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1. 发明专利

TWI700462B 輻射式燃燒器及處理一廢氣流之方法有权
简体标题：辐射式燃烧器及处理一废气流之方法
公开(公告)号：TWI700462B
公开(公告)日：2020-08-01
申请号：TW105110083
申请日：2016-03-30
申请人：英商愛德華有限公司 , EDWARDS LIMITED
发明人：希利安德魯詹姆斯 , SEELEY, ANDREW JAMES
IPC分类号： F23D14/12 , F23J15/08 , F23G7/06

2. 发明专利

TWI688845B 處理工具監控有权
简体标题：处理工具监控
公开(公告)号：TWI688845B
公开(公告)日：2020-03-21
申请号：TW105103816
申请日：2016-02-04
申请人：英商愛德華有限公司 , EDWARDS LIMITED
发明人：穆尼麥可 , MOONEY, MICHAEL , 喬吉文森 , GIORGI, VINCENT
IPC分类号： G05B23/02

3. 发明专利

TW202004024A 用於一真空泵之前級管線审中-公开
简体标题：用于一真空泵之前级管线
公开(公告)号：TW202004024A
公开(公告)日：2020-01-16
申请号：TW108118883
申请日：2019-05-31
申请人：英商愛德華有限公司 , EDWARDS LIMITED
发明人：康登尼爾 , CONDON, NEIL , 達姆斯格雷戈里馬丁 , DAMS, GREGORY MARTIN , 米爾納保羅 , MILNER, PAUL , 菲爾德斯馬修史蒂芬 , FIELDS, MATTHEW STEPHEN , 卡蘿拉斯康斯坦丁諾斯 , KAROULAS, KONSTANTINOS
IPC分类号： F04C25/02
摘要：本發明揭示一種用於一真空泵之前級管線，該前級管線具有：一入口，其可連接至(例如)待抽空之一器皿；及一出口，其經連接至用以抽空該器皿之該真空泵之一入口。由此，該前級管線進一步包括具有一第一端及一第二端之一排放管線，其中該第一端包括一開口，且該第二端包括一固體材料捕集器。該第二端係配置於該前級管線之外。該第一端係配置於該前級管線內、位於該入口與該出口之間，且該開口朝向該前級管線之該入口打開，以使得進入的固體材料係由該開口收集，透過該排放管線排放，且被捕捉於該固體材料捕集器中。
简体摘要：本发明揭示一种用于一真空泵之前级管线，该前级管线具有：一入口，其可连接至(例如)待抽空之一器皿；及一出口，其经连接至用以抽空该器皿之该真空泵之一入口。由此，该前级管线进一步包括具有一第一端及一第二端之一排放管线，其中该第一端包括一开口，且该第二端包括一固体材料捕集器。该第二端系配置于该前级管线之外。该第一端系配置于该前级管线内、位于该入口与该出口之间，且该开口朝向该前级管线之该入口打开，以使得进入的固体材料系由该开口收集，透过该排放管线排放，且被捕捉于该固体材料捕集器中。

4. 实用新型

TWM571420U 多段真空增壓幫浦連接器有权
简体标题：多段真空增压帮浦连接器
公开(公告)号：TWM571420U
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：TW107200994
申请日：2018-01-19
申请人：英商愛德華有限公司 , EDWARDS LIMITED
发明人：諾斯麥可亨利 , NORTH, MICHAEL HENRY , 薛費爾德耐吉爾保羅 , SCHOFIELD, NIGEL PAUL
IPC分类号： F04B37/14

