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1. 发明申请

WO2010037476A3 MICROLITHOGRAPHIC PROJECTION EXPOSURE APPARATUS 审中-公开
标题翻译：微波投影曝光装置
公开(公告)号：WO2010037476A3
公开(公告)日：2010-06-10
申请号：PCT/EP2009006718
申请日：2009-09-17
申请人： ZEISS CARL SMT AG , BLEIDISTEL SASCHA , KWAN YIM-BUN-PATRICK , BACH FLORIAN , BENZ DANIEL , WALDIS SEVERIN , WERBER ARMIN
发明人： BLEIDISTEL SASCHA , KWAN YIM-BUN-PATRICK , BACH FLORIAN , BENZ DANIEL , WALDIS SEVERIN , WERBER ARMIN
IPC分类号： G03F7/20 , G02B26/08
CPC分类号： G03F7/702 , G02B7/1827 , G02B17/002 , G02B26/0833 , G03F7/70116 , G03F7/70291 , G03F7/70891
摘要： A microlithographic projection exposure apparatus has a mirror array having a base body and a plurality of mirror units, each of which comprises a mirror and a solid-state articulation, which has at least one articulation part that connects the mirror to the base body. A control device makes it possible to modify the alignment of the respective mirror relative to the base body. Mutually opposing surfaces of the mirror and of the base body, or of a mirror support body connected to it, are designed as corresponding glide surfaces of a sliding bearing.
摘要翻译：微光刻投影曝光装置具有具有基体和多个反射镜单元的反射镜阵列，每个反射镜单元包括反射镜和固态关节，其具有将反射镜连接到基体的至少一个关节部分。控制装置可以改变相应镜子相对于基体的对准。反射镜和基体相互相对的表面或连接到其的反射镜支撑体相互相对的表面被设计成滑动轴承的相应的滑动表面。

2. 发明申请

WO2010037476A2 MICROLITHOGRAPHIC PROJECTION EXPOSURE APPARATUS 审中-公开
标题翻译：微型投影曝光装置
公开(公告)号：WO2010037476A2
公开(公告)日：2010-04-08
申请号：PCT/EP2009/006718
申请日：2009-09-17
申请人： CARL ZEISS SMT AG , BLEIDISTEL, Sascha , KWAN, Yim-Bun-Patrick , BACH, Florian , BENZ, Daniel , WALDIS, Severin , WERBER, Armin
发明人： BLEIDISTEL, Sascha , KWAN, Yim-Bun-Patrick , BACH, Florian , BENZ, Daniel , WALDIS, Severin , WERBER, Armin
IPC分类号： G03F7/20 , G02B26/08
CPC分类号： G03F7/702 , G02B7/1827 , G02B17/002 , G02B26/0833 , G03F7/70116 , G03F7/70291 , G03F7/70891
摘要： A microlithographic projection exposure apparatus has a mirror array having a base body and a plurality of mirror units, each of which comprises a mirror and a solid-state articulation, which has at least one articulation part that connects the mirror to the base body. A control device makes it possible to modify the alignment of the respective mirror relative to the base body. Mutually opposing surfaces of the mirror and of the base body, or of a mirror support body connected to it, are designed as corresponding glide surfaces of a sliding bearing.
摘要翻译：微光刻投影曝光设备具有反射镜阵列，其具有基体和多个反射镜单元，每个反射镜单元包括反射镜和固态铰接件，其具有至少一个铰接部件，所述铰接部件连接镜子的基体。控制装置可以改变各镜相对于基体的对准。镜子和基体的相互相对的表面或与其连接的镜子支撑体的相互面对的表面被设计为滑动轴承的相应滑动表面。

