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1. 发明专利

JP2017502484A 検査、テスト、デバッグ、及び表面の改変のための電子ビーム誘導プラズマプローブの適用审中-公开
标题翻译：检查，测试，调试和电子束诱导等离子体探头的应用用于表面改性
公开(公告)号：JP2017502484A
公开(公告)日：2017-01-19
申请号：JP2016546884
申请日：2014-10-02
申请人：オルボテックエルティーディーOrbotech Ltd. , オルボテックエルティーディーOrbotech Ltd. , フォトオンダイナミクスインコーポレイティッドPhoton Dynamics Inc. , フォトオンダイナミクスインコーポレイティッドPhoton Dynamics Inc.
发明人：サレハ，ネダル , トエット，ダニエル , スターリン，エンリケ , ローウィンジャー，ローネン , クリシュナスワミ，スリラム , グレイザー，アリー
IPC分类号： H05H1/24 , G01R31/302 , H01J37/06 , H01J37/18 , H01J37/28 , H01L21/66
CPC分类号： G01N27/70 , G01R31/305 , H01J33/00 , H01J37/3233 , H01J37/32449 , H01J37/32825 , H01J2237/063 , H01J2237/164 , H01J2237/188 , H01J2237/317 , H05H2240/10 , H05H2245/123
摘要：対象デバイスとのノンメカニカルの電気的接触を実現するために、電子ビーム誘導プラズマが用いられる。このプラズマ源は大気プラズマ源として言及され、非常に微細な直径且つ制御可能な特性のプラズマカラムを提供するように構成される。プラズマカラムは、大気に入るプラズマ源と対象デバイスとの間の大気空間を横断し、特徴的な電気信号がデバイスから収集されることができるように対象デバイスへの電路として動作する。さらに、プローブは、プラズマカラムへと流れるガスを制御することによって、表面の改変、エッチング、及び堆積に用いられることが可能である。【選択図】図11
摘要翻译：为了实现与目标设备非机械电接触中，使用电子束诱导等离子体。等离子体源被称为空气等离子体源被配置为提供非常细的直径和可控性质的等离子体柱。越过等离子体源和目标设备到大气之间的空气间隔等离子体柱，特征电信号作为对目标设备的路径操作，使得它可以从设备收集。此外，探针，通过控制流入到等离子体柱的气体，该表面的变形例，可以使用蚀刻，和沉积。 .The 11

2. 发明专利

JP2017535914A 検査、テスト、デバッグ、及び表面の改変のための電子ビーム誘導プラズマ（ｅＢＩＰ）の適用审中-公开
公开(公告)号：JP2017535914A
公开(公告)日：2017-11-30
申请号：JP2017515230
申请日：2015-09-17
申请人：オルボテックエルティーディーOrbotech Ltd. , オルボテックエルティーディーOrbotech Ltd. , フォトオンダイナミクスインコーポレイティッドPhoton Dynamics Inc. , フォトオンダイナミクスインコーポレイティッドPhoton Dynamics Inc.
发明人：サレハ，ネダル , スターリン，エンリケ , トエット，ダニエル , グレイザー，アリー , ローウィンジャー，ローネン , クリシュナスワミ，スリラム
IPC分类号： H05H1/24 , A61L2/14 , B01J19/08 , C12N1/06 , G01R31/302 , H01J37/06 , H01J37/18 , H01J37/244 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/32825 , H05H2240/10
摘要：対象デバイスとのノンメカニカルの電気的接触を実現するために、電子ビーム誘導プラズマが用いられる。このプラズマ源は大気プラズマ源として言及され、非常に微細な直径且つ制御可能な特性のプラズマカラムを提供するように構成される。プラズマカラムは、大気に入るプラズマ源と対象デバイスとの間の大気空間を横断し、特徴的な電気信号がデバイスから収集さできるように対象デバイスへの電路として動作する。さらに、プローブは、プラズマカラムへと流れるガスを制御することによって、表面の改変、エッチング、及び堆積に用いられることが可能である。【選択図】図4