5. 发明专利

TW201835449A 幫浦密封审中-公开
简体标题：帮浦密封
公开(公告)号：TW201835449A
公开(公告)日：2018-10-01
申请号：TW107102556
申请日：2018-01-24
申请人：英商愛德華有限公司 , EDWARDS LIMITED
发明人：霍布魯克艾倫恩尼斯特基奈德 , HOLBROOK, ALAN ERNEST KINNAIRD , 貝威爾大衛 , BEDWELL, DAVID
IPC分类号： F04C27/02
摘要：本發明揭示一種幫浦總成及一種方法。該幫浦包括：一第一外殼部件，其界定在該第一外殼部件內延伸並經塑形以容納一轉子之一孔之一第一部分；及一第二外殼部件，其界定在該第二外殼部件內延伸並經塑形以容納該轉子之該孔之一第二部分，該第一外殼部件具有可抵靠該第二外殼部件之一相對第二面之一第一面，以定位該孔之該第一部分與該孔之該第二部分以容納該轉子，該孔之該第一部分具有中心沿著該第一面設置之一第一圓形截面部分，且該孔之該第二部分具有中心設置於該第二外殼部件內與該第二面相距一距離處之一第二圓形截面部分。以此方式，可提供一減小尺寸的孔，該孔減少洩漏，同時亦在該轉子與該孔之間提供足夠運行間隙。
简体摘要：本发明揭示一种帮浦总成及一种方法。该帮浦包括：一第一外壳部件，其界定在该第一外壳部件内延伸并经塑形以容纳一转子之一孔之一第一部分；及一第二外壳部件，其界定在该第二外壳部件内延伸并经塑形以容纳该转子之该孔之一第二部分，该第一外壳部件具有可抵靠该第二外壳部件之一相对第二面之一第一面，以定位该孔之该第一部分与该孔之该第二部分以容纳该转子，该孔之该第一部分具有中心沿着该第一面设置之一第一圆形截面部分，且该孔之该第二部分具有中心设置于该第二外壳部件内与该第二面相距一距离处之一第二圆形截面部分。以此方式，可提供一减小尺寸的孔，该孔减少泄漏，同时亦在该转子与该孔之间提供足够运行间隙。

6. 发明专利

TW201827708A 真空泵之配置及製造總成审中-公开
简体标题：真空泵之配置及制造总成
公开(公告)号：TW201827708A
公开(公告)日：2018-08-01
申请号：TW106141669
申请日：2017-11-29
申请人：英商愛德華有限公司 , EDWARDS LIMITED
发明人：蓋利麥可安德魯 , GALTRY, MICHAEL ANDREW , 貝理克理斯多福馬克 , BAILEY, CHRISTOPHER MARK
IPC分类号： F04B39/10 , F04B37/14
摘要：在一半導體製造總成中使用之一真空泵配置(10; 70; 100)包括具有一第一入口(14)及一第一出口(16)之一第一泵(12)。第一入口(14)流體連接至一第一共同泵管道(18)。第一共同泵管道(18)包含複數個第一泵管道入口(20)，該複數個第一泵管道入口(20)之各者可流體連接至形成一半導體製造工具(28)之一處理腔室群組(26)內之至少一處理腔室(24)。真空泵配置(10; 70; 100)亦包含具有一備用入口(32)及一備用出口(34)之一備用泵(30)。備用入口(32)可選擇地流體連接至形成半導體製造工具(28)之處理腔室群組(26)內之各處理腔室(24)。真空泵配置(10; 70; 100)另外包含一控制器，其經構形以選擇性地將泵(12)與一或多個給定處理腔室(24)流體隔離且選擇性地將備用泵(30)與該一或多個給定處理腔室(24)流體連接。
简体摘要：在一半导体制造总成中使用之一真空泵配置(10; 70; 100)包括具有一第一入口(14)及一第一出口(16)之一第一泵(12)。第一入口(14)流体连接至一第一共同泵管道(18)。第一共同泵管道(18)包含复数个第一泵管道入口(20)，该复数个第一泵管道入口(20)之各者可流体连接至形成一半导体制造工具(28)之一处理腔室群组(26)内之至少一处理腔室(24)。真空泵配置(10; 70; 100)亦包含具有一备用入口(32)及一备用出口(34)之一备用泵(30)。备用入口(32)可选择地流体连接至形成半导体制造工具(28)之处理腔室群组(26)内之各处理腔室(24)。真空泵配置(10; 70; 100)另外包含一控制器，其经构形以选择性地将泵(12)与一或多个给定处理腔室(24)流体隔离且选择性地将备用泵(30)与该一或多个给定处理腔室(24)流体连接。

7. 发明专利

TWI624624B 頭總成、頭總成方法及入口總成有权
简体标题：头总成、头总成方法及入口总成
公开(公告)号：TWI624624B
公开(公告)日：2018-05-21
申请号：TW103122731
申请日：2014-07-01
申请人：愛德華有限公司 , EDWARDS LIMITED
发明人：希利安德魯詹姆斯 , SEELEY, ANDREW JAMES
IPC分类号： F23D14/12 , F23D14/46 , F23D14/62

