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1. 实用新型

JP3185906U Inspection device for electronic equipment 有权
公开(公告)号：JP3185906U
公开(公告)日：2013-09-12
申请号：JP2013001419
申请日：2013-03-15
申请人：フォトン・ダイナミクス・インコーポレーテッド
发明人：エイチ．ベイリートーマス , ジョーンズロイド
IPC分类号： G01R19/00 , G01R31/302
摘要：【課題】ＬＣＤ及びＯＬＥＤパネル等の電子機器を検査すると共に、低質量、低コストの電子機器用検査装置を提供する。
【解決手段】検査ヘッドと、駆動電子機器とを有する。検査ヘッドは、光電モジュレータ２０７と、光電モジュレータ２０７に印加されるバイアス電圧パターンを生成するバイアス電圧源と、光電モジュレータ２０７を照射するための光パルスを生成するための光源となる照明器２１０と、非テレセントリックレンズ２０１と、照射された光電モジュレータ画像を得るためのカメラ２０８とを有する。駆動電子機器は、被験の電子機器に電圧信号を印加するように構成され、照射されている光パルスは、光電モジュレータを照射する前は非テレセントリックレンズ２０１を通過しない。
【選択図】図２

2. 发明专利

JP2009536882A Apparatus and method deposition Repair 有权
公开(公告)号：JP2009536882A
公开(公告)日：2009-10-22
申请号：JP2009510198
申请日：2007-05-14
申请人：ザユナイテッドステーツオブアメリカアズリプレゼンティッドバイザセクレテリオブネイビー , フォトン・ダイナミクス・インコーポレーテッド
发明人：アウイェン、レイモンド , ヴィサー、ジョエル , エルデリング、ジョワシャン , クワック、ジャスティン , ケーブル、アラン , ピケ、アルバート , ビレル、スティーヴン、エドワード , ベイリー、トーマス、エイチ． , ヤング、リディア、ジェー．
IPC分类号： B23K26/04 , B23K26/06 , G02F1/13 , G02F1/1368 , G09F9/00 , H05K3/22
CPC分类号： B23K26/046 , B23K26/048 , B23K26/0613 , B23K26/351 , G02F1/136259
摘要：装置は、統合された検査機能と、材料除去機能と、材料堆積機能とを備える。当該装置は、検査動作、材料除去動作、及び材料堆積動作を同じ光軸に沿って実行する。装置は、部分的に、カメラと、一対のレンズと、１つ又は複数のレーザとを備える。第１のレンズは、検査を受けているターゲット基板上に形成される構造上に光軸に沿ってカメラを合焦させるために使用される。第１のレンズは、検査された構造が材料除去を必要としていると識別される場合、構造上にレーザビームを合焦させて、その構造上に存在する材料を除去するためにも使用される。第２のレンズは、検査された構造が材料堆積を必要としていると識別される場合、レーザビームをリボン上に合焦させて、リボンに形成された埋め込みウェルから流動的複合物を構造に転写するために使用される。
【選択図】図７

3. 发明专利

JP2008519993A Scratch resistance pdlc modulator 有权
公开(公告)号：JP2008519993A
公开(公告)日：2008-06-12
申请号：JP2007540433
申请日：2005-11-09
申请人：フォトン・ダイナミクス・インコーポレーテッド
发明人：チェン、シャンハイ
IPC分类号： G02F1/1334 , G02F1/1333
CPC分类号： G02F1/1341 , G02F1/1334 , G02F2201/50 , Y10T428/10
摘要：特別に調製されたＵＶ硬化性有機ハードコーティングの選択の少なくとも一つをポリエステル（Ｍｙｌａｒ）膜の露出側の保護層として使用してＰＤＬＣ変調器が製造される。
関連する様々なタイプのハードコーティングは、ポリエステル膜基板への良好な接着性、優れた硬度および靭性を示し、不必要な磨耗を最小限にする滑りやすい頂面を有する。
コーティングは、変調器表面に適用されると被試験パネル上の予想外の粒子によって引き起こされる変調器へのスクラッチ損傷を著しく低減させる。
さらに、滑り面によって粒子への粘性が低減され、それゆえパネル損傷の可能性も低減される。
【選択図】図１