4. 发明专利

JPH05240800A 失效
公开(公告)号：JPH05240800A
公开(公告)日：1993-09-17
申请号：JP24237192
申请日：1992-09-10
申请人： PHOTON DYNAMICS INC , ISHIKAWAJIMA HARIMA HEAVY IND
发明人： FURANSOA JIEI HENRII
IPC分类号： G01M11/00 , G01N21/88 , G01N21/956 , G01R31/00 , G02F1/13 , G02F1/1362 , G09F9/00 , G09G3/00
摘要： PURPOSE: To obtain an apparatus capable of inspecting the defect of an active matrix liquid crystal display board used for a liquid crystal display panel. CONSTITUTION: The apparatus for inspecting liquid crystal display board comprises a detector C having an electro-optical element 2 and an active matrix liquid crystal display board 5, an illuminator A for emitting a light to the board 5, a photoconductor B for introducing a light perpendicularly to the element 2, and a photoreceiver for receiving the reflected light from the element 2. The illuminator A has a halogen light and a filter 31a. The element 2 has a light reflector 9 of a dielectric multilayer film. The photoconductor B is assembled with a translucent mirror 3OB at a transparent unit 30A, and installed obliquely to the optical axis. According to the apparatus, the various defects of the board 5 can be detected with high accuracy at the time of detecting.

5. 发明专利

JP2014209100A 検査中にディスプレイをリアルタイムで監視するシステムおよび方法审中-公开
标题翻译：实时监控显示的系统和方法
公开(公告)号：JP2014209100A
公开(公告)日：2014-11-06
申请号：JP2014052035
申请日：2014-03-14
申请人：フォトン・ダイナミクス・インコーポレーテッド , Photon Dynamics Inc
发明人： VIACHESLAV MINAEV , RAUL ALBERT MARTIN , THOMAS E WISHARD , MICHAEL SEAN CASSADY , LEE JONG HO , THOMAS H BAILEY , SRIRAM KRISHNASWAMI
IPC分类号： G01R31/00 , G02F1/13 , G09F9/00
CPC分类号： G09G3/006 , G09G3/3611
摘要：【課題】パネル検査のため、すなわち画素欠陥およびライン欠陥検出のために、信頼できる再現可能な状態を維持し、それと同時にパネルの大規模な損傷を防ぐための技術を提供する。【解決手段】電子回路に電気的試験信号を印加するように構成されている回路駆動モジュールと、少なくとも該印加された電気的試験信号に基づいて該電子回路の欠陥を識別するように構成されている欠陥検出モジュールと、該電子回路において該電気的試験信号を測定するように構成されている信号監視モジュールと、該信号監視モジュール並びに該回路駆動モジュールと連動し、該電子回路で測定された該電気的試験信号に基づいて、少なくとも該回路駆動モジュールを制御するように構成されている制御モジュールとを組み込んだ、該電子回路の欠陥を認識するための装置に関係する。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于维持面板检查的可靠和可再现的状态的技术，即像素缺陷和线缺陷检测，并同时防止面板被大大损坏。解决方案：用于识别电子电路的缺陷的装置包括：电路驱动模块，被配置为向电子电路施加电测试信号; 缺陷检测模块，其被配置为至少基于所施加的电测试信号来识别所述电子电路的缺陷; 信号监视模块，其被配置为测量所述电子电路中的电测试信号; 以及控制模块，其与信号监控模块和电路驱动模块协调，并且基于由电子电路测量的电测试信号至少控制电路驱动模块。

