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1. 发明申请

WO02089227A3 GREEN BODY, PIEZOELECTRIC COMPONENT AND METHOD FOR THE PRODUCTION OF A PIEZOELECTRIC COMPONENT 审中-公开
标题翻译：坯体，压电元件及其制造方法的压电元件
公开(公告)号：WO02089227A3
公开(公告)日：2003-07-24
申请号：PCT/DE0201445
申请日：2002-04-18
申请人： EPCOS AG , SIEMENS AG , BOEDINGER HERMANN , LUBITZ KARL , CRAMER DIETER , SCHUH CARSTEN
发明人： BOEDINGER HERMANN , LUBITZ KARL , CRAMER DIETER , SCHUH CARSTEN
IPC分类号： H01L41/083 , H01L41/273 , H01L41/24
CPC分类号： H01L41/083 , H01L41/187 , H01L41/273
摘要： The invention relates to a green body, a piezoelectric component (10) and a method for the production of a piezoelectric component (10) in the form of a multilayer structure having at least one piezoelectric ceramic layer (11) and at least one electrode layer (12) connected to the piezoelectric ceramic layer (11). A green body is initially produced, wherein at least one electrode layer (12) is placed on at least one piezoelectric green ceramic layer. The resulting stack (16) for producing the piezoelectric component (10) is then subjected to at least one additional finishing step, for instance a sintering step. In order to produce piezoelectric components (10) with a long service life and high reliability, the at least one piezoelectric ceramic layer (11) is not configured as an individual layer but in the form of a first ceramic partial layer (13) and at least a second ceramic partial layer (14, 15). The ceramic partial layers (13, 14, 15) advantageously have a thickness which is smaller than the thickness of the piezoelectric ceramic layer (11) after carrying out the finishing step. In the production of the green body, a first green ceramic partial layer that can carry an electrode layer (12) is advantageously placed on at least one second green ceramic partial layer that does not carry an electrode layer.
摘要翻译：将描述一个生坯，压电装置（10）和用于与具有包含连接到所述电极层的至少一个压电陶瓷层（11）和所述压电陶瓷层中的至少一个（11）的多层结构制造压电部件（10）的方法（12），首先，将生坯体产生时，其中至少一个电极层（12）至少一个压电生坯陶瓷层施加到。随后，用于生产压电元件（10）的如此创建堆（16）是至少一个另外的生产步骤，如进行烧结步骤。为了使用（10）中产生具有高耐用性和可靠性的压电器件，本发明提供的是，至少一个压电陶瓷层（11）（未作为单层，但是在第一陶瓷部件层（13）和至少一个第二陶瓷局部层14，15的形式）形成。陶瓷子层（13，14，15）有利地具有的厚度小于进行的制造工序后的压电陶瓷层（11）的厚度。第一生陶瓷子层，其可以具有电极层（12）是，有利地，施加到至少一个第二生陶瓷部件承载在制造生坯的没有电极层的层。

2. 发明申请

WO2002089225A2 PASSIVIERUNGSMATERIAL FÜR EIN ELEKTRISCHES BAUTEIL SOWIE PIEZOELEKTRISCHES BAUTEIL IN VIELSCHICHTBAUWEISE 审中-公开
标题翻译：钝化的电气部件和压电元件在多层结构
公开(公告)号：WO2002089225A2
公开(公告)日：2002-11-07
申请号：PCT/DE2002/001444
申请日：2002-04-18
申请人： EPCOS AG , SIEMENS AG , CRAMER, Dieter , SCHUH, Carsten
发明人： CRAMER, Dieter , SCHUH, Carsten
IPC分类号： H01L41/04
CPC分类号： H01L41/0533 , H01L41/0472 , H01L41/083
摘要： Es wird unter anderem beschrieben ein piezoelektrisches Bauteil (10) in Vielschichtbauweise, bei dem alternierend immer eine piezoelektrische Keramikschicht (11) und eine Elektrodenschicht (12, 13) zur Bildung eines Stapels (18) übereinander angeordnet ist, wobei sich jede Elektrodenschicht (12, 13) zumindest bereichsweise bis zu wenigstens einer seitlichen Oberfläche (19) des Stapels (18) erstreckt. Zum Schutz des Bauteils (10) vor Kurzschlüssen und Überschlägen ist auf dieser wenigstens einen seitlichen Oberfläche (19) eine Passivierung (20) vorgesehen. Damit die Haftung der Passivierung (20) auf der Oberfläche (19) des Bauteils (10) zu jeder Zeit, insbesondere beim Auftreten von Rissen in den Keramikschichten (11), ungestört erhalten bleibt, ist die Passivierung (20) erfindungsgemäss aus einem Passivierungsmaterial gebildet, das eine Reissfestigkeit aufweist, die kleiner ist als die Haftfestigkeit des Passivierungsmaterials auf der Oberfläche (19) des Bauteils (10). Weiterhin werden vorteilhafte Passivierungsmaterialien beschrieben, bei denen es sich beispielsweise um ein Polyurethan, einen Fluor-Silikon-Kautschuk und dergleichen handeln kann.
摘要翻译：据描述，除其他外，多层设计，其中交替总是压电陶瓷层（11）和电极层（12，13）被布置以形成堆叠（18）一个接一个地，每个电极层上述（12的一个压电元件（10）， 13）至少局部达到堆栈（18）中的至少（一个侧表面19）。为了防止短路和电弧的部件（10）设置在所述至少一个侧表面（19），钝化（20）。因此，在任何时间的部件（10）的表面（19）上的钝化（20）的在所述陶瓷层的裂纹的产生（11）的密合性，特别是保持不受干扰，钝化（20）根据钝化的本发明形成具有拉伸强度小于所述钝化材料的部件（10）的表面（19）上的粘合强度。另外的有利的钝化材料描述了其中它可能是，例如，聚氨酯，氟硅橡胶等。

