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1. 发明申请

WO2012028660A1 GAS DISTRIBUTION DEVICE FOR VACUUM PROCESSING EQUIPMENT 审中-公开
标题翻译：用于真空加工设备的气体分配装置
公开(公告)号：WO2012028660A1
公开(公告)日：2012-03-08
申请号：PCT/EP2011/065052
申请日：2011-08-31
申请人： OERLIKON SOLAR AG, TRÜBBACH , DESPONT, Laurent , VOVK, Vitaliy , WATKINS, Owan Charles
发明人： DESPONT, Laurent , VOVK, Vitaliy , WATKINS, Owan Charles
IPC分类号： C23C16/455
CPC分类号： C23C16/45565 , C23C16/45574
摘要： The invention relates to a vacuum chamber for accommodating a substrate to be treated in a vacuum process comprising a gas inlet (7) connected to a gas source for receiving gas (A, B) and a gas distribution system (9) for dispensing the gas (A, B) from the gas inlet (7) to a plurality of outlet openings (8) into the vacuum chamber at a plurality of locations towards the substrate, whereby the gas distribution system (9) comprises a first plate (10) and a second plate (5), each plate having a flat side, the first plate (10) exhibits a plurality of bores (4) forming the outlet openings (8), the second plate (5) exhibits a plurality of channels (6a, 6b) arranged on the flat side, the first plate (10) and the second plate (5) are mounted together with their flat sides directly contacting each other such that each bore (4) of the first plate (10) is arranged where a channel (6a, 6b) of the second plate (5) ends such that gas (A, B) is dispensable through the respective channel (6a, 6b) into the bore (4), and the individual channels (6a, 6b) merge into at least one common channel (6a, 6b) connected to the gas inlet (7) thus forming a branching arrangement. The vacuum chamber comprising the gas distribution system (9) provides for a significant improvement of the substrate coating homogeneity, thus in an improved quality of the so manufactured substrate while decreasing the manufacturing costs as well.
摘要翻译：本发明涉及一种用于容纳待处理基板的真空室，该真空室包括连接到用于接收气体的气体源（A，B）的气体入口（7）和用于分配气体的气体分配系统（9）（A，B）从多个位于多个位置的气体入口（7）到多个出口（8）进入真空室，由此气体分配系统（9）包括第一板（10）和第二板（5），每个板具有平坦侧，第一板（10）具有形成出口（8）的多个孔（4），第二板（5）具有多个通道（6a， 6b），第一板（10）和第二板（5）安装在一起，其平坦侧面彼此直接接触，使得第一板（10）的每个孔（4）布置在第二板（5）的通道（6a，6b）结束，使得气体（A，B）通过相应的通道（6a，6b）是可分配的孔（4）和各个通道（6a，6b）合并成连接到气体入口（7）的至少一个公共通道（6a，6b），从而形成分支装置。包括气体分配系统（9）的真空室提供了显着改善基底涂层均匀性，从而提高了如此制造的基板的质量，同时降低了制造成本。

2. 发明申请

WO2012004230A9 LASER PROCESSING WITH MULTIPLE BEAMS AND RESPECTIVE SUITABLE LASER OPTICS HEAD 审中-公开
公开(公告)号：WO2012004230A9
公开(公告)日：2012-01-12
申请号：PCT/EP2011/061253
申请日：2011-07-04
申请人： OERLIKON SOLAR AG, TRÜBBACH , BOOTH, Heather , CASHMORE, Julian
发明人： BOOTH, Heather , CASHMORE, Julian
IPC分类号： B23K26/067 , B23K26/06 , H01L31/18 , G02B26/08 , G02B27/10
摘要： The invention relates to a laser optics head (10) configured for use in a laser scribing device, comprising a diffractive optical element (11), a focusing objective (13) and an adjusting means (21), whereby the diffractive optical element (11) and the focusing objective (13) are arranged spaced apart from each other on one common optical axis (16), and the adjusting means (21) is configured for rotating the diffractive optical element (11) in a third plane orthogonal to the optical axis (16). The invention provides for a reduction in leakage current of thin film solar cells.

