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1. 发明申请

WO2006054006A3 VARIABLE CAPACITANCE WITH DIELECTRIC FLUID 审中-公开
标题翻译：可变电容与电介质流体
公开(公告)号：WO2006054006A3
公开(公告)日：2006-10-19
申请号：PCT/FR2005050798
申请日：2005-09-30
申请人： COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE , CASSET FABRICE
发明人： CASSET FABRICE
IPC分类号： H01G5/013 , G01L9/12
CPC分类号： H01G5/0132 , Y10T29/43
摘要： The invention concerns variable capacitance (1) based on a novel principle: a dielectric fluid (20) is placed in the air gap formed by two capacitor electrodes (12, 14), the fluid being mobile towards and out of the cavity (10) formed between said two electrodes (12, 14). Advantageously, the dielectric fluid (20) is moved in accordance with the principle of communicating vessels, a second cavity (30) being in fluid communication with the first cavity. Actuating electrodes (46, 48) in the second cavity (30) cause a membrane (44) to be deflected so as to modify the relative levels of liquid in both cavities (10, 30).
摘要翻译：本发明基于新颖的原理涉及可变电容（1）：将电介质流体（20）放置在由两个电容器电极（12,14）形成的气隙中，该流体可朝向和离开空腔（10）移动，形成在所述两个电极（12,14）之间。有利地，电介质流体（20）根据连通容器的原理移动，第二空腔（30）与第一空腔流体连通。第二空腔（30）中的致动电极（46,48）使得膜（44）被偏转，以便改变两个空腔（10,30）中的液体的相对水平。

2. 发明申请

WO2006054006A2 CAPACITE VARIABLE A FLUIDE DIELECTRIQUE 审中-公开
标题翻译：介质流体的可变容量
公开(公告)号：WO2006054006A2
公开(公告)日：2006-05-26
申请号：PCT/FR2005/050798
申请日：2005-09-30
申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE , CASSET, Fabrice
发明人： CASSET, Fabrice
IPC分类号： H01G5/013 , G01L9/12
CPC分类号： H01G5/0132 , Y10T29/43
摘要： La capacité variable (1) selon l'invention est basée sur un nouveau principe : un fluide diélectrique (20) est placé dans l'entrefer constitué par deux électrodes de condensateur (12, 14) , le fluide pouvant être déplacé en direction et hors de la cavité (10) formée entre ces deux électrodes (12, 14) . Avantageusement, le fluide diélectrique (20) est déplacé selon le principe des vases communicants, avec la présence d'une deuxième cavité (30) en relation fluidique avec la première cavité. Des électrodes d' actionnement (46, 48) dans la deuxième cavité (30) provoquent la déflexion d'une membrane (44) afin de modifier les hauteurs relatives de liquide fluidique dans les deux cavités (10, 30).
摘要翻译：
能力＆oacute; 根据本发明的变量（1）基于新的原理：放置介电流体（20）在空隙中构成的; 通过两个电容器电极（12,14），流体可以被移位。进出洞室内; （10）形成在这两个电极（12,14）之间。有利地，介电流体（20）被移位。根据沟通船只的原则，在第二个洞穴的存在; （30）与第一腔室流体连通。第二腔中的激活电极（46,48）（30）引起膜（44）的偏转以改变两个腔（10,30）中的流体流体的相对高度。

3. 发明申请

WO2009047266A1 COMPOSANT ELECTROMECANIQUE VIBRANT A L'ECHELLE NANOMETRIQUE OU MICROMETRIQUE A NIVEAU DE DETECTION AUGMENTE 审中-公开
标题翻译：在具有增强检测水平的纳米或微尺度的电化学组分振荡
公开(公告)号：WO2009047266A1
公开(公告)日：2009-04-16
申请号：PCT/EP2008/063468
申请日：2008-10-08
申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE , STMICROELECTRONICS SA , CASSET, Fabrice , DURAND, Cédric
发明人： CASSET, Fabrice , DURAND, Cédric
IPC分类号： H03H9/02 , H03H3/007
CPC分类号： H03H9/02259 , H03H3/0072 , H03H9/2436 , H03H9/2463 , H03H2009/02496 , H03H2009/02503
摘要： Il s'agit d'un composant électromécanique vibrant à l'échelle nanométrique ou micrométrique comportant un élément mécanique vibrant (1) qui coopère avec au moins une électrode dite de détection (2). L'électrode de détection (2) est souple et est destinée à vibrer en opposition de phase par rapport à l'élément mécanique vibrant (1). Application aux résonateurs ou aux capteurs de mouvement.
摘要翻译：本发明涉及一种在纳米级或微尺度上振动的机电部件，其包括与至少一个所谓的检测电极（2）相互作用的振动机械部件（1）。检测电极（2）是柔性的并且可以相对于振动机械构件（1）相对振动。本发明可用于谐振器和运动检测器。

4. 发明申请

WO2006079765A1 MICRORESONATEUR 审中-公开
标题翻译：微谐振器
公开(公告)号：WO2006079765A1
公开(公告)日：2006-08-03
申请号：PCT/FR2006/050078
申请日：2006-01-31
申请人： STMICROELECTRONICS CROLLES 2 SAS , STMICROELECTRONICS SA , COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE , ABELE, Nicolas , ANCEY, Pascal , TALBOT, Alexandre , SEGUENI, Karim , BOUCHE, Guillaume , SKOTNICKI, Thomas , MONFRAY, Stéphane , CASSET, Fabrice
发明人： ABELE, Nicolas , ANCEY, Pascal , TALBOT, Alexandre , SEGUENI, Karim , BOUCHE, Guillaume , SKOTNICKI, Thomas , MONFRAY, Stéphane , CASSET, Fabrice
IPC分类号： B81B3/00 , H03H3/007
CPC分类号： H03H9/2405 , H03H3/0072 , H03H2009/02496
摘要： L'invention concerne un microrésonateur comprenant un élément résonant (160) en silicium monocristallin et au moins une électrode d'activation (120, 121) placée à proximité de l'élément résonant, dans lequel l'élément résonant est placé dans une ouverture d'une couche semiconductrice (110) recouvrant un substrat (100), l'électrode d'activation étant formée dans la couche semiconductrice et affleurant au niveau de l'ouverture.
摘要翻译：本发明涉及一种微谐振器，其包括由单晶硅制成的谐振元件（160）和位于靠近谐振元件的至少一个激活电极（120,121），由此将谐振元件放置在覆盖衬底（110）的半导体层（110），所述激活电极以所述开口形成在半导体层级中。

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