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    • 10. 发明申请
    • VAKUUMPUMPE
    • 真空泵
    • WO2008031819A1
    • 2008-03-20
    • PCT/EP2007/059521
    • 2007-09-11
    • OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBHGIEBMANNS, Wolfgang
    • GIEBMANNS, Wolfgang
    • F04D17/02F04D17/16F04D19/04F04D29/40
    • F04D17/168F04D17/02F04D19/046F04D29/403
    • Die Erfindung bezieht sich auf eine schnelidrehende Vakuumpumpe zur Erzeugung eines Hochvakuums. Schnelldrehende Vakuumpumpen könnten zusammen mit schnelidrehenden Hochvakuumpumpen, beispielsweise Turbomolekularpumpen, zu einwelligen Vakuumpumpen zusammengesetzt werden, die von Hochvakuum- bzw. Ultrahochvakuum auf Atmosphärendruck verdichten können. Die erfindungsgemäße Vakuumpumpe (10) weist hierzu eine Saugstufe (12) und eine nachgelagerte Zentripetal-Verdichterstufe (21) mit radial verlaufenden Verdichterkammern (33) auf, deren Auslassquerschnitt kleiner als das 0,4-fache ihres Einlassquerschnittes ist. Da die Zentripetal-Verdichterstufe keine Verdrängermaschine ist, kann sie mit hohen Drehzahlen betrieben werden und Gase von Vorvakuumdrücken auf Atmosphärendruck mit hohen Drehzahlen verdichten. Hierdurch ist die Möglichkeit geschaffen, mit einer einzigen einwelligen schnelldrehenden Vakuumpumpe Hochvakuum bzw. Uitrahochvakuum zu erzeugen.
    • 本发明涉及一种schnelidrehende真空泵用于产生高真空。 快速移动的真空泵可以与schnelidrehenden高真空泵,如涡轮分子泵配合,组装成单螺杆真空泵能缩合到高真空或超高真空的大气压力。 为了这个目的,根据本发明(10)中的真空泵具有吸入叶轮(12)和具有径向延伸的压缩室(33),其出口部分是其入口的横截面小于0.4倍的下游心式压缩机级(21)。 由于心式压缩机阶段是没有位移,它可以以高的速度运转,并从压缩Vorvakuumdrücken气体以高速大气压。 从而,创建的可能性,以产生单个轴与单个快速旋转的真空泵或高真空Uitrahochvakuum。