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1. 发明申请

WO1991017483A1 ILLUMINATION DEVICE 审中-公开
标题翻译：照明装置
公开(公告)号：WO1991017483A1
公开(公告)日：1991-11-14
申请号：PCT/DE1991000375
申请日：1991-05-02
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ... , VOGT, Holger , KÜCK, Heinz , HESS, Gunther , GEHNER, Andreas
发明人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ...
IPC分类号： G03F07/20
CPC分类号： G03F7/70283 , G03F7/70291 , G03F7/70358 , G03F7/70425
摘要： The illumination device (1) proposed is designed to produce patterns (6), or for the direct illumination of electronic elements, and includes a light source (2) and an original generator (3). In order to shorten the exposure time necessary with a simplified illumination-device structure, the original generator (3) includes an optical schlieren system (15, 17) and an active, matrix-addressable surface light modulator (13) which has a visco-elastic control film with a reflective surface (19). Disposed between the schlieren lens (15) and the projection lens (16) in the schlieren system (14) is a mirror (17) which preferably has two functions, not only reflecting the light from the light source (2) to the light modulator (13) but also filtering out undiffracted reflected light. The schlieren lens is located at a distance from the light modulator (13) which is short relative to the focal length of the lens. A positioning table (7) designed to hold the pattern (6) or the electronic element is disposed in such a way that sharp images of areas (19a, 19b) on the surface of the light modulator (13) can be produced on the pattern or the electronic element.
摘要翻译：提出的照明装置（1）被设计成产生图案（6）或用于电子元件的直接照明，并且包括光源（2）和原始发生器（3）。为了缩短使用简化的照明装置结构所需的曝光时间，原始发生器（3）包括光学施胶系统（15,17）和有源矩阵寻址表面光调制器（13）具有反射表面的弹性控制膜（19）。布置在施莱伦系统（14）中的均匀透镜（15）和投影透镜（16）之间的是镜子（17），其优选地具有两个功能，不仅将来自光源（2）的光反射到光调制器（13），而且滤除未衍射的反射光。色散透镜位于离调制器（13）一段距离处，该光调制器相对于透镜的焦距较短。设计成保持图案（6）或电子元件的定位台（7）以这样的方式设置，使得可以在图案上产生光调制器（13）表面上的区域（19a，19b）的清晰图像或电子元件。

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