4. 发明专利

JP2007513362A Vacuum deposition of dielectric coating on volatile material 审中-公开
公开(公告)号：JP2007513362A
公开(公告)日：2007-05-24
申请号：JP2006535602
申请日：2004-10-12
申请人：フォトン・ダイナミクス・インコーポレーテッド
发明人：グプタ，プラモッド , チェン，シンハイ , ナギー，アレキサンダー , ペテ，ラジヴ
IPC分类号： G02F1/1334 , C23C14/02 , C25D2/00 , G02F1/1335
CPC分类号： C23C14/024 , G02F1/1334 , G02F1/133516 , G02F1/133553 , G02F2001/133521
摘要：真空下で、光学ガラス基板の表面上のインジウム錫酸化物（ＩＴＯ）などの透過性電極を持つ光学ガラス基板上のポリマー分散型液晶（ＰＤＬＣ）などの揮発性のゼラチン状層全体に、任意のコーティングを施すことを可能にするために、中間の応力吸収ポリマー材料の層が、先ず揮発性物質の蒸発および漏れ防止のために、揮発性のゼラチン状層を覆うように施されて、その後、超高真空下で、例えば物理的気相成長（ＰＶＤ）またはスパッタリングと呼ばれる技術を使用して、コーティングが施される。

5. 发明专利

JP2007508599A Method of manufacturing an electro-optical light modulator 审中-公开
公开(公告)号：JP2007508599A
公开(公告)日：2007-04-05
申请号：JP2006535567
申请日：2004-10-08
申请人：フォトン・ダイナミクス・インコーポレーテッド
发明人：チェン，シンハイ , ナギー，アレキサンダー , ボルドウィン，デイビッド
IPC分类号： G02F1/13 , B32B7/12 , B32B17/10 , B32B27/36 , B32B37/12 , C03C17/42 , G02F1/1334 , G02F1/1362
CPC分类号： B32B37/003 , B32B7/12 , B32B17/10018 , B32B17/10174 , B32B27/36 , B32B37/12 , B32B2309/06 , B32B2309/68 , C03C17/42 , C03C2217/478 , G02F1/1334 , G02F2001/136254
摘要：電気光学光変調器では、ポリマ分散型液晶つまりＰＤＬＣのような電気光学センサ材料が、インジウム錫化合物のような透明な電極及びシリコン酸化膜（ＳｉＯ
2 ）のような任意選択のパッシベーション・コーティングの層をその表面上にもつ光学ガラス基板上に直接コーティングされる。ポリマ接着材の薄い層がＰＤＬＣ層の頂部にコーティングされ、次いでこの２層コーティングがポリエステル膜（マイラ（登録商標））上に誘電体ミラーと一緒に、好ましくは真空の助けの下に積層される。

6. 发明专利

JP2020524795A 超高解像度パネルの欠陥検出方法审中-公开
公开(公告)号：JP2020524795A
公开(公告)日：2020-08-20
申请号：JP2019570518
申请日：2018-06-18
申请人：フォトン・ダイナミクス・インコーポレーテッド
发明人：マーティン、ラウルアルバート , ブライス、リチャードノリオ
IPC分类号： H01L21/66 , G01R31/52 , G01R31/00
摘要：相互に離間して設けられた多数の導体を有する電気回路の検査システムであって、前記多数の導体のうち空間的に近接した複数の導体それぞれに異なる電圧を印加するよう動作する電圧ドライバと、前記電気回路に関して、規定されたテスト領域の少なくとも一つの特性を検出するよう動作し、前記複数の導体それぞれの位置間隔を区別するには十分な空間解像度を有していないセンサと、前記センサからの少なくとも一つの出力に応答して、前記複数の導体に欠陥があるかどうかを確認するための欠陥インジケータと、を有する。【選択図】図1A

