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    • 2. 发明申请
    • VERTICAL-GRADIENT-FREEZE-VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON KRISTALLEN
    • 垂直梯度凝固工艺用于生产晶体
    • WO2013104729A1
    • 2013-07-18
    • PCT/EP2013/050428
    • 2013-01-10
    • SCHOTT SOLAR AGMÜLLER, MatthiasJOCKEL, Dietmar
    • MÜLLER, MatthiasJOCKEL, DietmarKROPFGANS, Frieder
    • C30B11/00C30B29/06C30B35/00B22D27/04
    • B22D27/045C30B11/002C30B28/06C30B29/06C30B35/002F27B14/08
    • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines mono-, quasimono- oder multikristallinen Metall- oder Halbmetallkörpers durch gerichtetes Erstarren aus einer Schmelze 3, insbesondere von mono-, quasimono- oder mulitkristallinen Siliziumkörpern nach dem Vertical-Gradient-Freeze-Verfahren (VGF-Verfahren). Bei dem Verfahren erstarrt die Schmelze in einem Schmelztiegel 2 unter Einwirkung eines Temperaturgradienten, der in einer vertikalen Richtung und vom oberen Ende des Schmelztiegels 2 zu dessen unterem Ende verläuft, zu dem mono-, quasimono- oder multikristallinen Metall- oder Halbmetallkörper gerichtet. Vor dem Einbringen oder vor dem Erzeugen der Schmelze 3 in dem Schmelztiegel 2 wird der Boden des Schmelztiegels mit einer dünnen Trennschicht 35, 36 bedeckt. Erfindungsgemäß ist die dünne Trennschicht 35, 36 aus Quarzglas ausgebildet, insbesondere aus einem hochreinen, auch synthetisch hergestellten Quarzglas. So hergestellte Ingots zeigen über ihr gesamtes Volumen sehr homogene Eigenschaften und weisen auch in den Randbereichen nur einen sehr geringen Verunreinigungsgehalt auf.
    • 本发明涉及一种使用垂直梯度冷冻方法从熔融3产生单 - ,quasimono-或多晶金属或半金属体,通过定向凝固,特别是单 - ,quasimono-或mulitkristallinen硅体(VGF法 )。 在该方法中,熔融在坩埚2凝固延伸在一个垂直方向上的温度梯度的影响下,并从在其下端的单 - ,quasimono-或定向多晶金属或半金属体的坩埚2的上端。 在引入之前或熔体3的坩埚2中的生成,坩埚的具有薄分离层35的底部,36被覆盖。 根据本发明,薄的剥离层35的石英玻璃36的形成,特别是高纯度的,合成生产的石英玻璃制成。 锭用这种方式生产的表演在他们的整个体积非常均匀性,只有一个非常低的杂质含量也在周边地区。