3. 发明申请

WO2009083179A1 FLUIDIKVORRICHTUNG FÜR KONTROLLIERTES HANDHABEN VON FLÜSSIGKEITEN UND FLUIDIKSYSTEM MIT EINER FLUIDIKVORRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：流体液体的控制的处理，并用流体流控
公开(公告)号：WO2009083179A1
公开(公告)日：2009-07-09
申请号：PCT/EP2008/010901
申请日：2008-12-19
申请人： HAHN-SCHICKARD-GESELLSCHAFT FÜR ANGEWANDTE FORSCHUNG E.V. , B. BRAUN MELSUNGEN AG , KUECK, Heinz , BENZ, Daniel , WOLTER, Frank , MAYER, Volker , FRITZ, Karl-Peter , MAIER, Hans-Otto , HEITMEIER, Rolf , NIEDENZU, Dominik
发明人： KUECK, Heinz , BENZ, Daniel , WOLTER, Frank , MAYER, Volker , FRITZ, Karl-Peter , MAIER, Hans-Otto , HEITMEIER, Rolf , NIEDENZU, Dominik
IPC分类号： F04B17/04 , F04B53/10 , F04B53/12
CPC分类号： F04B17/046 , F04B53/1077 , F04B53/12
摘要： Eine Fluidikvorrichtung zum Fördern oder Bestimmen der Menge einer von einem Fluidikvorrichtungseingang (2) zu einem Fluidikvorrichtungsausgang (4) entlang eines in einer Strömungsrichtung (6) verlaufenden Fluidweges strömenden Flüssigkeit weist ein Fluidikelement (16), das innerhalb des Fluidwegs zwischen einer ersten Position zu einer in Strömungsrichtung (6) hinter der ersten Position befindlichen zweiten Position bewegbar ist und ein den Fluidweg umschließendes Fluidikvorrichtungsgehäuse (8) auf. Das Fluidikelement (16) weist eine Durchströmungsöffnung (18) auf, die bei einer Bewegung des Fluidikelements (16) von der ersten (22) in die zweite (24) Position einen ersten Strömungswiderstand besitzt und die bei einer Bewegung des Fluidikelements (16) von der zweiten (24) in die erste (22) Position einen zweiten Strömungswiderstand besitzt, der sich von dem ersten Strömungswiderstand unterscheidet. Das Fluidikelement (16) und das Fluidikvorrichtungsgehäuse (8) sind derart ausgebildet, dass das Fluidikelement durch einen berührungslosen Antrieb von der zweiten Position (24) zu der ersten Position (22) bewegbar ist.
摘要翻译：用于输送或通过Fluidikvorrichtungseingang确定的量（2）到A流体装置一个Fluidikvorrichtungsausgang（4）沿一在（6）延伸的流体通道中流动的液体的流动方向包括流体元件（16），在第一位置之间的流体路径内的一个位于流动方向（6）的所述第一位置的下游的第二位置包围流体路径Fluidikvorrichtungsgehäuse（8）。射流元件（16）具有在所述第二通流开口（18）（24）的位置具有在从所述第一（22）中的流体元件（16）的运动包括第一流动阻力和在从射流元件（16）的运动第二（24）到第一（22）位置的第二流动阻力是从第一流动阻力不同。流体元件（16）和所述Fluidikvorrichtungsgehäuse（8）被形成为使得所述流体元件可以通过从第二位置（24）到所述第一位置（22）的非接触致动器移动。