7. 发明专利

JP2014523524A Defect detection system and method using all the original images 有权
标题翻译：空值
公开(公告)号：JP2014523524A
公开(公告)日：2014-09-11
申请号：JP2014514541
申请日：2012-06-05
申请人：フォトン・ダイナミクス・インコーポレーテッド
发明人：モキチェブニコライ
IPC分类号： G01N21/956 , G01B11/30 , G01N21/88 , G06T1/00 , H01L21/66
CPC分类号： G06T7/001 , G01N21/95 , G01N2021/9513 , G06T2207/30121
摘要：周期的特徴を有する電子回路の欠陥を識別する装置であって、該装置には、少なくとも該電子回路の画像を取得するためのカメラと画像処理システムが含まれる。該画像処理システムは該カメラから該電子回路の画像を受信し、受信した電子回路の画像の対角線シフトを少なくとも該電子回路の周期的特徴の対角線サイズによって行うことにより、該電子回路のシフトした画像を作製し、該電子回路の画像および電子回路のシフトした画像を用いて欠陥候補を識別し、該識別された欠陥候補に最も近接した領域を少なくとも１つ選択し、それを使って該電子回路の局所欠陥フリー参照（金色）画像を１つまたは複数計算し、その計算された該電子回路の局所金色画像の１つまたは複数、該電子回路の画像を用いて、該電子回路の欠陥を決定する。
摘要翻译：一种用于识别具有周期特征的电子电路中的缺陷的装置，所述装置至少包括用于获得电子电路的图像的相机和图像处理系统。图像处理系统从相机接收电子电路的图像，通过电子电路的周期特征的至少对角线尺寸执行电子电路的接收图像的对角线偏移，以产生电子电路的移位图像使用电子电路的图像和电子电路的移位图像来识别候选缺陷，使用最接近的电子电路的至少一个选定区域来计算电子电路的一个或多个局部无缺陷参考（黄金）图像使用电子电路的一个或多个计算的局部黄金图像，电子电路的图像来确定电子电路中的缺陷。

8. 发明专利

JP2014521932A Electrical testing of an electronic device using an electron beam induced plasma probe 审中-公开
公开(公告)号：JP2014521932A
公开(公告)日：2014-08-28
申请号：JP2014520256
申请日：2012-07-10
申请人：オーボテックリミテッド , フォトン・ダイナミクス・インコーポレーテッド
发明人：カディシェビッチ、アレクサンダー , カダール、オファー , グレーザー、アリー , ロエウィンガー、ローネン , グロス、エイブラハム , トエット、ダニエル
IPC分类号： G01R31/302 , H01L21/66
CPC分类号： G01R1/072 , G01R31/305 , H01J33/00 , H01J2237/164
摘要：ノンメカニカルコンタクト信号測定装置は、テスト中の構造体における第１の導体と、第１の導体と接触するガスとを有する。少なくとも一つの電子ビームは、ガス中に向けられ、ガスを通過してガス中にプラズマを生成するようにされる。第２の導体は、プラズマと電気的に接触する。信号源は、プラズマが第１の導体に向けられる際に第１の導体、プラズマ及び第２の導体を介して電気計測器に結合される。電気計測器は信号源に反応する。
【選択図】図１

9. 发明专利

JP2013029509A System and method for inspection of electrical circuits 有权
标题翻译：用于检查电路的系统和方法
公开(公告)号：JP2013029509A
公开(公告)日：2013-02-07
申请号：JP2012165073
申请日：2012-07-25
申请人： Photon Dynamics Inc , フォトン・ダイナミクス・インコーポレーテッド
发明人： JUNG SAM-SOO , RAUL MARTIN
IPC分类号： G01R31/302
CPC分类号： G01R31/309
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a system and method for inspection of electrical circuits with improved detection characteristics in detecting defect locations in the electrical circuits being inspected.SOLUTION: A system for inspection of electrical circuits includes a defect detection subsystem and additional subsystem. The additional subsystem applies a time-varying voltage to an electrical circuit being inspected, operates except during detection periods, and operates to sense differences in an electrical state at various different potential defect locations in the electrical circuit.

10. 发明专利

JP4859340B2 The method and apparatus of a flat patterned media for inspection 有权
公开(公告)号：JP4859340B2
公开(公告)日：2012-01-25
申请号：JP2003374208
申请日：2003-11-04
申请人：フォトン・ダイナミクス・インコーポレーテッド
发明人：アダム・ワイズ , アフサー・サランリ
IPC分类号： G01B11/30 , G01N21/956 , G01M11/00 , G02F1/13 , G06K9/00 , G06T1/00 , G06T7/00
CPC分类号： G01N21/95607 , G01N2021/9513 , G06T7/001

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