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    • 5. 发明申请
    • UNIT OF OPTICAL MODULATOR, OPTICAL MODULATOR INCLUDING THE SAME, AND METHOD OF FABRICATING THE OPTICAL MODULATOR
    • 光学调制器单元,包括其的光学调制器,以及制造光学调制器的方法
    • US20130077150A1
    • 2013-03-28
    • US13531964
    • 2012-06-25
    • Sang-hun LEEChang-young PARKJo-ho LEE
    • Sang-hun LEEChang-young PARKJo-ho LEE
    • G02F1/03H01B13/00
    • G02F1/03B82Y20/00G02F1/017G02F2201/122Y10S359/90
    • An optical modulator unit, an optical modulator, and a method of fabricating are provided. The optical modulator unit includes a first contact layer transmitting infrared rays, a lower reflection layer disposed on the first contact layer, an active layer, including a multiple quantum well, disposed on the lower reflection layer, and an upper reflection layer disposed on the active layer. The optical modulator includes a plurality of optical modulator units sharing the first contact layer. The method includes sequentially stacking a first contact layer, a lower reflection layer, an active layer, an upper reflection layer, and a second contact layer on a substrate; etching the second contact layer, the upper reflection layer, the active layer, and the lower reflection layer, exposing a surface of the first contact layer; forming a first electrode on the first contact layer; and forming a second electrode on the second contact layer.
    • 提供光调制器单元,光调制器和制造方法。 光调制器单元包括设置在第一接触层上的第一接触层,发射红外线的下反射层,设置在第一接触层上的下反射层,设置在下反射层上的包括多量子阱的有源层,以及设置在有源层上的上反射层 层。 光调制器包括共享第一接触层的多个光调制器单元。 该方法包括在基板上依次堆叠第一接触层,下反射层,有源层,上反射层和第二接触层; 蚀刻第二接触层,上反射层,有源层和下反射层,暴露第一接触层的表面; 在所述第一接触层上形成第一电极; 以及在所述第二接触层上形成第二电极。