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1. 发明申请

WO2007096505A2 NANOFABRICATION INSTALLATION AND PROCESS 审中-公开
标题翻译：纳米加工安装和加工
公开(公告)号：WO2007096505A2
公开(公告)日：2007-08-30
申请号：PCT/FR2007000287
申请日：2007-02-16
申请人： CENTRE NAT RECH SCIENT , GIERAK JACQUES
发明人： GIERAK JACQUES
CPC分类号： H01J37/20 , B82Y10/00 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , G01Q80/00 , H01J37/3174 , H01J2237/20228 , H01J2237/20235 , H01J2237/20264 , H01J2237/244 , H01J2237/31732 , H01J2237/31737 , H01J2237/31755 , H01J2237/31788
摘要： Nanofabrication installation comprising: a specimen holder, for holding a specimen; a mask, having a through-opening between the upper and lower faces of the mask, for letting charged particles through onto the specimen holder; a near-field detection device for detecting a relative position between the mask (8) and the specimen holder (3); and a displacement device for generating a relative movement between the mask (8) and the specimen holder (3) independently of the relative position between the source (1) and the mask (8), the mask including at least a first electrode in the through-opening (10).
摘要翻译：纳米制造设备包括：用于保持样本的样本保持器; 一个掩模，在掩模的上下面之间有一个通孔，用于使带电粒子通过样品架; 近场检测装置，用于检测所述掩模（8）和所述样品架（3）之间的相对位置; 以及位移装置，用于独立于所述源（1）和所述掩模（8）之间的相对位置而在所述掩模（8）和所述样本保持器（3）之间产生相对运动，所述掩模包括所述掩模（10）。

2. 发明申请

WO02078036A3 DEVICE FOR GENERATING AN ION BEAM 审中-公开
标题翻译：用于产生离子束的装置
公开(公告)号：WO02078036A3
公开(公告)日：2002-11-14
申请号：PCT/FR0201041
申请日：2002-03-26
申请人： CENTRE NAT RECH SCIENT , GIERAK JACQUES , LAGADEC YVON , SEPTIER ALBERT
发明人： GIERAK JACQUES , LAGADEC YVON , SEPTIER ALBERT
IPC分类号： H01J27/26 , H01J27/02 , H01J27/22 , H01J37/08 , H01J37/317
CPC分类号： H01J27/26 , B82Y30/00 , H01J27/022 , H01J27/22 , H01J37/08 , H01J37/09 , H01J37/3007 , H01J37/3045 , H01J37/3056 , H01J2237/024 , H01J2237/0805 , H01J2237/1501 , H01J2237/1502 , H01J2237/30433 , H01J2237/3174
摘要： The invention relates to a device for generating an ion beam. The inventive device comprises an ion source (2), a means (6) for extracting ions emitted by said source, a means (8) for accelerating ions thus extracted, a means (34) for selecting ions thus accelerated and an electrostatic optical system (10) that is intended to focus the ions thus selected along a first axis (Z1). Said device also comprises a means (F) for varying the distance (D) between the ion source and the ion extraction means, said distance being included along a second axis (Z) which is parallel to the first axis and which constitutes the axis of the beam of ions (14) emitted by the source. The invention is particularly suitable for the production of nano-structures.
摘要翻译：本发明涉及一种用于产生离子束的装置。本发明的装置包括离子源（2），用于提取由所述源发射的离子的装置（6），用于加速如此提取的离子的装置（8），用于选择如此加速的离子的装置（34）和静电光学系统（10），其旨在使沿着第一轴线（Z1）选择的离子聚焦。所述装置还包括用于改变离子源和离子提取装置之间的距离（D）的装置（F），所述距离沿着平行于第一轴线的第二轴线（Z）包括，并且构成由源发射的离子束（14）。本发明特别适用于纳米结构的生产。