8. 发明专利

TW201809549A 入口總成及方法审中-公开
简体标题：入口总成及方法
公开(公告)号：TW201809549A
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：TW106123740
申请日：2017-07-17
申请人：愛德華有限公司 , EDWARDS LIMITED
发明人：班薩瓦伊恩大衛 , BENZEVAL, IAN DAVID , 希利安德魯詹姆斯 , SEELEY, ANDREW JAMES , 歐尼爾馬克理查 , O'NEILL, MARK RICHARD
IPC分类号： F23G7/08 , F23L7/00 , F27D3/16
CPC分类号： F23G7/065 , B01F3/02 , B01F5/0405 , B01F5/048 , F23D14/62 , F23G2209/142
摘要：本發明揭示一種用於一減量裝置之入口總成及一種方法。用於一減量裝置之該入口總成包括：一入口部分，其經構形以接收待處理之一廢氣流；一喉部部分，其與該入口部分流體耦合；一出口部分，其與該喉部部分流體耦合；及一第一輔助氣體孔隙及一第二輔助氣體孔隙，其等各經定位為靠近該喉部部分且經構形以分別遞送一第一輔助氣流及一第二輔助氣流以用於與該廢氣流混合以產生一混合氣流，該出口部分經構形以將該混合氣流遞送至該減量裝置之一處理腔室。如此，該第一輔助氣流及該第二輔助氣流與該廢氣流之該混合在該喉部部分之附近發生，其在將該混合氣流遞送至該減量裝置之該處理腔室之前，改良該等輔助氣流與該廢氣流之預混合，此改良該減量裝置之破壞去除效率。
简体摘要：本发明揭示一种用于一减量设备之入口总成及一种方法。用于一减量设备之该入口总成包括：一入口部分，其经构形以接收待处理之一废气流；一喉部部分，其与该入口部分流体耦合；一出口部分，其与该喉部部分流体耦合；及一第一辅助气体孔隙及一第二辅助气体孔隙，其等各经定位为靠近该喉部部分且经构形以分别递送一第一辅助气流及一第二辅助气流以用于与该废气流混合以产生一混合气流，该出口部分经构形以将该混合气流递送至该减量设备之一处理腔室。如此，该第一辅助气流及该第二辅助气流与该废气流之该混合在该喉部部分之附近发生，其在将该混合气流递送至该减量设备之该处理腔室之前，改良该等辅助气流与该废气流之预混合，此改良该减量设备之破坏去除效率。

9. 发明专利

TW201701940A 電漿炬审中-公开
简体标题：等离子炬
公开(公告)号：TW201701940A
公开(公告)日：2017-01-16
申请号：TW105131939
申请日：2012-04-13
申请人：愛德華有限公司 , EDWARDS LIMITED
发明人：維洛寧瑟吉亞歷山卓維奇 , VORONIN, SERGEY ALEXANDROVICH , 克雷門斯克里斯多夫 , CLEMENTS, CHRISTOPHER , 瑪格瑞斯丹尼爾馬丁 , MCGRATH, DANIEL MARTIN , 葛瑞費瑟 , GRAY, FRASER , 希利安德魯詹姆斯 , SEELEY, ANDREW JAMES
IPC分类号： B01D53/32
CPC分类号： H05H1/34 , H05H2001/3426 , H05H2001/3468 , H05H2001/3484
摘要：本發明揭示一種經修改DC電漿炬，用以拉長有關DC電漿減量器件之服務週期，其具有：一導電陰極及一導電陽極，其等彼此相隔開以於其等之間形成一間隙；一金屬渦流套筒，其至少部分地位於該間隙內並包括經調適以在使用中允許一氣體流動通過該間隙之一通道；及一陶瓷元件，其介置於該陰極與該渦流套筒及該陽極與該渦流套筒之任意一者或多者之間。
简体摘要：本发明揭示一种经修改DC等离子炬，用以拉长有关DC等离子减量器件之服务周期，其具有：一导电阴极及一导电阳极，其等彼此相隔开以于其等之间形成一间隙；一金属涡流套筒，其至少部分地位于该间隙内并包括经调适以在使用中允许一气体流动通过该间隙之一信道；及一陶瓷组件，其介置于该阴极与该涡流套筒及该阳极与该涡流套筒之任意一者或多者之间。

10. 发明专利

TWI561292B 電漿炬有权
简体标题：等离子炬
公开(公告)号：TWI561292B
公开(公告)日：2016-12-11
申请号：TW101113315
申请日：2012-04-13
申请人：愛德華有限公司 , EDWARDS LIMITED
发明人：維洛寧瑟吉亞歷山卓維奇 , VORONIN, SERGEY ALEXANDROVICH , 克雷門斯克里斯多夫 , CLEMENTS, CHRISTOPHER , 瑪格瑞斯丹尼爾馬丁 , MCGRATH, DANIEL MARTIN , 葛瑞費瑟 , GRAY, FRASER , 希利安德魯詹姆斯 , SEELEY, ANDREW JAMES
IPC分类号： B01D53/32
CPC分类号： H05H1/34 , H05H2001/3426 , H05H2001/3468 , H05H2001/3484

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