氣體分析器(5、5b)以及連接該至少一個氣體分析器(5、5b)至介面(7)的測量線(6)，該介面(7)將該測量線(6)與至少一個傳輸箱(2)的內部大氣連通，特徵在於含有水蒸氣的氣體流被供應至該測量裝置。本發明也關於一種用於測量基板的大氣傳輸和儲存之傳輸箱的汙染之站。
简体摘要：本发明关于一种用于测量基板(3)的大气传输和存储之传输箱(2)的污染之方法，其中该传输箱(2)内部的至少一个气体种类的浓度由测量设备所测量，该测量设备包含至少一个气体分析器(5、5b)以及连接该至少一个气体分析器(5、5b)至界面(7)的测量线(6)，该界面(7)将该测量线(6)与至少一个传输箱(2)的内部大气连通，特征在于含有水蒸气的气体流被供应至该测量设备。本发明也关于一种用于测量基板的大气传输和存储之传输箱的污染之站。

8. 发明公开

KR20180040705A 대기 운송 및 기판의 저장을 위한 운송 박스의 오염 측정 방법 및 스테이션 审中-公开
公开(公告)号：KR20180040705A
公开(公告)日：2018-04-20
申请号：KR20187008627
申请日：2016-08-29
申请人： PFEIFFER VACUUM
发明人： LE BARILLEC OLIVIER , BOUNOUAR JULIEN
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/673
CPC分类号： H01L21/67389 , H01L21/67253
摘要： 본발명은대기운송및 기판(3)의저장을위한운송박스(2)의오염측정을위한방법으로서, 운송박스(2) 내부의적어도하나의기체종의농도가적어도하나의기체분석기(5, 5b) 및적어도하나의기체분석기(5, 5b)를접속기(7)에연결하는측정라인(6)을포함하는측정장치에의해측정되고, 접속기(7)는측정라인(6)이적어도하나의운송박스(2)의내부대기와연통하도록배치되며, 수증기를함유하는기체흐름이측정장치에공급되는것을특징으로하는측정방법에관한것이다. 본발명은또한, 대기운송및 기판의저장을위한운송박스의오염측정을위한스테이션에관한것이다.

9. 发明公开

KR20200130310A 건식 진공 펌프 审中-公开
公开(公告)号：KR20200130310A
公开(公告)日：2020-11-18
申请号：KR20207026509
申请日：2019-02-14
申请人： PFEIFFER VACUUM
发明人： CROCHET STEPHANE
IPC分类号： F04C25/02 , F04C27/00 , F16C33/78 , F16C33/80
摘要： 본발명은, 건식진공펌프(1)로서: - 적어도하나의기름받이(2), - 적어도하나의펌핑스테이지(3a-3e), - 개별적으로적어도하나의펌핑스테이지(3a-3e) 내에서연장되는적어도하나의로터(5)를유지하는 2개의회전샤프트(4)로서, 로터들(5)은, 진공펌프(1)의흡입구와배출구사이에서펌핑되어야할 기체를운반하기위해서로반대방향으로동기화된방식으로회전하도록구성되고, 샤프트들(4)은, 기름받이(2) 내에수용되는윤활유에의해윤활되는베어링들에의해지지되는것인, 2개의회전샤프트, - 각샤프트통로에서기름받이(2)와펌핑스테이지(3e) 사이에삽입되는적어도하나의윤활유밀봉장치(6)로서, 함께회전하도록샤프트(4) 상에장착되는대체로디스크형상의편향기(14)를포함하는것인, 적어도하나의윤활유밀봉장치(6)를포함하는것인, 건식진공펌프(1)에있어서, 상기편향기(14)의디스크가, 유지리세스를형성하도록상기펌핑스테이지(3e)를향해연장되는, 자체의둘레상의환형단부(16)를갖는것을특징으로하는건식진공펌프(1)에관한것이다.

10. 发明申请

WO2023078782A1 TURBOMOLECULAR VACUUM PUMP AND ASSOCIATED CLEANING METHOD 审中-公开
公开(公告)号：WO2023078782A1
公开(公告)日：2023-05-11
申请号：PCT/EP2022/080109
申请日：2022-10-27
申请人： PFEIFFER VACUUM , PFEIFFER VACUUM, INC.
发明人： OBERBECK, Sebastian , NEEL, Thierry , VARENNES, Nicolas , KAMBARA, Hisanori , CAVAREC, Pierre-Emmanuel , CHAVANNE, Cécile
IPC分类号： F04D19/04 , F04D27/02 , F04D29/58 , F04D29/70
摘要： Turbomolecular vacuum pump (1) intended to be fluidically connected to a process chamber (101) of an equipment device (100), the vacuum pump (1) having a control unit (30) configured to control a heating device (21) and a cooling device (22) of the vacuum pump (1) and to communicate with a command unit (104) of the equipment device (100) in order to initiate a cleaning step (201), when requested by the equipment device (100), said cleaning step (201) comprising a heating phase (202), in which the control unit (30) controls the heating device to increase the internal temperature of the vacuum pump (1) for a heating duration (Tc), and a cooling phase (203), which follows the heating phase (202) and in which the control unit (30) controls the cooling device to lower said temperature for a cooling duration (Tr).

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