3. 发明申请

WO03005490A3 ADDITIONAL CONTACT FOR AN ELECTRIC COMPONENT AND PIEZOELECTRIC COMPONENT IN THE FORM OF A MULTILAYER STRUCTURE 审中-公开
标题翻译：用于多层构造的压电元件附加接触
公开(公告)号：WO03005490A3
公开(公告)日：2003-09-25
申请号：PCT/EP0204723
申请日：2002-04-29
申请人： SIEMENS AG , EPCOS AG , CRAMER DIETER , HAHN IRIS , SCHUH CARSTEN , STEINKOPFF THORSTEN , WOLFF ANDREAS
发明人： CRAMER DIETER , HAHN IRIS , SCHUH CARSTEN , STEINKOPFF THORSTEN , WOLFF ANDREAS
IPC分类号： H01L41/047 , H01L41/083 , H01L41/187 , H02N2/04 , H01R4/00
CPC分类号： H01L41/083 , H01L41/0475
摘要： The invention relates, inter alia, to an additional contact (30) for a piezoelectric component (10) in the form of a multilayer structure and to a corresponding component, wherein the piezoelectric component (10) is formed by a stack (17) of alternating piezoelectric ceramic layers and electrode layers. The additional contact (30) has a contact element (31) with a contact zone (33) for connection to an electrical connecting element (20) and with a fastening zone (34) for connection to a metallized part (15, 16). In order to minimize harmful tensile/pressure loads in the additional contact (30), the additional contact (30), especially the contact element (31), is shaped so as to allow for a load distribution of the critical tensile loads, for example by means of at least one bend (32) in the contact element (31).
摘要翻译：据描述，尤其对于具有多层结构的压电元件（10）的附加接触（30），以及这样的构件（10），其特征在于，形成为从交替排列压电陶瓷层和电极层的堆叠（17）的压电装置（10）。所述附加接触（30）具有一个接触区域（33），用于连接到电气端子构件（20）和用于与金属化（15，16）连接的连接区（34）的接触元件（31）。为了最小化在所述附加接触（30），所述附加的接触（30），特别是所述接触元件（31）具有一个形状有害拉伸/压缩应力，通过该装置可实现的临界拉伸载荷的应力松弛。这可以，例如，通过在所述接触元件（31）的至少一个弯曲部（32）。

4. 发明申请

WO2002073656A2 PIEZOAKTOR MIT ISOLATIONSZONENFREIER ELEKTRISCHER KONTAKTIERUNG UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：具有隔离区可用电接触和方法压电致动器ITS
公开(公告)号：WO2002073656A2
公开(公告)日：2002-09-19
申请号：PCT/DE2001/000947
申请日：2001-03-13
申请人： EPCOS AG , CRAMER, Dieter , KAINZ, Gerald , SCHUH, Carsten
发明人： CRAMER, Dieter , KAINZ, Gerald , SCHUH, Carsten
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L41/0472 , H01L41/293
摘要： Die Elektrodenschichten (3, 5) des Vielschichtaktors erstrekken sich isolationszonenfrei über den gesamten Stapelquerschnitt bis zu den seitlichen Oberflächen des Stapels (1), wo für jede Elektrodenschicht (3, 5) separat eine horizontale, an der jeweiligen Elektrodenschicht (3, 5) mindestens über einen Teil des Stapelumfanges entlanglaufende Metalllisierung (2) aufebracht ist. Eine Weiterkontaktierung der Metallisierungen (2) insbesondere mit horizontale, parallelen Kontaktierungsdrähten ist möglich.
摘要翻译：电极层（3,5）的多层致动器的延伸到隔离区自由在整个堆的横截面到堆（1），其中，对于每个电极层（3,5）分开的水平，在相应的电极层（3,5）的至少一侧表面被aufebracht在沿运行Metalllisierung堆周边的部分（2）。金属化（2），尤其是接触水平，平行键合线的一个额外的点是可能的。

