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    • 7. 发明申请
    • INTEGRATED OPTICAL DEVICE INCLUDING SUBSTRATES STACKED ALONG AN OPTICAL AXIS THEREOF
    • 一体化光学器件,包括堆叠在其光轴上的衬底
    • US20120155798A1
    • 2012-06-21
    • US13285706
    • 2011-10-31
    • Michael R. FELDMANJames E. MORRIS
    • Michael R. FELDMANJames E. MORRIS
    • G02B6/12
    • G01J1/02G01J1/0204G01J1/0271G01J1/0403G02B6/4246G02B6/4249G02B6/4292
    • An optical device includes a first substrate having a first top surface and a first bottom surface, a second substrate having a second top surface and a second bottom surface, and a spacer substrate between substantially planar portions of the second top surface and the first bottom surface. The spacer, first, and second substrates seal an interior space between the second top surface of the second substrate and the first bottom surface of the first substrate. At least two of the first, second, and spacer substrates are aligned and secured on a wafer level. An optoelectronic element is within the interior space. An optical axis of the optical device extends through one of the first top and bottom surfaces and the second top and bottom surfaces. An electrical interconnection extends from the optoelectronic element to outside the interior space.
    • 光学装置包括具有第一顶表面和第一底表面的第一基底,具有第二顶表面和第二底表面的第二基底,以及在第二顶表面和第一底表面的基本平坦部分之间的间隔基底 。 间隔件,第一和第二基板密封第二基板的第二顶表面和第一基板的第一底表面之间的内部空间。 第一,第二和间隔基板中的至少两个对准并固定在晶片级上。 光电元件位于内部空间内。 光学装置的光轴延伸穿过第一顶表面和底表面中的一个以及第二顶表面和底表面。 电互连从光电元件延伸到内部空间的外部。