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1. 发明申请

WO2008092824A3 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM MIKROMECHANISCHEN POSITIONIEREN UND MANIPULIEREN EINES OBJEKTES 审中-公开
公开(公告)号：WO2008092824A3
公开(公告)日：2008-08-07
申请号：PCT/EP2008/050963
申请日：2008-01-28
申请人： TECHNISCHE UNIVERSITÄT ILMENAU , RANGELOW, Ivo W. , KLETT, Stefan , GULIYEV, Eishad , IVANOV, Tzvetan , VOLLAND, Burkhard
发明人： RANGELOW, Ivo W. , KLETT, Stefan , GULIYEV, Eishad , IVANOV, Tzvetan , VOLLAND, Burkhard
IPC分类号： G12B5/00 , H01L41/09
摘要： Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum mikromechanischen Positionieren und Manipulieren eines Objektes. Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vorrichtung und ein dazugehöriges Verfahren zum mikromechanischen Positionieren und Manipulieren von Objekten bereitzustellen, mit denen die Scangeschwindigkeit erhöht und die Positioniergenauigkeit verbessert werden kann, so dass Echtzeitabbildungen bzw. Videoratenabbildungen (ca. 25 Bilder/s) mit einer lateralen und vertikalen Auflösung im Nanometerbereich realisiert werden können. Erfindungsgemäß umfasst ein monolithisches Bauteil, vorzugsweise aus Silizium, ein Stützelement (101), einen Objektträger (116), mehrere Führungselemente (102-107) sowie Elemente zur Übertragung der Bewegung (108-111) und die vorzugsweise piezoelektrischen Antriebselemente (112-115) und vorzugsweise piezoresistiven Positionsdetektoren (121-128) sind in dieses Bauteil integriert. Anwendung findet diese mikromechanische Positioniervorrichtung z.B. in der Rastersondenmikroskopie sowie bei der Nanopositionierung und Nanomanipulation.

2. 发明申请

WO2008092824A2 DEVICE AND METHOD FOR THE MICROMECHANICAL POSITIONING AND HANDLING OF AN OBJECT 审中-公开
标题翻译：装置和方法中微型机械定位和操纵的对象
公开(公告)号：WO2008092824A2
公开(公告)日：2008-08-07
申请号：PCT/EP2008050963
申请日：2008-01-28
申请人： UNIV ILMENAU TECH , RANGELOW IVO W , KLETT STEFAN , GULIYEV EISHAD , IVANOV TZVETAN , VOLLAND BURKHARD
发明人： RANGELOW IVO W , KLETT STEFAN , GULIYEV EISHAD , IVANOV TZVETAN , VOLLAND BURKHARD
IPC分类号： G12B5/00 , G01Q10/04 , H01L41/09
CPC分类号： H02N2/028 , B82Y35/00 , G01Q10/04 , H02N2/0095
摘要： The invention relates to a device and a method for the micromechanical positioning and handling of an object. The aim of the invention is to provide a device and an associated method for the micromechanical positioning and handling of objects by means of which the scanning speed can be increased and the positional accuracy be improved so that real time images or video rate images (ca. 25 images per second) having a lateral and vertical resolution in the nanometer range can be achieved. According to the invention, a monolithic component, preferably made of silicon, comprises a support element (101), an object carrier (116), a plurality of guide elements (102-107) and elements for transmitting the movement (108-111), the preferably piezoresistive drive elements (112-115) and the preferably piezoresistive position detectors (121-128) being integrated into said monolithic component. Said micromechanical positioning device can be used, for example, in scanning probe microscopy and in nanopositioning and nanomanipulation technology.
摘要翻译：本发明涉及用于对对象进行微机械定位和操纵的装置和方法。本发明的目的是提供一种装置和与该扫描速度增加了微机械定位和操作对象相关联的方法，和定位精度可改善，以使实时图像或视频速率的图像（25帧/秒）与侧向和在纳米范围内的垂直分辨率可被实现。根据本发明，包括一个整体结构件，最好是硅的，支撑部件（101），滑动件（116），多个导向件（102-107），以及用于传送运动（108-111），并且优选压阻驱动元件的元件（112-115）并且优选压阻位置检测器（121-128）被整合到该组件。该微机械定位的应用实例在扫描探针显微镜和纳米定位中和纳米操纵。

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