3. 发明申请

WO2010029269A1 DISPOSITIF DE GÉNÉRATION D'UN FAISCEAU D'IONS AVEC FILTRE MAGNÉTIQUE 审中-公开
标题翻译：用于产生带有磁性滤波器的离子束的装置
公开(公告)号：WO2010029269A1
公开(公告)日：2010-03-18
申请号：PCT/FR2009/051719
申请日：2009-09-14
申请人： CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (C.N.R.S) , RAITH GMBH , JEDE, Ralf , GIERAK, Jacques
发明人： JEDE, Ralf , GIERAK, Jacques
IPC分类号： H01J27/02 , H01J3/40 , H01J37/08
CPC分类号： H01J27/26 , H01J37/08
摘要： L'invention concerne un dispositif (2) de génération d'un faisceau d'ions (4), comprenant un support (6), une source d'ions (18), cette source d'ions comportant une extrémité inférieure (8) reliée au support (6) et une extrémité supérieure (10), à l'opposé de l'extrémité inférieure (8), et un moyen (12) d'extraction des ions émis par la source, ce moyen d'extraction (12) comprenant une paroi (14) munie d'une ouverture (16), l'ouverture (16) étant agencé à proximité de l'extrémité supérieure (10) de la source d'ions (18), afin de permettre le passage des ions extraits à travers cette ouverture. Ce dispositif (2) comprend en outre un moyen (M1, M2) de génération d'un champ magnétique (B) apte à générer un champ magnétique au niveau de l'ouverture (16) du moyen d'extraction, le champ magnétique généré (B) étant apte à dévier des particules chargées (20) attirées par la source d'ions de manière à ce que ces particules chargées n'atteignent pas la source d'ions.
摘要翻译：本发明涉及一种用于产生离子束（4）的装置（2），其包括支撑体（6），离子源（18），该离子源具有连接到支撑件（6）的下端（8）和与所述下端（8）相对的上端（10）和用于提取由所述源发射的离子的提取装置（12），所述提取装置（12）包括具有开口（16）的壁（14）所述开口（16）靠近所述离子源（18）的上端（10）放置，以允许所提取的离子通过所述开口。装置（2）还包括用于产生能够在提取装置的开口（16）中产生磁场的磁场（B）的装置（M1，M2），所产生的磁场（B）能够偏转由离子源吸引的带电粒子（20），使得这些带电粒子不到达离子源。

4. 发明申请

WO2007096505A3 INSTALLATION ET PROCEDE DE NANO -FABRICATION 审中-公开
公开(公告)号：WO2007096505A3
公开(公告)日：2007-08-30
申请号：PCT/FR2007/000287
申请日：2007-02-16
申请人： CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE - CNRS , GIERAK, Jacques
发明人： GIERAK, Jacques
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/20 , B82B3/00
摘要： Installation de nano- fabrication comprenant : - un porte-échantillon recevant un échantillon, - un masque comprenant une ouverture traversante entre les faces supérieure et inférieure du masque, laissant passer des particules chargées en direction du porte-échantillon, - un dispositif de détection en champ proche détectant une position relative du masque (8) et du porte- échantillon (3) , - un dispositif de déplacement générant un mouvement relatif du masque (8) et du porte-échantillon (3) indépendamment de la position relative de la source (1) et du masque (8) , le masque comprenant au moins une première électrode au niveau de l'ouverture traversante (10) .

5. 发明申请

WO2010029270A1 DISPOSITIF DE GÉNÉRATION D'UN FAISCEAU D'IONS AVEC PIÈGE CRYOGÉNIQUE 审中-公开
标题翻译：用于产生具有低温捕获的离子束的装置
公开(公告)号：WO2010029270A1
公开(公告)日：2010-03-18
申请号：PCT/FR2009/051720
申请日：2009-09-14
申请人： CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (C.N.R.S) , RAITH GMBH , GIERAK, Jacques , JEDE, Rafl
发明人： GIERAK, Jacques , JEDE, Rafl
IPC分类号： H01J27/26 , H01J37/08 , B01D8/00
CPC分类号： H01J27/26 , H01J37/08
摘要： Ce dispositif (2) de génération d'un faisceau d'ions (4) comprenant une source d'ions (18) à métal liquide est caractérisé en ce que la source d'ions est entourée d'un piège cryogénique (28) maintenu à basse température, ce piège cryogénique étant apte à piéger des espèces chimiques volatiles (G) par condensation avant qu'elle ne puissent atteindre la source d'ions.
摘要翻译：用于产生包括液体金属离子源（18）的离子束（4）的该装置（2）的特征在于，离子源被保持在低温的低温阱（28）包围，该低温阱能够在挥发性化学物质（G）到达离子源之前冷凝它们，从而捕获挥发性化学物质（G）。

