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1. 发明申请

WO2010101369A2 가스 분배 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 장치 审中-公开
标题翻译：气体分配装置和包括相同的基板处理装置
公开(公告)号：WO2010101369A2
公开(公告)日：2010-09-10
申请号：PCT/KR2010/001209
申请日：2010-02-26
申请人： 주성엔지니어링㈜ , 최선홍 , 이승호 , 이영희
发明人： 최선홍 , 이승호 , 이영희
IPC分类号： H01L21/205 , B05B7/08
CPC分类号： C23C16/45565 , C23C16/452 , C23C16/45574 , C23C16/45591
摘要： 본 발명은 가스 분배 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 장치에 관한 것으로, 적어도 2가지 이상의 공정 가스를 각기 다른 루트를 통해 기판 상으로 분사하는 제 1 가스 분배부와, 적어도 2가지 이상의 공정 가스들의 분해 온도의 평균보다 그 분해 온도가 높은 공정 가스를 기판 상으로 분사하는 제 2 가스 분배부를 포함하고, 제 1 가스 분배부는 적어도 둘 이상으로 분할되어 제 2 가스 분배부를 중심으로 배치되고 결합 및 분리가 가능한 가스 분배 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 장치를 제공한다.
摘要翻译：气体分配装置及其制造方法技术领域本发明涉及一种气体分配装置及其制造方法。本发明提供一种气体分配装置，包括：第一气体分配单元，其通过不同的路线在衬底上喷射至少两种处理气体; 以及第二气体分配单元，其在基板上喷射具有高于所述至少两种处理气体的分解温度的平均值的分解温度的处理气体。第一气体分配单元被分成至少两个子单元，它们围绕第二气体分配单元布置，并且可以组合在一起或彼此分离。本发明还提供一种包括气体分配装置的基板处理装置。

2. 发明公开

KR1020040110253A 고무자석시트의 제조방법 失效
标题翻译：制造磁性橡胶片的方法，包括切割层的步骤，薄铁板，热粘结层和冷却磁性橡胶片之间的放置层
公开(公告)号：KR1020040110253A
公开(公告)日：2004-12-31
申请号：KR1020030039475
申请日：2003-06-18
申请人： 최선홍
发明人： 최선홍
IPC分类号： H01F1/00
摘要： PURPOSE: A method is provided to reduce manufacturing procedures by attaching layers with each other without using an adhesive, and allow for a mass production. CONSTITUTION: A method comprises a first step of cutting selected layers into predetermined sizes; a second step of laminating the layers which are cut in the first step, such that the cut layers are interposed between thin iron sheets(7,7'); a third step of placing thin iron sheets between upper and lower heat plates(8) embedded with a heater wire, and pressing the upper and lower heat plates such that layers are thermally bonded with each other; and a fourth step of cooling a magnetic rubber sheet formed by the layers bonded with each other.
摘要翻译：目的：提供一种方法，通过在不使用粘合剂的情况下将层彼此连接来减少制造程序，并允许批量生产。构成：一种方法包括将所选择的层切割成预定尺寸的第一步骤; 第二步骤，层压在第一步骤中切割的层，使得切割层介于薄铁板（7,7'）之间; 将薄铁片放置在嵌有加热丝的上下加热板（8）之间并将上层和下层加热板彼此热粘合的第三步骤; 以及冷却由彼此粘合的层形成的磁性橡胶片的第四步骤。

3. 发明授权

KR100532074B1 고무자석시트의 제조방법 失效
标题翻译：磁性橡胶片的制造方法
公开(公告)号：KR100532074B1
公开(公告)日：2005-11-30
申请号：KR1020030039475
申请日：2003-06-18
申请人： 최선홍
发明人： 최선홍
IPC分类号： H01F1/00
摘要： 본 발명은 고무자석시트의 제조방법에 관한 것이며, 그 목적은 사용시간에 관계없이 각 층간 접합부위의 분리를 방지할 수 있고, 유아용 학습교재로 사용 시 아이들이 유해물질에 노출되는 것을 방지할 수 있으며, 제조 공정이 단순해짐과 아울러 대량생산이 가능하고 제품의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 고무자석시트의 제조방법을 제공함에 있다.
본 발명은 고무자석으로 이루어진 자석층과, PVC 또는 종이재질로 이루어진 인쇄층과, 재생 PVC로 이루어진 보강층과, 고무철시트로 이루어진 철판층 중 자석층을 포함하여 선택된 2개 이상의 층을 상호 접착하여 고무자석시트를 제조하는 제조방법에 있어서, 선택된 각각의 층을 일정크기로 절단하여 성형하는 단계(S1)와, 상기 단계(S1)를 통해 일정크기로 절단된 각각을 층을 적층하여 얇은철판 사이에 위치시키는 단계(S2)와, 상기 단계(S2)를 통해 각각의 층이 적층되어 내부에 위치한 얇은철판을 열선히터가 내장된 상·하부 열판 사이에 위치시킨 후 가압하여 각각의 층을 상호 열융착하는 단계(S3)와, 상기 단계(S3)를 통해 각각의 층이 상호 접착되어 구성된 고무자석시트(R)를 냉각하는 단계(S4)로 이루어진 고무자석시트의 제조방법에 관한 것을 그 기술� �� 요지로 한다.

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