5. 发明申请

WO02073656A3 PIEZOACTUATOR COMPRISING ELECTRIC CONTACTING WITHOUT ISOLATION ZONES AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF 审中-公开
标题翻译：具有隔离区可用电接触和方法压电致动器ITS
公开(公告)号：WO02073656A3
公开(公告)日：2003-10-02
申请号：PCT/DE0100947
申请日：2001-03-13
申请人： EPCOS AG , CRAMER DIETER , KAINZ GERALD , SCHUH CARSTEN
发明人： CRAMER DIETER , KAINZ GERALD , SCHUH CARSTEN
IPC分类号： H01L41/047 , H01L41/083 , H02N2/04 , H01L41/24
CPC分类号： H01L41/0472 , H01L41/293
摘要： The electrode layers (3, 5) of the multilayer actuator extend without isolation zones over the entire cross-section of the stack, up to the lateral surfaces of said stack (1), where for each separate electrode layer (3, 5) a horizontal metallised section (2), which runs along at least part of the stack periphery, is applied to the respective electrode layer (3, 5). The metallised sections (2) can be additionally contacted, in particular by means of horizontal, parallel contact wires.
摘要翻译：电极层（3,5）的多层致动器的延伸到隔离区自由在整个堆的横截面到堆（1），其中，对于每个电极层（3,5）分开的水平，在相应的电极层（3,5）的至少一侧表面被aufebracht在沿运行Metalllisierung堆周边的部分（2）。金属化（2），尤其是接触水平，平行键合线的一个额外的点是可能的。

6. 发明申请

WO02089225A3 PASSIVATION MATERIAL FOR AN ELECTRIC COMPONENT AND PIEZOELECTRIC COMPONENT IN THE FORM OF A MULTILAYER STRUCTURE 审中-公开
标题翻译：钝化的电气部件和压电元件在多层结构
公开(公告)号：WO02089225A3
公开(公告)日：2003-06-12
申请号：PCT/DE0201444
申请日：2002-04-18
申请人： EPCOS AG , SIEMENS AG , CRAMER DIETER , SCHUH CARSTEN
发明人： CRAMER DIETER , SCHUH CARSTEN
IPC分类号： H01L41/04 , H01L41/083 , H02N2/04
CPC分类号： H01L41/0533 , H01L41/0472 , H01L41/083
摘要： The invention relates, inter alia, to a piezoelectric component (10) in the form of a multilayer structure, wherein a piezoelectric ceramic layer (11) and an electrode layer (12, 13) are always alternatingly superimposed to form a stack (18), wherein each electrode layer (12, 13) extends at least in certain areas to at least one side surface (19) of the stack (18). In order to protect the component (10) against short circuits and flashovers, a passivation (20) is provided on the at least one side surface (19). In order to ensure that bonding of said passivation (20) on the surface (19) of the component (10) always remains unaltered, especially when cracks emerge in the ceramic layers (11), the passivation (20) is formed by a passivation material having a tearing strength that is smaller than the bonding strength of the passivation material on the surface (19) of the component (10). The invention also relates to advantageous passivation materials, wherein said materials can be, for instance, a polyurethane, a fluorine-silicone rubber and the like.
摘要翻译：据描述，除其他外，多层设计，其中交替总是压电陶瓷层（11）和电极层（12，13）被布置以形成堆叠（18）一个接一个地，每个电极层上述（12的一个压电元件（10）， 13）至少局部达到堆栈（18）中的至少（一个侧表面19）。为了防止短路和电弧的部件（10）设置在所述至少一个侧表面（19），钝化（20）。因此，在任何时间的部件（10）的表面（19）上的钝化（20）的在所述陶瓷层的裂纹的产生（11）的密合性，特别是保持不受干扰，钝化（20）根据钝化的本发明形成具有拉伸强度小于所述钝化材料的部件（10）的表面（19）上的粘合强度。另外的有利的钝化材料描述了其中它可能是，例如，聚氨酯，氟硅橡胶等。