3. 发明申请

WO2011086096A1 MOUNTING FOR FIXING A REACTOR IN A VACUUM CHAMBER 审中-公开
标题翻译：在真空室中固定反应器的安装
公开(公告)号：WO2011086096A1
公开(公告)日：2011-07-21
申请号：PCT/EP2011/050344
申请日：2011-01-12
申请人： OERLIKON SOLAR AG, TRÜBBACH , ILINICH, Eduard , MEIER, Andreas
发明人： ILINICH, Eduard , MEIER, Andreas
IPC分类号： C23C16/458 , C23C16/46
CPC分类号： C23C16/4586 , C23C16/458 , C23C16/46
摘要： The present invention provides a mounting, configured for fixing a reactor, in particular a PECVD reactor, in a vacuum chamber (1), the mounting (10) comprising a framework of at least two outer beams (11) being arranged opposite to each other, and a plurality of cross beams (12), wherein the outer beams (11) and the cross beams (12) form compartments (13), in which temperature controlling elements are provided. The mounting (10) according to the invention has a reduced weight and is producible cost saving.
摘要翻译：本发明提供了一种安装件，其被配置用于将反应器，特别是PECVD反应器固定在真空室（1）中，所述安装件（10）包括彼此相对布置的至少两个外梁（11）的框架和多个横梁（12），其中外梁（11）和横梁（12）形成隔室（13），其中设置有温度控制元件。根据本发明的安装件（10）具有减轻的重量并且可节省成本。

4. 发明申请

WO2010142575A2 TANDEM SOLAR CELL INTEGRATED IN A DOUBLE INSULATING GLASS WINDOW FOR BUILDING INTEGRATED PHOTOVOLTAIC APPLICATIONS 审中-公开
标题翻译： TANDEM太阳能电池集成在双层绝缘玻璃窗中，用于建筑一体化的光伏应用
公开(公告)号：WO2010142575A2
公开(公告)日：2010-12-16
申请号：PCT/EP2010/057641
申请日：2010-06-01
申请人： OERLIKON SOLAR AG, TRÜBBACH , LOSIO, Paolo , GOPSILL, Christopher Charles
发明人： LOSIO, Paolo , GOPSILL, Christopher Charles
IPC分类号： H01L31/075
CPC分类号： H01L31/043 , E06B3/66 , H01L31/0488 , Y02A30/62 , Y02E10/50
摘要： The present invention relates to an insulated window having two solar cells on each window pane so that the window can be used to generate electric energy. One solar cell is an amorphous Si-CeII, the other either an amorphous or microcrystalline Si-CeII.
摘要翻译：本发明涉及一种在每个窗玻璃上具有两个太阳能电池的隔热窗，使得该窗可用于产生电能。一个太阳能电池是非晶Si-CeII，另一个是非晶或微晶Si-CeII。

5. 发明申请

WO2011073385A2 MOUNTING INTERFACE FOR A PHOTOVOLTAIC MODULE 审中-公开
标题翻译：光伏模块的安装接口
公开(公告)号：WO2011073385A2
公开(公告)日：2011-06-23
申请号：PCT/EP2010/070066
申请日：2010-12-17
申请人： OERLIKON SOLAR AG, TRÜBBACH , SINICCO, Ivan , HUEGLI, Andreas , DILLMANN, Jürgen Josef
发明人： SINICCO, Ivan , HUEGLI, Andreas , DILLMANN, Jürgen Josef
IPC分类号： H01L31/042
CPC分类号： H01L31/0422 , F24S25/632 , F24S2025/023 , H02S20/00 , H02S20/10 , H02S20/23 , Y02B10/12 , Y02B10/20 , Y02E10/47 , Y02E10/50
摘要： The invention relates to a mounting interface configured for a photovoltaic module (1) comprising a backside (2) having an overall backside surface size (4, 5), the mounting interface comprising at least six mounting elements (3) attachable to the backside (2) of the photovoltaic module (1) for mounting the photovoltaic module (1) on a mounting surface, wherein each mounting element (3) comprises a mounting element surface having an overall mounting element surface size (6, 7) such that the contact area between the photovoltaic module (1) and the mounting element (3), when attached to the photovoltaic module (1), equals the overall mounting element surface size (6, 7), and the overall backside surface size (4, 5) of the photovoltaic module (1) divided by the summarized overall mounting element surface size (6, 7) of all mounting elements (3) is ≥ 40 and ≤ 160, preferably ≥ 50 and ≤ 80, more preferably 52. The invention provides for reducing the size of each mounting element (3) such that the overall amount of material required for the mounting is reduced, resulting in minimized material costs.
摘要翻译：本发明涉及一种被配置用于光伏模块（1）的安装接口，该光伏模块（1）包括具有整体后侧表面尺寸（4,5）的背面（2），该安装接口包括至少六个可附接到背面的安装元件（3）用于将光伏模块（1）安装在安装表面上的光伏模块（1）的两个（2），其中每个安装元件（3）包括具有整体安装元件表面尺寸（6,7）的安装元件表面，当光伏模块（1）和安装元件（3）之间的区域安装在光电模块（1）上时，等于整个安装元件的表面尺寸（6,7）和整个背面的尺寸（4,5）光电模块（1）除以所有安装元件（3）的总体安装元件表面尺寸（6,7）的总和= 40和= 160，优选= 50和= 80，更优选为52.本发明提供减小每个安装元件（3）的尺寸因为安装所需的材料的总量减少，导致材料成本最小化。