6. 发明专利

JP2005062148A Method and apparatus for inspecting medium having formed flat pattern 有权
标题翻译：用于检查具有成形平面图的介质的方法和装置
公开(公告)号：JP2005062148A
公开(公告)日：2005-03-10
申请号：JP2003374208
申请日：2003-11-04
申请人： Photon Dynamics Inc , フォトン・ダイナミクス・インコーポレーテッド
发明人： WEISS ADAM , SARANLI AFSAR
IPC分类号： G01B11/30 , G01M11/00 , G01N21/956 , G02F1/13 , G06K9/00 , G06T1/00 , G06T7/00
CPC分类号： G01N21/95607 , G01N2021/9513 , G06T7/001
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To efficiently overlap a simultaneously implemented low resolution/high resolution parallel scan system and a method with a high resolution defect review and a classifying step for automatically deciding and overcoming a defect at low resolution, operate them in parallel, and improve a scanning and treating process of an inspection system for a flat object such as a large flat plate adopted in a panel display. SOLUTION: A method effectively overcomes a general problem such that the defect on a surface of a flat article is optically inspected. The method is especially useful when the defect in a pattern on a large glass plate deposited along with an integrated circuit forming a LCD flat panel display is detected. COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI
摘要翻译：要解决的问题：为了有效地重叠同时实现的低分辨率/高分辨率并行扫描系统和具有高分辨率缺陷检查和分类步骤的方法，用于以低分辨率自动确定和克服缺陷，并行操作并且改进了用于面板显示器中采用的诸如大平板的平面物体的检查系统的扫描和处理过程。解决方案：一种方法有效地克服了普通问题，使得平坦物品的表面上的缺陷被光学检查。当检测到与形成LCD平板显示器的集成电路一起沉积的大玻璃板上的图案的缺陷时，该方法是特别有用的。版权所有（C）2005，JPO＆NCIPI

7. 发明专利

JP2004334220A Integrated large glass handling system 有权
公开(公告)号：JP2004334220A
公开(公告)日：2004-11-25
申请号：JP2004139481
申请日：2004-05-10
申请人： Photon Dynamics Inc , フォトン・ダイナミクス・インコーポレーテッド
发明人： BALDWIN DAVID L , KEITH STEVEN
IPC分类号： G02F1/13 , B65G49/06
CPC分类号： B65G49/061 , B65G49/062 , B65G49/063 , B65G2249/04
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a mechanical system for handling glass plates of dimensions as much as 2m×2m×0.5mm, such as used for manufacturing LCD (liquid crystal display) panels in LCD panel testers.
SOLUTION: The system is provided for positioning of the repair and inspection equipment by using lightweight hollow chucklets for supporting a glass plate to be tested by an air-bearing, bringing the glass plate into contact with vacuum and balancing the glass plate on a rail along the center of mass to move the glass plate in parallel without warping it. The elimination of a heavy rigid platform from the system results in significantly reduced hardware costs, flexibility in processing and improved positioning performance.
COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

8. 发明专利

JP2004094245A Comprehensive check system by visual image forming and electronic sensing 审中-公开
标题翻译：通过视觉图像形成和电子感测的综合检查系统
公开(公告)号：JP2004094245A
公开(公告)日：2004-03-25
申请号：JP2003295016
申请日：2003-08-19
申请人： Photon Dynamics Inc , フォトン・ダイナミクス・インコーポレーテッド
发明人： CLARK BERNARD T , FREEMAN DAVID L , HAWTHORNE JEFFREY A , NAGY ALEXANDER J , PRATT WILLIAM K
IPC分类号： G01B11/30 , G01M11/00 , G01N21/95 , G01N21/956 , G01N23/225 , G01R31/00 , G02F1/13 , G02F1/1362 , G09G3/00
CPC分类号： G09G3/006 , G01N21/95 , G01N2021/9513 , G02F2001/136254
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a comprehensive check system for an active plate of a liquid crystal display (LCD). SOLUTION: The system can combine a visual image forming check and electronic sensing such as voltage image forming, electronic beam sensing and electric charge sensing. In the system, information on possible failures acquired from a visual check system is combined with information on possible failures acquired from an electronic sensing system to create a failure report. One or more high resolution visual cameras are scanned on a fixed plate and image data from the cameras is processed to detect the possible failures. The electronic sensing system with high resolution checks the fixed plate and image data from a sensor is processed to detect the possible failures. The possible failures from visual image data and electronic sensing image data are processed to create final failure information. COPYRIGHT: (C)2004,JPO
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于液晶显示器（LCD）的有源板的综合检查系统。
解决方案：该系统可以组合可视图像形成检查和诸如电压成像，电子束感测和电荷感测的电子感测。在系统中，从视觉检查系统获得的可能故障的信息与从电子感测系统获取的可能故障的信息相结合以创建故障报告。在固定板上扫描一个或多个高分辨率可视相机，并处理来自相机的图像数据以检测可能的故障。具有高分辨率的电子感测系统检查固定板和来自传感器的图像数据被处理以检测可能的故障。视觉图像数据和电子感应图像数据的可能故障被处理以产生最终的故障信息。版权所有（C）2004，JPO

