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1. 发明专利

DE102014016710A1 Verfahren und Vorrichtung zur Durchführung einer optischen Inspektion einer Probenoberfläche 未知
公开(公告)号：DE102014016710A1
公开(公告)日：2015-05-21
申请号：DE102014016710
申请日：2014-11-13
申请人： DANNENBERG FLORIAN , HAHLWEG CORNELIUS , PESCOLLER LUKAS , UEBELER DENISE , WEISS JÜRGEN , ZHAO WENJING
发明人： HAHLWEG CORNELIUS , PESCOLLER LUKAS , DANNENBERG FLORIAN , WEISS JÜRGEN , ZHAO WENJING , UEBLER DENISE
IPC分类号： G01B11/30 , G01N21/94 , G01N21/956
摘要： Offenbart ist ein Verfahren zur Durchführung einer optischen Inspektion einer Probenoberfläche, wobei zumindest ein Abschnitt der Probenoberfläche mit Strahlung unter einem Einstrahlwinkel beaufschlagt wird und reflektierte oder transmittierte Strahlung aufgezeichnet wird, dadurch gekennzeichnet, dass die reflektierte oder transmittierte Strahlung zumindest teilweise aufgezeichnet und der Einstrahlwinkel im Verlauf der Inspektion variiert wird, wobei die Fokusebene der Aufzeichnung außerhalb der Probenoberfläche eingestellt wird. Weiterhin ist eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens offenbart.

2. 发明专利

DE102014011548A1 Optisches Inspektionsgerät und Verfahren zur Aufnahme von Bildserien 未知
公开(公告)号：DE102014011548A1
公开(公告)日：2015-02-19
申请号：DE102014011548
申请日：2014-08-08
申请人： HAHLWEG CORNELIUS , PESCOLLER LUKAS
发明人： PESCOLLER LUKAS , HAHLWEG CORNELIUS
IPC分类号： G01B11/24
摘要： Offenbart ist ein optisches Inspektionsgerät (10) zur Untersuchung von dreidimensionalen Objekten (20) und ein Verfahren zur Aufnahme einer Bildserie mit variierenden Brennebenen durch das optische Inspektionsgerät (10). Das Gerät (10) weist wenigstens ein Aufnahmemittel (30) zur Aufnahme einer Abbildung (20') des Objekts (20), wenigstens eine zwischen dem Aufnahmemittel (30) und dem Objekt (20) angeordnete abbildende Optik (40, 41, 42, 43, 44) zur Abbildung des Objekts (20) auf einem auf einer Bildebene (32) liegenden Sensor (31) des Aufnahmemittels (30) und wenigstens ein mit der abbildenden Optik (40, 41, 42, 43, 44) gekoppeltes Verzögerungselement (50, 51, 52, 53) zur Einstellung der Brennebene der Optik (40, 41, 42, 43, 44) auf, wobei das Verzögerungselement (50, 51, 52, 53) zwischen dem Aufnahmemittel (30) und dem Objekt (20) zwischengeschaltet wird und der Abstand zwischen dem Aufnahmemittel (30) und der abbildenden Optik (40, 41, 42, 43, 44) konstant bleibt.

3. 发明公开

EP2693167A3 Optical device and method for measuring microscopic structures 审中-公开
标题翻译：光学装置和方法，用于测量显微结构
公开(公告)号：EP2693167A3
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：EP13003821.9
申请日：2013-08-01
申请人： Hahlweg, Cornelius , Pescoller, Lukas
发明人： Hahlweg, Cornelius , Pescoller, Lukas
IPC分类号： G01B21/02 , G01B11/02
CPC分类号： G01B21/02
摘要： Optical device and corresponding method for treasuring the dimensions of at least a three-dimensional object, which has a planar base expending in the x-z plane and the height extending in the y direction. The device comprises a supporting means, on which the object is positioned and which defines a surface in the x-z plane, at least an illuminating means for illuminating the object, a first inspection means comprising a first recording means for recording images of the object on a first sensor from an oblique direction at a prescribed angle of elevation with respect tc the plane of the supporting means. Finally, the device comprises a computing unit for collecting, processing and displaying the images of the object. In particular, the first inspection means comprises a first image reproducing optic for producing a geometrical distortion of the image, such that the resulting ratio height-to-width of the image is increased.

4. 发明公开

EP2693167A2 Optical device and method for measuring microscopic structures 审中-公开
标题翻译： Optische Vorrichtung und Verfahren zur Messung von mikroskopischen Strukturen
公开(公告)号：EP2693167A2
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：EP13003821.9
申请日：2013-08-01
申请人： Hahlweg, Cornelius , Pescoller, Lukas
发明人： Hahlweg, Cornelius , Pescoller, Lukas
IPC分类号： G01B21/02 , G01B11/02
CPC分类号： G01B21/02
摘要： Optical device and corresponding method for treasuring the dimensions of at least a three-dimensional object, which has a planar base expending in the x-z plane and the height extending in the y direction. The device comprises a supporting means, on which the object is positioned and which defines a surface in the x-z plane, at least an illuminating means for illuminating the object, a first inspection means comprising a first recording means for recording images of the object on a first sensor from an oblique direction at a prescribed angle of elevation with respect tc the plane of the supporting means. Finally, the device comprises a computing unit for collecting, processing and displaying the images of the object. In particular, the first inspection means comprises a first image reproducing optic for producing a geometrical distortion of the image, such that the resulting ratio height-to-width of the image is increased.
摘要翻译：用于珍贵至少三维物体的尺寸的光学装置和相应的方法，其具有在x-z平面上展开的平面基底和在y方向上延伸的高度。该装置包括支撑装置，物体被定位在该支撑装置上，并且限定了xz平面中的一个表面，至少一个用于照亮物体的照明装置，第一检查装置，包括第一记录装置，用于将物体的图像记录在一个第一传感器从倾斜方向以规定的仰角相对于支撑装置的平面相对于tc。最后，该装置包括用于收集，处理和显示对象的图像的计算单元。特别地，第一检查装置包括用于产生图像的几何失真的第一图像再现光学元件，使得所得到的图像的高宽比增加。

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