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    • 3. 发明申请
    • PROCEDE DE CROISSANCE CONTROLEE DE FILM DE GRAPHENE
    • 石墨膜的控制生长方法
    • WO2010043716A2
    • 2010-04-22
    • PCT/EP2009/063617
    • 2009-10-16
    • ECOLE POLYTECHNIQUECENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUEBARATON, LaurentCOJOCARU, Costel-SorinPRIBAT, Didier
    • BARATON, LaurentCOJOCARU, Costel-SorinPRIBAT, Didier
    • C23C16/02C23C16/26C23C16/56C30B25/02C30B29/00C30B25/18C30B29/02C30B1/10C01B31/02
    • C23C16/26C23C16/0281C23C16/56C30B25/02C30B29/02
    • L'invention concerne un procédé de croissance contrôlée de film de graphène caractérisé en ce qu'il comporte les étapes suivantes : - la réalisation à la surface d'un substrat (S 1 ) d'une couche d'un métal présentant un diagramme de phase avec le carbone tel qu'au-delà d'un ratio seuil de concentration molaire C M /C M +C C , avec C M la concentration molaire de métal dans un mélange métal/carbone et C C la concentration molaire du carbone dans ledit mélange, on obtient une solution solide homogène; - l'exposition de la couche de métal à un flux contrôlé d'atomes de carbone ou de radicaux carbonés ou d'ions carbonés à une température telle que le ratio obtenu de concentration molaire est supérieur au ratio seuil de façon à obtenir une solution solide du carbone dans le métal; - une opération permettant de modifier la phase du mélange en deux phases respectivement de métal et de graphite conduisant à la formation d'au moins un film inférieur (31) de graphène situé à l'interface : couche métal incorporant des atomes de carbone / substrat et d'un film supérieur de graphène (30) à la surface de la couche de métal.
    • 本发明涉及一种用于石墨烯薄膜受控生长的方法,其特征在于所述方法包括以下步骤:在基底(S1)的表面形成具有碳的相图的金属层,使得 ,超过摩尔浓度CM / CM + CC的阈值比,CM是金属/碳混合物中金属的摩尔浓度,CC是所述混合物中碳的摩尔浓度,可以获得固体均匀组合物; 在使得所得摩尔浓度比高于阈值比的温度下将金属层暴露于受控的碳原子或碳根或碳离子流中,以获得金属中的碳的固溶体; 将混合物的相变为金属和石墨的两相的操作,从而导致在包含碳原子和基底的金属层的界面处形成至少一个下部石墨烯膜(31),并形成 在金属层的表面上的上部石墨烯膜(30)。
    • 5. 发明申请
    • METHOD FOR THE CONTROLLED GROWTH OF A GRAPHENE FILM
    • 石墨烯膜控制生长的方法
    • WO2010043716A3
    • 2010-06-24
    • PCT/EP2009063617
    • 2009-10-16
    • ECOLE POLYTECHCENTRE NAT RECH SCIENTBARATON LAURENTCOJOCARU COSTEL-SORINPRIBAT DIDIER
    • BARATON LAURENTCOJOCARU COSTEL-SORINPRIBAT DIDIER
    • C23C16/02C23C16/26C23C16/56C30B25/02C30B25/18C30B29/00C30B29/02
    • C23C16/26C23C16/0281C23C16/56C30B25/02C30B29/02
    • The invention relates to a method for the controlled growth of a graphene film, characterised in that said method comprises the following steps: forming, at the surface of a substrate (S1), a layer of a metal having a phase diagram with carbon such that, beyond a threshold ratio of molar concentration CM/CM+CC, with CM being the molar concentration of the metal in the metal/carbon mixture and CC being the molar concentration of carbon in said mixture, a solid homogenous composition can be obtained; exposing the metal layer to a controlled flow of carbon atoms or carbon radicals or carbon ions at a temperature such that the resultant molar concentration ratio is higher than the threshold ratio in order to obtain a solid solution of the carbon in the metal; an operation for modifying the phase of the mixture into two phases of metal and graphite, thus leading to the formation of at least one lower graphene film (31) at the interface of the metal layer including carbon atoms and the substrate, and the formation of an upper graphene film (30) at the surface of the metal layer.
    • 本发明涉及一种用于石墨烯膜的受控生长的方法,其特征在于所述方法包括以下步骤:在基底(S1)的表面上形成具有碳的相图的金属层,使得 ,超过CM / CM + CC摩尔浓度的阈值比率,其中CM是金属/碳混合物中金属的摩尔浓度,CC是所述混合物中碳的摩尔浓度,可以获得固体均质组合物; 在一定温度下使金属层暴露于受控的碳原子或碳自由基或碳离子流中,使得所得摩尔浓度比高于阈值比以获得碳在金属中的固溶体; 用于将混合物的相改变成金属和石墨两相的操作,由此导致在包括碳原子和基板的金属层的界面处形成至少一个下石墨烯膜(31),并且形成 在金属层的表面处的上石墨烯膜(30)。
    • 6. 发明申请
    • PROCEDE DE FABRICATION D'UNE STRUCTURE DE TRANSISTOR VERTICAL A BASE DE NANOFILS
    • 制造基于纳米线的垂直晶体管结构的方法
    • WO2007090814A1
    • 2007-08-16
    • PCT/EP2007/051076
    • 2007-02-05
    • ECOLE POLYTECHNIQUEPRIBAT, DidierCOJOCARU, Costel-Sorin
    • PRIBAT, DidierCOJOCARU, Costel-Sorin
    • H01L29/786H01L51/05H01L29/06
    • H01L51/0512B82Y10/00H01L29/0665H01L29/0673H01L29/0676H01L29/7827H01L29/78642H01L51/0048
    • L'invention concerne un procédé de fabrication d'une structure de transistor vertical comportant sur un substrat (10), une première couche conductrice assurant la fonction d' électrode de source ou de drain (11 ), une couche conductrice supérieure assurant la fonction d'électrode de drain ou de source (17), caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes : la réalisation d'une membrane consistant en un empilement de couches poreuses comportant au moins une première couche isolante (20), une seconde couche conductrice (12) assurant la fonction d'électrode de grille et une couche isolante supérieure (13'), à la surface du substrat recouvert de la première couche conductrice (11 ) assurant la fonction d'électrode de drain ou de source, lesdites couches poreuses présentant des pores sensiblement empilés ; la réalisation de filaments en matériau semi-conducteur à l'intérieur d'au moins une partie des pores empilés des couches poreuses ; la réalisation de la couche conductrice supérieure assurant la fonction d'électrode de source ou de drain à la surface de l'empilement de couches poreuses remplies de filaments en matériau semi-conducteur.
    • 本发明涉及一种用于制造垂直晶体管结构的方法,其包括在基板(10)上,用于提供源极或漏极功能的第一导电层(11)和用于提供漏极或源极的上导电层(17) 电极功能,其特征在于包括以下步骤:制造由多层多层构成的膜,至少包括绝缘的第一层(20),用于提供栅电极功能的导电的第二层(12),以及 绝缘上层(13')在被导电第一层(11)覆盖的衬底的表面上,用于提供漏极或源电极功能,所述多孔层具有基本上堆积的孔; 在多孔层的至少一些堆叠孔中制造由半导体材料制成的长丝; 并且在填充有由半导体材料制成的细丝的多孔层的堆叠的表面上制备提供源极或漏极功能的导电上层。