6. 发明申请

WO1996002065A1 LIQUID METAL ION SOURCE 审中-公开
标题翻译：液体金属离子源
公开(公告)号：WO1996002065A1
公开(公告)日：1996-01-25
申请号：PCT/FR1995000903
申请日：1995-07-06
申请人： CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE , GIERAK, Jacques , BEN ASSAYAG, Gérard, Jacques
发明人： CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE
IPC分类号： H01J27/26
CPC分类号： H01J27/22 , H01J27/26
摘要： A liquid metal ion source including a cylindrical rod (10, 35) made of a refractory conductive material and a refractory needle (12, 13; 37, 39) extending from the end of said rod and intended to be covered with a liquid filler metal, wherein the cylindrical rod/needle assembly extends through a container (14, 15) made of conductive material, the region (19, 33) where the rod is inserted into the container forms an electrical contact between said rod and said container, and the container is in contact with a conductive filament (16), such that the cylindrical rod, the container and the filament are electrically connected in series.
摘要翻译：一种液体金属离子源，包括由耐火导电材料制成的圆柱形杆（10,35）和从所述杆的端部延伸并且用液体填充金属覆盖的耐火针（12,13; 37,39），其中所述圆柱形杆/针组件延伸穿过由导电材料制成的容器（14,15），所述杆插入所述容器中的区域（19,33）在所述杆和所述容器之间形成电接触，并且容器与导电丝（16）接触，使得圆柱形杆，容器和细丝串联电连接。

7. 发明申请

WO2012168225A1 ION SOURCE, NANOFABRICATION APPARATUS COMPRISING SUCH SOURCE, AND A METHOD FOR EMITTING IONS 审中-公开
标题翻译：离子源，包含这些源的纳米装置以及发射离子的方法
公开(公告)号：WO2012168225A1
公开(公告)日：2012-12-13
申请号：PCT/EP2012/060578
申请日：2012-06-05
申请人： CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE - CNRS - , UNIVERSITE LYON 1 CLAUDE BERNARD , GIERAK, Jacques , ALLEMANDOU, Nicolas , HASSELBACH, Klaus , LEGGERI, Jean-Paul , DONNIER-VALENTIN, Guillaume , PURCELL, Stephen , GAVAND, Pauline
发明人： GIERAK, Jacques , ALLEMANDOU, Nicolas , HASSELBACH, Klaus , LEGGERI, Jean-Paul , DONNIER-VALENTIN, Guillaume , PURCELL, Stephen , GAVAND, Pauline
IPC分类号： H01J37/08 , H01J37/305
CPC分类号： H01J37/08 , H01J3/18 , H01J3/26 , H01J27/022 , H01J27/024 , H01J27/22 , H01J37/05 , H01J37/317 , H01J37/3174 , H01J2237/0807 , H01J2237/0815 , H01J2237/0827
摘要： A ion source comprises: - a chamber (45), - an injection to inject matter into the chamber, wherein said matter comprises at least a first species, a tip with an apex located in the chamber, wherein the apex has a surface made of a metallic second species, - a generator to generate ions of said species, - a regulation system adapted to set operative conditions of the chamber to alternatively generate ions from the gaseous first species, and ions from the non¬ gaseous metallic second species.
摘要翻译：离子源包括： - 室（45）， - 注入以将物质注入到室中，其中所述物质包括至少第一种类，具有位于所述室中的顶点的尖端，其中所述顶点具有由金属第二种类， - 产生所述物质的离子的发生器， - 调节系统，其适于设置所述室的操作条件以交替地从所述气态第一种类产生离子，以及来自所述非气态金属第二种的离子。

8. 发明申请

WO2007045739A1 POINTE, TETE ET DISPOSITIF DE LECTURE/ECRITURE, ET SON UTILISATION, ET PROCEDE DE FABRICATION D'UN TEL DISPOSITIF 审中-公开
标题翻译：阅读/书写提示，头和设备及其用途及其制作方法
公开(公告)号：WO2007045739A1
公开(公告)日：2007-04-26
申请号：PCT/FR2006/002243
申请日：2006-10-05
申请人： CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE - CNRS , GIERAK, Jacques , MARTROU, David
发明人： GIERAK, Jacques , MARTROU, David
IPC分类号： G12B21/04 , G12B21/02 , G11B9/00 , G01N13/12 , H01J27/22
CPC分类号： G11B9/1409 , B82Y10/00 , G01Q80/00 , G11B9/149
摘要： Pointe de lecture/écriture configurée sous la forme d'une aiguille formée d'un noyau (3) d'un matériau réfractaire recouvert d'une couche (9) de matériau électriquement conducteur, et présentant une géométrie externe d'aiguille de microscope par effet tunnel, pour l'obtention d'une information relative à une surface (17a) par microscopie par effet tunnel. L'aiguille (2) émet une particule chargée depuis la couche (9) de matériau électriquement conducteur, pour former la surface. La pointe comprend un réservoir (11) pouvant être liquéfié pour s'écouler le long de la pointe.
摘要翻译：本发明涉及一种以由导电材料的涂层（9）覆盖的耐火材料芯（3）构成的针的形状的读/写尖端，并且通过隧道效应具有外显微镜针几何形状，以获得关于通过隧道效应显微镜的表面（17a）的信息。针（2）从导电材料层（9）发射带电粒子以形成表面。尖端包括能够被液化以沿着尖端流动的储存器（11）。