7. 发明申请

WO2003005490A2 WEITERKONTAKTIERUNG FÜR EIN ELEKTRISCHES BAUTEIL SOWIE PIEZOELEKTRISCHES BAUTEIL IN VIELSCHICHTBAUWEISE 审中-公开
标题翻译： FOR电气元件和压电元件在多层结构附加接触
公开(公告)号：WO2003005490A2
公开(公告)日：2003-01-16
申请号：PCT/EP2002/004723
申请日：2002-04-29
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , EPCOS AG , CRAMER, Dieter , HAHN, Iris , SCHUH, Carsten , STEINKOPFF, Thorsten , WOLFF, Andreas
发明人： CRAMER, Dieter , HAHN, Iris , SCHUH, Carsten , STEINKOPFF, Thorsten , WOLFF, Andreas
IPC分类号： H01R4/00
CPC分类号： H01L41/083 , H01L41/0475
摘要： Es wird unter anderem beschrieben eine Weiterkontaktierung (30) für ein piezoelektrisches Bauteil (10) in Vielschichtbauweise sowie ein solches Bauteil (10), wobei das piezoelektrische Bauteil (10) aus einem Stapel (17) alternierend angeordneter piezoelektrischer Keramikschichten und Elektrodenschichten ausgebildet ist. Die Weiterkontaktierung (30) weist ein Kontaktelement (31) mit einem Kontaktierbereich (33) zur Verbindung mit einem elektrischen Anschlußelement (20) sowie einem Befestigungsbereich (34) zur Verbindung mit einer Metallisierung (15, 16) auf. Um schädliche Zug-/Druckbelastungen in der Weiterkontaktierung (30) minimieren zu können, weist die Weiterkontaktierung (30), insbesondere das Kontaktelement (31), eine Form auf, mittels derer eine Spannungsumlagerung der kritischen Zugbelastungen erfolgen kann. Dies kann beispielsweise über wenigstens eine Umbiegung (32) im Kontaktelement (31) erfolgen.
摘要翻译：据描述，尤其对于具有多层结构的压电元件（10）的附加接触（30），以及这样的构件（10），其特征在于，形成为从交替排列压电陶瓷层和电极层的堆叠（17）的压电装置（10）。所述附加接触（30）具有一个接触区域（33），用于连接到电连接元件（20）和附接区域（34），用于与金属化（15,16）连接的接触元件（31）。为了最小化在所述附加接触（30），所述附加的接触（30），特别是所述接触元件（31）具有一个形状有害拉伸/压缩应力，通过该装置可实现的临界拉伸载荷的应力松弛。这可以，例如，通过在所述接触元件（31）的至少一个弯曲部（32）。

8. 发明申请

WO1997040537A1 MONOLITHIC MULTILAYER PIEZOELECTRIC ACTUATOR AND ITS PROCESS OF PRODUCTION 审中-公开
标题翻译：整体式叠层式压电致动器及其制造方法
公开(公告)号：WO1997040537A1
公开(公告)日：1997-10-30
申请号：PCT/DE1997000463
申请日：1997-03-10
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , CRAMER, Dieter , HELLEBRAND, Hans , LUBITZ, Karl
发明人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
IPC分类号： H01L41/24
CPC分类号： H01L41/1876 , B32B18/00 , C01G23/003 , C01G25/006 , C04B35/491 , C04B35/493 , C04B35/499 , C04B35/6262 , C04B2235/3224 , C04B2235/3227 , C04B2235/3251 , C04B2235/3279 , C04B2235/3291 , C04B2235/6025 , C04B2235/786 , C04B2237/348 , C04B2237/66 , C04B2237/704 , H01L41/083 , H01L41/273 , Y10S310/80 , Y10T29/42
摘要： A monolithic piezoelectric actuator is made of stoichiometric PZT ceramics (2) with low A-site doping and silver- and palladium-containing electrode layers (1). The piezoelectric actuator has improved mechanical resistance and good piezoelectric properties. The disclosed production process leads to optimum grain sizes and optimum piezoelectric properties, independently from B-site doping, and makes it possible to produce multilayer piezoelectric actuators which can be used at high temperatures of up to 150 DEG C.
摘要翻译：它提出了一种化学计量的PZT（2）具有低的A位掺杂，银和含钯的电极层（1），其示出了具有良好的压电性能的改进的机械强度的单片压电致动器。的制备方法主要的独立的B位掺杂的陶瓷以最佳的晶粒尺寸和最佳的压电特性。它可以以高的应用温度高达150℃的多层压电致动器来获得。