9. 发明专利

JPH06167538A OPTICALLY ADDRESSABLE PROBE DEVICE OF HIGH-DENSITY CIRCUIT BOARD AND ITS UTILIZATION METHOD 失效
公开(公告)号：JPH06167538A
公开(公告)日：1994-06-14
申请号：JP7560992
申请日：1992-02-27
申请人： PHOTON DYNAMICS INC
发明人： FURANSOA JIEI HENRII
IPC分类号： G01R31/26 , H01L21/66 , H05K3/00 , H05K3/46
摘要： PURPOSE: To obtain a probe apparatus applicable to any circuit with improved reliability even if a probe density exceeds a highly specific value by providing a probe panel having photoelectrically addressable electrodes of high density and means for operating respective photoelectric switches. CONSTITUTION: The design of a circuit board 16 based on CAD (computer aided design) data 18 is loaded in a computer 20. The computer 20 operates a laser pulse sequencer 22 and a matrix address designation controller 24 by utilizing the design data from the data 18. Further, upper and lower probe matrixes 12, 14 are driven by utilizing both, and the board 16 is tested. The matrixes 12, 14 receive the test data obtained by the executed test by the board 16, and send it to a measuring controller 26. The controller 26 further senses the test result to the computer 20 for net test sequence. Respective contact electrodes can provide electrode density of 10000 electrodes/square inch to largely exceed the density of about 200 probes/square inch.

10. 发明专利

JPH05296938A 失效
公开(公告)号：JPH05296938A
公开(公告)日：1993-11-12
申请号：JP24237092
申请日：1992-09-10
申请人： PHOTON DYNAMICS INC , ISHIKAWAJIMA HARIMA HEAVY IND
发明人： FURANSOA JIEI HENRII
IPC分类号： G01M11/00 , G01N17/04 , G01N21/88 , G01N21/956 , G01R31/00 , G02F1/13 , G06T1/00 , G09F9/00 , G09G3/00
摘要： PURPOSE: To quickly check a defect of a board by an arrangement wherein a plurality of image pickup means having a specified image pickup range are operated simultaneously, and an image pickup data obtained by controlling the polarity and the level of an inspection voltage is stored and subjected to image processing, and defective pixel information thus extracted is synthesized and displayed. CONSTITUTION: A voltage applying unit 7 applies a bias voltage of specific level, between a transparent thin film electrode 2a and each pixel electrode 13. When no defective pixel is present in a liquid crystal display panel board 5, a field corresponding to the bias voltage level is applied entirely to an electrooptic element 2. Liquid crystal molecules sealed in the element 2 are thereby arranged in same direction and a liquid crystal sheet 8 transmits a light. In other words, when a light is radiated from a light source 1, a light passed through the sheet 8 is reflected on a light reflector 9 toward CCD cameras 3-1,..., 3-N. When a defective pixel is present, the applying field at the corresponding part is varied and the transmittance of the element 2 is varied and the gray level image of a pixel is picked up by means of the cameras 3-1,..., 3-N. It is processed by an image processor 4 and defective pixel information is extracted and synthesized and the overall defective state of the board 5 is displayed and checked.

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