6. 发明申请

WO2011033025A1 VERFAHREN UND ANORDNUNG ZUM EINSTELLEN EINES SOLARSIMULATORS 审中-公开
标题翻译：方法和装置，用于设定太阳模拟器
公开(公告)号：WO2011033025A1
公开(公告)日：2011-03-24
申请号：PCT/EP2010/063624
申请日：2010-09-16
申请人： OERLIKON SOLAR AG, TRÜBBACH , ADELHELM, Ralf , MEIER, Johannes
发明人： ADELHELM, Ralf , MEIER, Johannes
IPC分类号： G01J1/08 , G01J3/02 , G01J3/51 , F21S8/00 , G01R31/26
CPC分类号： G01J1/08 , F21S8/006 , G01J1/0266 , G01J1/0488 , G01J3/02 , G01J3/0213 , G01J3/51 , G01J3/513
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Einstellen eines Solarsimulators (12), insbesondere zum Einstellen der spektralen Bestrahlungsstärke eines Solarsimulators (12). Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren kann insbesondere die spektrale Bestrahlungsstärke sehr genau eingestellt werden, was beispielsweise ein darauffolgendes Vermessen einer Solarzelle mit Bezug auf ihre opto-elektronischen Eigenschaften verbessert. Das Verfahren umfasst erfindungsgemäß die Schritte: a) Anordnen eines Solarsimulators in einer Ebene E1; b) Anordnen wenigstens zweier Detektoren in einer Testebene E2, wobei die Testebene E2 einen definierten Abstand A1 zu der Ebene E1 aufweist, und wobei die Detektoren eine spektrale Empfindlichkeit in einem jeweils unterschiedlichen spektralen Bereich aufweisen; c) Bestrahlen der wenigstens zwei Detektoren mit Licht eines Wellenlängenbereichs von 250nm bis 4μm, insbesondere 300nm-1900nm, besonders bevorzugt 300nm-1200nm; d) Verändern des Abstands A1 oder Einstellen der Lampenleistung des Solarsimulators derart, dass der erste Detektor einen definierten Sollwert erreicht; e) Überprüfen des Ist-Werts des zweiten Detektors (18); f) Verkleinern des Abstands A1 und Verringern der Lampenleistung des Solarsimulators für den Fall, dass das eingestrahlte Licht zu kurzwellig ist, oder Vergrößern des Abstands A1 und Vergrößern der Lampenleistung des Solarsimulators für den Fall, dass das eingestrahlte Licht zu langwellig ist, und g) Wiederholen der Schritte d) bis f) für den Fall, dass die Ist-Werte der Detektoren) von ihren Sollwerten abweichen.
摘要翻译：本发明涉及一种用于设置的太阳能模拟器（12），特别是用于调整太阳模拟器（12）的光谱辐射能的方法。本发明的方法中，光谱辐射强度可以被设置在特定的非常精确，从而改善，例如，太阳能电池的相对于它的光电性能的后续测量。根据本发明的方法包括以下步骤：a）设置在一个平面E1的太阳模拟器; b）将至少两个检测器在测试平面E2，其中，所述测试电平E2具有从A1到水平E1，和一个限定的距离，其中，所述检测器具有在每种情况下不同光谱区域的光谱灵敏度; C）照射至少两个检测器，波长范围为250nm〜4微米的光，特别是300nm的-1900nm，更优选为300nm-1200nm的; D）改变距离A1或调整太阳模拟器，使得第一检测器已经达到所定义的目标值的灯的功率。 E）第二检测器的实际值的检查（18）; F）降低的间距A1和的情况下的太阳模拟器的灯功率，其中所照射的光太短波状，或增大距离A1和增加的情况下的太阳模拟器，其中照射光太长波状的灯功率的减小，以及g）重复在事件步骤d）至f），该检测器的）的实际值从它们的标称值偏离。