4. 发明申请

WO2005071363A1 DREHGEBER UND VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINES DREHGEBERS 审中-公开
标题翻译：编码器和一种用于操作ROTATING SENSOR
公开(公告)号：WO2005071363A1
公开(公告)日：2005-08-04
申请号：PCT/EP2005/000714
申请日：2005-01-25
申请人： HAHN-SCHICKARD- GESELLSCHAFT FÜR ANGEWANDTE FORSCHUNE E.V. , KÜCK, Heinz , WARKENTIN, Daniel , BENZ, Daniel , SEIFERT, Hans Jörg
发明人： KÜCK, Heinz , WARKENTIN, Daniel , BENZ, Daniel , SEIFERT, Hans Jörg
IPC分类号： G01D5/347
CPC分类号： G01D5/3473 , G01D5/34738
摘要： Ein Drehgeber umfasst einen Informationsträger (1), der ei-ne Mehrzahl von Kennzeichen (11, 12) aufweist, wobei ein Material des Informationsträgers (1) einem Material eines Kennzeichens (11, 12) entspricht und wobei ein Kennzeichen (11, 12) eine optisch erfassbare Verkörperung einer Infor-mation ist, aus der eine Lage des Informationsträgers (1) ableitbar ist. Ferner umfasst der Drehgeber einen optischen Detektor (4) zum Detektieren des Kennzeichens (11, 12), wo-bei der Informationsträger (1) und der Detektor (4) relativ zueinander drehbar angeordnet sind und wobei ein Drehwinkel einer Relativdrehung zwischen dem Informationsträger (1) und dem Detektor (4) durch ein Detektionssignal ermittelbar ist. Hierdurch ist es möglich, auf einfache und kostengüns-tige Weise einen hoch-präzisen Drehgeber bereitstellen zu können.
摘要翻译：的旋转编码器包括信息载体（1）时，EI-NE多个标记（11，12），其中，所述信息载体的材料（1）的牌照板的（11 12）的材料的对应，并且其中一个代码（11，12）是从该信息载体（1）的位置可以被衍生的信息的光学检测的实施例。此外，编码器包括一个光检测器（4），用于检测所述标记（11，12），其中，所述信息载体（1）和检测器（4）相对于可旋转地布置成彼此并且其中，所述信息载体之间的相对旋转的旋转角度（1 ）和检测器（4）通过的检测信号可被确定。这使得能够以简单和kostengüns长期的方式提供高精度编码器。

5. 发明申请

WO2010034472A1 ILLUMINATION SYSTEM OF A MICROLITHOGRAPHIC PROJECTION EXPOSURE APPARATUS 审中-公开
标题翻译：微波投影曝光装置的照明系统
公开(公告)号：WO2010034472A1
公开(公告)日：2010-04-01
申请号：PCT/EP2009/006856
申请日：2009-09-23
申请人： CARL ZEISS SMT AG , BACH, Florian , BENZ, Daniel , WALDIS, Severin , WERBER, Armin , WARM, Berndt
发明人： BACH, Florian , BENZ, Daniel , WALDIS, Severin , WERBER, Armin , WARM, Berndt
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70058 , G03F7/70116 , G03F7/70141 , G03F7/70266 , G03F7/70291 , G03F7/70891
摘要： An illumination system of a microlithographic projection exposure apparatus (10) comprises a primary light source (30), a system pupil surface (70) and a mirror array (46). The mirror array (46) is arranged between the primary light source (30) and the system pupil surface (70) and comprises a plurality of adaptive mirror elements (M ij ). Each mirror element (M ij ) comprises a mirror support (100) and a reflective coating (102) and is configured to direct light (34) produced by the primary light source (30) towards the system pupil surface (70). Preferably the mirror elements (M ij ) are tiltably mounted with respect to a support structure (110). According to the invention the mirror elements (M ij ) comprise structures (100, 102) having a different coefficient of thermal expansion and being fixedly attached to one another. A temperature control device (90) is configured to variably modify the temperature distribution within the structures so as to change the shape of the mirror elements.
摘要翻译：微光刻投影曝光装置（10）的照明系统包括主光源（30），系统光瞳表面（70）和反射镜阵列（46）。镜阵列（46）布置在主光源（30）和系统光瞳表面（70）之间，并且包括多个自适应镜元件（Mij）。每个镜元件（Mij）包括镜支撑件（100）和反射涂层（102），并且被配置为将由主光源（30）产生的光（34）引向系统光瞳表面（70）。优选地，镜元件（Mij）相对于支撑结构（110）可倾斜地安装。根据本发明，镜元件（Mij）包括具有不同热膨胀系数并且彼此固定地附接的结构（100,102）。温度控制装置（90）被配置为可变地修改结构内的温度分布，以便改变反射镜元件的形状。

