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1. 发明授权

US5666258A Micromechanical relay having a hybrid drive 失效
标题翻译：具有混合驱动器的微机电继电器
公开(公告)号：US5666258A
公开(公告)日：1997-09-09
申请号：US505312
申请日：1995-08-17
申请人： Hans-Jurgen Gevatter , Lothar Kiesewetter , Joachim Schimkat , Helmut Schlaak
发明人： Hans-Jurgen Gevatter , Lothar Kiesewetter , Joachim Schimkat , Helmut Schlaak
IPC分类号： H01H1/20 , H01H1/50 , H01H57/00 , H01H59/00
CPC分类号： H01H57/00 , H01H59/0009 , H01H1/20 , H01H1/50 , H01H2001/0057 , H01H2001/0084 , H01H2057/006 , H01H2059/0081
摘要： A micromechanical relay is provided having a cantilevered armature (53) which is etched out from an armature substrate (52). The armature is in the form of a tongue, is elastically connected to the armature substrate, and forms an electrostatic drive with a base electrode (58) of a base substrate (51) located underneath. In addition, a piezo-layer (60) is provided on the armature (53). The piezo-layer (60) acts as a bending transducer and forms a supplemental actuator for a quick response time. When a voltage is applied to the electrodes of the armature (53), base substrate (51) and piezo-layer (60), the armature is attracted toward the base substrate and then rests over a large area on the base, closing at least one contact (55, 56). The different characteristics of the electrostatic actuator, on the one hand, and of the piezo-drive, on the other hand, are complementarily combined to provide a strong attraction force at the start of the armature movement, and a strong contact force is produced after the armature has been attracted.
摘要翻译： PCT No.PCT / DE94 / 00152 Sec。 371日期：1995年8月17日 102（e）日期1995年8月17日PCT 1994年2月14日PCT PCT。第WO94 / 19819号公报日期1994年8月1日提供了具有从电枢基板（52）蚀刻出的悬臂电枢（53）的微机电继电器。衔铁呈舌状，弹性地连接到电枢基片上，并与位于下方的基底基片（51）的基极（58）形成静电驱动。此外，在电枢（53）上设置压电层（60）。压电层（60）用作弯曲换能器并形成用于快速响应时间的辅助致动器。当向电枢（53），基底（51）和压电层（60）的电极施加电压时，电枢被吸引到基底衬底上，然后搁置在基底上的大面积上，至少闭合一个联系人（55,56）。另一方面，静电致动器和压电驱动的不同特征互补地组合，以在电枢运动开始时提供强烈的吸引力，并且在电枢运动开始之后产生强的接触力电枢已被吸引。

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