7. 发明申请

WO2010049407A1 VERFAHREN ZUM REINIGEN EINER VAKUUMPUMPE 审中-公开
标题翻译：方法清洁真空泵
公开(公告)号：WO2010049407A1
公开(公告)日：2010-05-06
申请号：PCT/EP2009/064122
申请日：2009-10-27
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH , OERLIKON SOLAR AG, TRÜBBACH , KANNEN, Ingo , GÖTTLICH, Hagen , SCHNEIDER, Stefan
发明人： KANNEN, Ingo , GÖTTLICH, Hagen , SCHNEIDER, Stefan
IPC分类号： B08B3/08 , B08B9/00 , F04C29/00
CPC分类号： B08B3/08 , B08B9/00 , F04C18/16 , F04C2220/10 , F04C2280/02
摘要： Ein effektives Verfahren zum Reinigen einer Vakuumpumpe (10), die eine Pumpenkammer (12) mit mindestens einem Pumpenrotor (14) aufweist, ist gekennzeichnet durch die Schritte: a) Einfüllen einer Reinigungsflüssigkeit (28) in die Pumpenkammer (12), b) Verteilen der Reinigungsflüssigkeit (28) in der Pumpenkammer (12), c) Lösen von Verunreinigungen mit der Reinigungsflüssigkeit (28) und d) Ablassen der Reinigungsflüssigkeit (28) aus der Pumpenkammer (12).
摘要翻译：用于清洁具有泵室（12）与真空泵（10）与至少一个泵的转子（14）的有效方法，其特征在于以下步骤：a）将清洗液（28）进入泵室（12），b）中分发的清洗液（28）在泵室（12），c）中的与清洗液（28）和d杂质溶解）排出从泵室（12的清洗液（28））。

8. 发明申请

WO2012028691A1 METHOD OF COATING A SUBSTRATE FOR MANUFACTURING A SOLAR CELL 审中-公开
标题翻译：涂覆用于制造太阳能电池的基板的方法
公开(公告)号：WO2012028691A1
公开(公告)日：2012-03-08
申请号：PCT/EP2011/065134
申请日：2011-09-01
申请人： OERLIKON SOLAR AG, TRÜBBACH , KLUTH, Oliver , CAGLAR, Onur , PAOLO, Losio , GOLDBACH-ASCHEMANN, Stephanie
发明人： KLUTH, Oliver , CAGLAR, Onur , PAOLO, Losio , GOLDBACH-ASCHEMANN, Stephanie
IPC分类号： C23C16/18 , C23C16/40 , C23C16/54 , C23C16/455 , H01L31/0224 , H01L31/0236
CPC分类号： H01L31/1884 , C23C16/407 , C23C16/45523 , C23C16/54 , H01L31/022425 , H01L31/022483 , H01L31/02366 , Y02E10/50
摘要： The invention relates to a method of coating a substrate (41) for manufacturing a solar cell (40) in a deposition environment, the method comprising the steps of: a) Depositing a first zinc oxide layer onto a substrate (41), b) Reducing a zinc precursor content in the deposition environment, c) Treating the first zinc oxide layer with a mixture of diborane and water to form a plurality of coating seeds on the surface of the first zinc oxide layer, and d) Depositing a second zinc oxide layer onto the first zinc oxide layer. The method according to the invention allows improving the material quality of silicon layers which may later be grown on such a substrate. Additionally, the light scattering and subsequent light trapping in a respective solar cell may be enhanced by a method according to the invention. The present invention further relates to a solar cell being manufactured according to the invention.
摘要翻译：本发明涉及在沉积环境中涂覆用于制造太阳能电池（40）的衬底（41）的方法，所述方法包括以下步骤：a）将第一氧化锌层沉积到衬底（41）上，b）在沉积环境中还原锌前驱物含量，c）用乙硼烷和水的混合物处理第一氧化锌层，以在第一氧化锌层的表面上形成多个涂覆种子，以及d）沉积第二氧化锌层到第一氧化锌层上。根据本发明的方法允许改善随后在这种基底上生长的硅层的材料质量。此外，可以通过根据本发明的方法来增强各个太阳能电池中的光散射和随后的光捕获。本发明还涉及根据本发明制造的太阳能电池。