6. 发明申请

WO2008003359A1 PUMPELEMENT UND PUMPE MIT EINEM SOLCHEN PUMPELEMENT 审中-公开
标题翻译： PUMP元和泵这样的泵元
公开(公告)号：WO2008003359A1
公开(公告)日：2008-01-10
申请号：PCT/EP2007/002689
申请日：2007-03-27
申请人： HAHN-SCHICKARD-GESELLSCHAFT FÜR ANGEWANDTE FORSCHUNG E.V. , KÜCK, Heinz , BENZ, Daniel , WOLTER, Frank
发明人： KÜCK, Heinz , BENZ, Daniel , WOLTER, Frank
IPC分类号： F04B7/04 , F04B7/00 , F04B17/04 , F04B53/12
CPC分类号： F04B7/0076 , F04B7/04 , F04B17/042 , F04B17/044 , F04B53/12
摘要： Ein Pumpelement (10) umfasst ein Pumpelementgehäuse (14), das eine Pumpkammer (18) definiert, die einen Zulauf (20) und einen Ablauf (22) besitzt, und zumindest ein erstes bewegliches Element (24), das in der Pumpkammer zwischen einer ersten und einer zweiten Position bewegbar ist. Bei einer Bewegung des ersten beweglichen Elements in Richtung von der ersten in die zweite Position ist ein Flusswiderstand eines Strömungswegs von dem ersten beweglichen Element durch den Zulauf größer als ein Flusswiderstand eines Strömungswegs zwischen dem Pumpelementgehäuse und dem ersten beweglichen Element. Bei einer Bewegung des ersten beweglichen Elements in Richtung von der zweiten Position in die erste Position ist ein Flusswiderstand eines Strömungswegs von dem ersten beweglichen Element durch den Ablauf kleiner als ein Flusswiderstand des Strömungswegs zwischen dem Pumpelementgehäuse und dem ersten beweglichen Element. Somit findet bei einer Hin- und Her-Bewegung des ersten beweglichen Elements zwischen der ersten und der zweiten Position ein Nettofluss durch den Ablauf statt.
摘要翻译：泵送元件（10）包括泵元件壳体（14）限定了具有入口（20）和出口（22）的泵送室（18），和至少第一可动元件（24），所述一个之间的泵室第一和第二位置。在第一可移动元件在从第一到第二位置的方向上的移动，从通过入口的第一可移动元件的流动路径的流动阻力小于所述泵元件外壳和所述第一可动部件之间的流动路径的流动阻力大。在第一可移动元件在从所述第二位置到第一位置的方向上的移动，通过所述出口的第一可移动元件的流动路径的流动阻力小于所述泵元件外壳和所述第一可动部件之间的流动路径的流动阻力小。因此，在第一和第二位置之间的第一可动元件的往返运动，通过出口的净流动发生。