9. 发明申请

WO2003044824A1 DISPOSITIF DE REGLAGE D'UN APPAREIL DE GENERATION D'UN FAISCEAU DE PARTICULES CHARGEES 审中-公开
标题翻译：用于控制产生充电颗粒束的装置的装置
公开(公告)号：WO2003044824A1
公开(公告)日：2003-05-30
申请号：PCT/FR2002/003937
申请日：2002-11-18
申请人： CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE , GIERAK, Jacques , HAWKES, Peter
发明人： GIERAK, Jacques , HAWKES, Peter
IPC分类号： H01J37/304
CPC分类号： B82Y30/00 , B82Y10/00 , H01J37/304 , H01J37/3056 , H01J2237/0653 , H01J2237/21 , H01J2237/24535 , H01J2237/2485 , H01J2237/28 , H01J2237/30438 , H01J2237/30472 , H01J2237/31749
摘要： Dispositif de réglage d'un faisceau de particules chargées.Ce dispositif comprend des moyens de réglage (40) pour mémoriser les caractéristiques souhaitées pour le faisceau (14), déterminer les valeurs des paramètres de réglage de l'appareil (2) en fonction de ces caractéristiques, mémoriser ces valeurs et donner ces valeurs mémorisées aux paramètres de réglage de l'appareil. L'invention s'applique notamment à la fabrication de nano-structures.
摘要翻译：本发明涉及用于控制产生带电粒子束的装置的装置。所述装置包括用于存储所述光束（14）的所需特性的控制装置（40），基于所述特性确定用于控制装置（2）的参数值，存储所述值并将所述存储的值提供给控制装置的参数。本发明特别适用于纳米结构的制造。

10. 发明申请

WO2002078036A2 DISPOSITIF DE GENERATION D'UN FAISCEAU D'IONS 审中-公开
标题翻译：用于产生离子束的装置
公开(公告)号：WO2002078036A2
公开(公告)日：2002-10-03
申请号：PCT/FR2002/001041
申请日：2002-03-26
申请人： CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE , GIERAK, Jacques , LAGADEC, Yvon , SEPTIER, Albert
发明人： GIERAK, Jacques , LAGADEC, Yvon , SEPTIER, Albert
IPC分类号： H01J27/22
CPC分类号： H01J27/26 , B82Y30/00 , H01J27/022 , H01J27/22 , H01J37/08 , H01J37/09 , H01J37/3007 , H01J37/3045 , H01J37/3056 , H01J2237/024 , H01J2237/0805 , H01J2237/1501 , H01J2237/1502 , H01J2237/30433 , H01J2237/3174
摘要： Dispositif de génération d'un faisceau d'ions. Ce dispositif comprend une source d'ions (2), un moyen (6) d'extraction des ions émis par la source, un moyen (8) d'accélération des ions ainsi extraits, un moyen (34) de sélection des ions ainsi accélérés et un système d'optique électrostatique (10) destiné à focaliser les ions ainsi sélectionnés selon un premier axe (Z1), et le dispositif comprend en outre un moyen (F) de variation de la distance (D) entre la source d'ions et le moyen d'extraction des ions, cette distance étant comptée suivant un deuxième axe (Z) qui est parallèle au premier axe et constitue l'axe du faisceau d'ions (14) émis par la source. L'invention s'applique notamment à la fabrication de nano-structures.
摘要翻译：
产生离子束的装置。该装置包括离子源（2），用于从源中提取离子的装置（6），用于加速如此提取的离子的装置（8），装置（34））的离子检测因此加速并且静电光学系统（10）预期用于＆Agrave; 沿着第一轴线（Z1）聚焦如此选择的离子，并且该装置还包括用于改变离子源与离子提取装置之间的距离（D）的装置（F）该距离沿着平行于第一轴并且构成由源提供的离子束（14）的轴的第二轴（Z）计数。本发明特别适用于纳米结构的制造。

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