9. 发明申请

WO2012027857A2 METHOD FOR MANUFACTURING A TANDEM SOLAR CELL WITH MICROCRYSTALLINE ABSORBER LAYER 审中-公开
标题翻译：用微波吸收层制造TANDEM太阳能电池的方法
公开(公告)号：WO2012027857A2
公开(公告)日：2012-03-08
申请号：PCT/CH2011/000201
申请日：2011-09-01
申请人： OERLIKON SOLAR AG, TRÜBBACH , KUPICH, Markus
发明人： KUPICH, Markus
IPC分类号： H01L31/18
CPC分类号： H01L21/02532 , C23C16/24 , C23C16/505 , H01L21/02595 , H01L21/0262 , H01L31/076 , H01L31/1824 , Y02E10/545 , Y02E10/548 , Y02P70/521
摘要： A tandem solar cell comprising an amorphous top cell and a microcrystalline bottom cell is described, wherein the plasma deposition of the microcrystalline absorber of the bottom cell is being performed in at least two steps, with the RF power density per flow unit of precursor gas in the second step being chosen to be lower than in the first step whilst the flow ratios of diluent and precursor are being kept constant.
摘要翻译：描述了包括非晶顶部电池和微晶底部电池的串联太阳能电池，其中底部电池的微晶吸收剂的等离子体沉积正在至少两个步骤中进行，其中前体气体的每单位流量的RF功率密度第二步选择为低于第一步，同时稀释剂和前体的流动比保持恒定。

10. 发明申请

WO2011127619A1 A METHOD AND APPARATUS FOR DEPOSITING A MICROCRYSTALLINE MATERIAL IN PHOTOVOLTAIC APPLICATIONS 审中-公开
标题翻译：用于在光伏应用中沉积微晶材料的方法和装置
公开(公告)号：WO2011127619A1
公开(公告)日：2011-10-20
申请号：PCT/CH2011/000080
申请日：2011-04-14
申请人： OERLIKON SOLAR AG, TRÜBBACH , KLINDWORTH, Markus , KUPICH, Markus
发明人： KLINDWORTH, Markus , KUPICH, Markus
IPC分类号： C23C16/24 , C23C16/455
CPC分类号： C23C16/24 , C23C16/45557
摘要： A deposition method and system for producing a photovoltaic cell is provided. The method includes maintaining a sub-atmospheric pressure within a reaction chamber during at least a portion of the deposition of the semiconductor material. The distance D separating the first and second electrodes is expressed in mm, and is greater than or equal to about 10 mm but less than or equal to about 30 mm. A concentration of the semiconductor-containing gas in the process gas of at least fifty (50%) percent by volume is established during at least a portion of the deposition of the semiconductor material.
摘要翻译：提供了一种用于生产光伏电池的沉积方法和系统。该方法包括在半导体材料的沉积的至少一部分期间维持反应室内的亚大气压。分离第一和第二电极的距离D以mm表示，并且大于或等于约10mm但小于或等于约30mm。在半导体材料的沉积的至少一部分中，建立至少五十（50％）体积百分比的处理气体中含半导体的气体的浓度。

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