7. 发明申请

WO2007137742A1 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER ELEKTRONISCHEN BAUEINHEIT, ZUGEHÖRIGE BAUEINHEIT UND BAUGRUPPE MIT MINDESTENS EINER SOLCHEN BAUEINHEIT 审中-公开
标题翻译：方法用于制造电子装置的，偶然的结构单元和装配有至少一个这样的单位
公开(公告)号：WO2007137742A1
公开(公告)日：2007-12-06
申请号：PCT/EP2007/004566
申请日：2007-05-23
申请人： HAHN-SCHICKARD GESELLSCHAFT FÜR ANGEWANDTE FORSCHUNG E.V. , AHRENDT, Dirk , BENZ, Daniel , EBERHARDT, Wolfgang , KESSLER, Uli , KÜCK, Heinz , WARKENTIN, Daniel , WESER, Sascha
发明人： AHRENDT, Dirk , BENZ, Daniel , EBERHARDT, Wolfgang , KESSLER, Uli , KÜCK, Heinz , WARKENTIN, Daniel , WESER, Sascha
IPC分类号： H01L21/56 , H01L23/31 , H01L23/538 , H01L25/10
CPC分类号： H01L23/3107 , H01L23/13 , H01L23/4334 , H01L23/5389 , H01L24/25 , H01L24/82 , H01L25/105 , H01L25/50 , H01L2224/04105 , H01L2224/12105 , H01L2224/19 , H01L2224/24195 , H01L2224/73267 , H01L2224/82039 , H01L2225/1035 , H01L2225/1058 , H01L2225/1076 , H01L2924/01013 , H01L2924/01015 , H01L2924/01023 , H01L2924/01058 , H01L2924/01079 , H01L2924/01094 , H01L2924/15173 , H01L2924/16152 , H01L2924/1627 , H01L2924/1815 , H01L2924/19041 , H01L2924/19042 , H01L2924/19043 , H01L2924/3025
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer elektronischen Baueinheit (10), bei dem mindestens ein Kontaktflächen (14) aufweisendes elektronisches oder elektromechanisches Bauelement (12), vorzugsweise ein Halbleiterplättchen oder Chip mit einer ein oder mehrere in dem Halbleiterplättchen integrierte elektronische Bauelemente aufweisenden mikroelektronischen Schaltung, in ein Kunststoffmaterial eingebettet wird, wobei das elektronische oder elektromechanische Bauelement (12) kontaktträgerlos unter Bildung eines das elektronische oder elektromechanische Bauelement (12) in der Art eines Einlagestücks oder Inserts aufnehmenden Trägerkörpers (16) mit dem Kunststoffmaterial umspritzt wird, und wobei mindestens eine den Kontaktflächen (14) des elektronischen oder elektromechanischen Bauelements (12) zugeordnete Öffnung (20) in dem Trägerkörper (16) vorgesehen wird, über welche das elektronische oder elektromechanische Bauelement (12) von außerhalb des Trägerkörpers (16) elektrisch kontaktierbar ist, sowie eine Baueinheit (10) mit einem Kuststoffmaterial eingebetteten Bauelement und eine Baugruppe (100) mit mindestens einer solchen Baueinheit (10).
摘要翻译：本发明涉及一种方法，用于制造电子组件（10）至少呈现一接触表面（14）的电子或机电部件（12），优选为半导体晶片或芯片与具有微电子电路的一个或多个集成在半导体芯片中的电子部件嵌入在塑料材料，其中，所述电子或机电部件（12）被封装kontaktträgerlos接收在插入件的方式或插入，以形成与所述塑料材料的电子或机电部件（12）的承载体（16），和至少一个与载体本体中的开口（20）相关联的所述电子或机电部件（12）的接触面（14）（16）被提供，通过从Trägerkörpe外部的电子或机电部件（12） RS（16）可以电接触，以及具有Kuststoffmaterial嵌入式组件和具有至少一个这样的组件（10）的组件（100）的组件（10）。

8. 发明申请

WO2008131930A1 MIRROR MATRIX FOR A MICROLITHOGRAPHIC PROJECTION EXPOSURE APPARATUS 审中-公开
标题翻译：用于微晶投影曝光装置的反射矩阵
公开(公告)号：WO2008131930A1
公开(公告)日：2008-11-06
申请号：PCT/EP2008/003371
申请日：2008-04-25
申请人： CARL ZEISS SMT AG , FISCHER, Jürgen , BENZ, Daniel , STACKLIES, Horst , BACH, Florian , MÜHLBERGER, Norbert
发明人： FISCHER, Jürgen , BENZ, Daniel , STACKLIES, Horst , BACH, Florian , MÜHLBERGER, Norbert
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70216 , G03F7/70116 , G03F7/70158 , G03F7/702
摘要： A mirror matrix (1), particularly for use in an illumina tion system of a microlithographic exposure apparatus, comprises at least two mirror elements (10), which are arranged next to one another on a support (2). Each mirror element has a reflective surface (11), an installation volume (50) associated with the mirror element, a bearing (20) defining a rotational axis (21) and an electromagnetic drive (30). The drive comprises a stator unit (31) and a rotor unit (30) that is connected to the mirror substrate (12). The electromagnetic drive is configured to tilt the mirror substrate (12) about the rotational axis (21) such that the stator unit (31) is always arranged inside the installation volume (50), and such that the rotor unit (32) does not enter the installation volume (150) of a neighbouring mirror element (110) when the mirror substrate (12) has reached its maximum tilting angle.
摘要翻译：特别是用于微光刻曝光设备的照明系统的镜面阵列（1）包括在支撑件（2）上彼此相邻布置的至少两个镜元件（10）。每个镜元件具有反射表面（11），与镜元件相关联的安装体积（50），限定旋转轴线（21）的轴承（20）和电磁驱动器（30）。驱动器包括定子单元（31）和连接到反射镜基板（12）的转子单元（30）。电磁驱动器被配置为使反射镜基板（12）围绕旋转轴线（21）倾斜，使得定子单元（31）总是布置在安装体积（50）内，并且使得转子单元（32）不当反射镜基板（12）达到其最大倾斜角时，进入相邻镜元件（110）的安装体积（150）。