9. 发明申请

WO1997040536A1 MONOLITHIC MULTILAYER PIEZO ACTUATOR AND PROCESS FOR ITS PRODUCTION 审中-公开
标题翻译：整体式叠层式压电致动器及其制造方法
公开(公告)号：WO1997040536A1
公开(公告)日：1997-10-30
申请号：PCT/DE1997000687
申请日：1997-04-03
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , CRAMER, Dieter , HELLEBRAND, Hans , LUBITZ, Karl
发明人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
IPC分类号： H01L41/083
CPC分类号： H01L41/083 , H01L41/273 , Y10T29/42 , Y10T29/49163
摘要： This invention concerns a monolithic piezo actuator with multilayer construction with a high aspect ratio of more than two. The actuator is built of several smaller stacks in a multilayer construction. By sintering them together, a monolithic piezo actuator is obtained which has improved mechanical strength with good piezoelectric properties.
摘要翻译：多层设计的具有高纵横比大于二的单片压电致动器，提出了从多个多层设计的更小的堆叠构造的致动器。由于共同烧结单片压电致动器被获得，其示出了具有良好的压电性能的改进的机械强度。

10. 发明申请

WO2002089227A2 GRÜNKÖRPER, PIEZOELEKTRISCHES BAUTEIL SOWIE VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES PIEZOELEKTRISCHEN BAUTEILS 审中-公开
标题翻译：坯体，压电元件及其制造方法的压电元件
公开(公告)号：WO2002089227A2
公开(公告)日：2002-11-07
申请号：PCT/DE2002/001445
申请日：2002-04-18
申请人： EPCOS AG , SIEMENS AG , BOEDINGER, Hermann , LUBITZ, Karl , CRAMER, Dieter , SCHUH, Carsten
发明人： BOEDINGER, Hermann , LUBITZ, Karl , CRAMER, Dieter , SCHUH, Carsten
IPC分类号： H01L41/083
CPC分类号： H01L41/083 , H01L41/187 , H01L41/273
摘要： Es wird beschrieben ein Grünkörper, ein piezoelektrisches Bauteil (10) sowie ein Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Bauteils (10) in Vielschichtbauweise, welches wenigstens eine piezoelektrische Keramikschicht (11) und wenigstens eine mit der piezoelektrischen Keramikschicht (11) verbundene Elektrodenschicht (12) aufweist. Zunächst wird ein Grünkörper hergestellt, wobei wenigstens eine Elektrodenschicht (12) auf wenigstens eine piezoelektrische Grün-Keramikschicht aufgebracht wird. Anschließend wird der auf diese Weise entstehende Stapel (16) zur Herstellung des piezoelektrischen Bauteils (10) wenigstens einem weiteren Fertigungsschritt, beispielsweise einem Sinterschritt, unterzogen. Um piezoelektrische Bauteile (10) mit hoher Lebensdauer und Zuverlässigkeit herstellen zu können, ist erfindungsgemäß vorgesehen, daß die wenigstens eine piezoelektrische Keramikschicht (11) nicht als Einzelschicht, sondern in Form einer ersten Keramikteilschicht (13) und wenigstens einer zweiten Keramikteilschicht (14, 15) ausgebildet ist. Die Keramikteilschichten (13, 14, 15) haben vorteilhaft eine Dicke, die geringer ist als die Dicke der piezoelektrischen Keramikschicht (11) nach Durchführung des Fertigungsschritts. Eine erste Grün-Keramikteilschicht, die die Elektrodenschicht (12) tragen kann, wird bei der Herstellung des Grünkörpers vorteilhaft auf wenigstens eine zweite Grün-Keramikteilschicht, die keine Elektrodenschicht trägt, aufgebracht.
摘要翻译：将描述一个生坯，压电装置（10）和用于与具有包含连接到所述电极层的至少一个压电陶瓷层（11）和所述压电陶瓷层中的至少一个（11）的多层结构制造压电部件（10）的方法（12），首先，将生坯体产生时，其中至少一个电极层（12）至少一个压电生坯陶瓷层施加到。随后，用于生产压电元件（10）的如此创建堆（16）是至少一个另外的生产步骤，如进行烧结步骤。为了使用（10）中产生具有高耐用性和可靠性的压电器件，本发明提供的是，至少一个压电陶瓷层（11）（未作为单层，但是在第一陶瓷部件层（13）和至少一个第二陶瓷局部层14，15的形式）形成。陶瓷子层（13，14，15）有利地具有的厚度小于进行的制造工序后的压电陶瓷层（11）的厚度。第一生陶瓷子层，其可以具有电极层（12）是，有利地，施加到至少一个第二生陶瓷部件承载在制造生坯的没有电极层的层。

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