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热词
    • 3. 发明申请
    • IMPROVED LIFT PIN GUIDES
    • 改进的提升引脚指南
    • WO2011009007A2
    • 2011-01-20
    • PCT/US2010042199
    • 2010-07-15
    • APPLIED MATERIALS INCPAI UDAYLOPEZ OSCAROH JEONGHOONCHO TOM KWHITE JOHN MJAMES SILJAPOLYAK ALEXANDER S
    • PAI UDAYLOPEZ OSCAROH JEONGHOONCHO TOM KWHITE JOHN MJAMES SILJAPOLYAK ALEXANDER S
    • H01L21/68G02F1/13H01L21/205
    • H01L21/68742C23C14/50C23C16/4586
    • Lift pin guides include bearing elements with rollers having liners comprised of a material that provides both self lubrication and cushioning in order to prevent lift pin binding and extend the life of the lift pins and the lift pin guides. In one embodiment, each lift pin guide includes an upper bearing element near the upper surface of a substrate support and a lower bearing element disposed a distance beneath the substrate support in order to reduce stresses experienced by the lift pin. The lift pin guides may be used in a vacuum deposition chamber adapted to deposit materials onto substrates to form electronic devices such as thin film transistors, organic light emitting diodes, photovoltaic devices or solar cells, including chemical vapor deposition chambers and physical vapor deposition chambers. The lift pin guides may also be used in load lock chambers, etching chambers or other applications where lift pins are utilized.
    • 升降销引导件包括具有滚子的轴承元件,滚子具有由既提供自润滑又提供缓冲的材料组成的衬垫,以防止提升销结合并延长提升销和提升销引导件的寿命。 在一个实施例中,每个提升销引导件包括靠近衬底支撑件的上表面的上支撑元件和布置在衬底支撑件下方一段距离处的下支撑元件,以便减少提升销所经受的应力。 提升销引导件可以用于真空沉积室中,该真空沉积室适于将材料沉积到基底上以形成电子装置,例如薄膜晶体管,有机发光二极管,光伏装置或太阳能电池,包括化学气相沉积室和物理气相沉积室。 升降杆引导件也可用于负载锁定室,蚀刻室或使用升降杆的其他应用场合。
    • 9. 发明专利
    • Andamio con plataforma de elevacion electrica
    • CO2017004891A1
    • 2018-07-19
    • CO2017004891
    • 2017-05-15
    • SANCHEZ LOPEZ OSCAR JAVIER
    • SANCHEZ RODRIGUEZ JAIME HERNAN
    • E04G1/22E04G3/28E04G3/32
    • Andamio que se compone de marcos y crucetas que tienen incorporadas unas guías verticales y que se ensamblan secuencialmente con la ayuda de una plataforma eléctrica que se ubica en el interior del andamio en el momento de su montaje y utilización. Esta plataforma encaja con las guías verticales de los andamios y se desplaza verticalmente con la ayuda de una unidad de tracción eléctrica incorporada en su chasis, que consta de un motor, piñones, cadena, eje y dos carretes ubicados en sus extremos, que contienen una eslinga o reata que se enrollan o se desenrollan de acuerdo al sentido del desplazamiento de la plataforma. Al final de cada eslinga se tiene un gancho o mosquetón que se posiciona en el último travesaño de los marcos de los andamios, en el momento en que el motor enrolla la eslinga, toda la plataforma se desplaza verticalmente hacia arriba hasta el punto de trabajo seleccionado. Adicionalmente la plataforma cuenta con un juego de palancas o brazos ubicados en la parte inferior del piso lo suficientemente largos para que cumplan el trabajo de soporte de toda la plataforma cuando descansan en los travesaños de los marcos de los andamios. Estos brazos tienen un movimiento basculante y solo pivotean cada vez que chocan con un travesaño de los marcos del andamio en sentido ascendente, pero no sucede lo mismo cuando la plataforma desciende ya que tienen un tope mecánico que se lo impide, por tanto la plataforma también incluye una palanca que cuando se acciona, hala una guaya con el propósito de girar los brazos hacia abajo evitando cualquier interferencia de los mismos con los travesaños de los marcos de los andamios y permitir el desplazamiento descendente de la plataforma.