9. 发明申请

WO2003081175A1 NEIGUNGSSENSOR 审中-公开
标题翻译：测斜
公开(公告)号：WO2003081175A1
公开(公告)日：2003-10-02
申请号：PCT/EP2003/002975
申请日：2003-03-21
申请人： HAHN-SCHICKARD-GESELLSCHAFT FÜR ANGEWANDTE FORSCHUNG E.V. , KÜCK, Heinz , WARKENTIN, Daniel , BENZ, Daniel
发明人： KÜCK, Heinz , WARKENTIN, Daniel , BENZ, Daniel
IPC分类号： G01C9/06
CPC分类号： G01C9/06 , G01C9/10 , G01C2009/062 , G01C2009/068 , G01C2009/102 , G01C2009/105 , G01C2009/107
摘要： Ein Neigungssensor umfaßt eine aus einem Spritzguß-Polymerkunststoff gebildete Bahn (20), ein entlang der Bahn bewegliches Element (10), wobei eine Stellung des beweglichen Elements (10) entlang der Bahn (20) von einer Neigung der Bahn bezüglich einer Bezugsstellung abhängt, und eine Erfassungseinrichtung (50) zum Erfassen der Stellung des beweglichen Elements (10) entlang der Bahn (20) und/oder einer zeitlichen Änderung der Stellung des beweglichen Elements (10) entlang der Bahn (20). Dieser Aufbau des Neigungssensors eignet sich für eine preisgünstige Herstellung und Flexibilität des Einsatzes.
摘要翻译：的倾斜传感器，其包括一个由模制的聚合物塑料薄片（20），沿着所述轨道部件（10）的可动，其特征在于，沿着该路径的可动构件（10）的（20）的位置相对于依赖于网络的倾斜到基准位置上形成，和用于检测沿所述路径（20）和/或沿所述路径（20）可动构件（10）的位置的时间变化的可动部件（10）的位置检测装置（50）。倾斜传感器的这种结构适合于低成本制造和使用的灵活性。

10. 发明申请

WO2009062573A1 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR KAPAZITIVEN KRAFTMESSUNG 审中-公开
标题翻译： DEVICE AND METHOD FOR容性功率测量
公开(公告)号：WO2009062573A1
公开(公告)日：2009-05-22
申请号：PCT/EP2008/008582
申请日：2008-10-10
申请人： HAHN-SCHICKARD-GESELLSCHAFT FÜR ANGEWANDTE FORSCHUNG E.V. , KÜCK, Heinz , BENZ, Daniel , MAYER, Volker , FRITZ, Karl-Peter
发明人： KÜCK, Heinz , BENZ, Daniel , MAYER, Volker , FRITZ, Karl-Peter
IPC分类号： G01L1/14
CPC分类号： G01L1/142
摘要： Bei einem Kraftsensor zum Bestimmen einer auf ein Bauteil (1) wirkenden Kraft wird eine Kondensatoranordnung (3a, 3b) mit dem Bauteil (1) mechanisch derart gekoppelt, dass eine Längenänderung des Bauteils (1) eine Änderung einer Kapazität der Kondensatoranordnung (3a, 3b) bewirkt. Eine Auswerteeinrichtung (9) dient zum Bestimmen der Kapazität der Kondensatoranordnung (3a, 3b) und dazu, aus der bestimmten Kapazität die in Kraftrichtung (12) auf das Bauteil (1) wirkende Kraft zu bestimmen.
摘要翻译：在用于确定的分量的力传感器（1）的作用力以这样的方式联接到所述部件（1）机械地一个电容器装置（3A，3B），在成分（1）在所述电容器装置的电容的变化（3A，3B的长度变化）实现的。的评估装置（9）被用来确定电容器装置的电容（3A，3B）以确定作用和为此，比容量的，在组分（1）的力的方向（12）的力。

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