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    • 2. 发明申请
    • 진공처리시스템, 진공처리시스템에 사용되는 버퍼모듈 및 진공처리시스템의 트레이 이송방법
    • 真空处理系统,使用的缓冲器模块和真空处理系统的托盘传送方法
    • WO2009142446A2
    • 2009-11-26
    • PCT/KR2009/002678
    • 2009-05-21
    • 주식회사 아이피에스이주희차근수양효성진상우
    • 이주희차근수양효성진상우
    • H01L21/677
    • H01L21/67769H01L21/67236H01L21/6734H01L21/67778
    • 본 발명은 진공처리시스템에 관한 것으로서, 상세하게는 진공상태에서 기판의 표면을 식각, 증착하는 등 기판에 대한 진공처리를 수행하는 진공처리시스템에 관한 것이다. 본 발명은 다수개의 기판들이 트레이에 로딩되거나 언로딩되는 로딩/언로딩모듈과; 상기 로딩/언로딩모듈의 일측에 설치되고 다수개의 기판들이 로딩된 트레이를 이송받아 공정을 수행할 수 있도록 밀폐된 처리공간을 가지는 하나 이상의 공정모듈과; 트레이가 임시로 로딩되는 하나 이상의 버퍼부를 가지며, 상기 버퍼부에서 상기 로딩/언로딩모듈로부터 트레이를 이송받아 상기 공정모듈로 전달하기 전에 트레이의 상측에 다수개의 슬릿이 형성된 커버부재로 복개하며, 상기 공정모듈로부터 커버부재가 복개된 트레이를 이송받아 상기 로딩/언로딩모듈로 전달하기 전에 커버부재를 트레이로부터 제거하는 버퍼모듈과; 상기 로딩/언로딩모듈 및 상기 버퍼모듈 간의 트레이 이송 및 상기 공정모듈 및 상기 버퍼모듈 간의 트레이 이송을 수행하는 이송부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리시스템을 개시한다.
    • 本发明涉及一种真空处理系统,更具体地说,涉及在真空状态下在基板表面上执行诸如蚀刻和沉积的真空处理程序的真空处理系统。 本发明包括:装载/卸载模块,其将多个基板装载或卸载到托盘上; 一个或多个过程模块安装在装载/卸载模块的一侧,并且具有封闭的处理空间,使得其上装载有基板的托盘被传送并进行处理; 缓冲模块具有至少一个缓冲单元,托盘临时装载在该缓冲单元上,其从装载/卸载模块接收托盘,然后在具有多个狭缝的盖构件之前覆盖托盘的上侧,然后将托盘转移到 处理模块,并且从所述处理模块接收由所述盖构件覆盖的所述托盘,然后将所述盖构件从所述托盘移除到所述装载/卸载模块之前; 传送单元,其在装载/卸载模块和缓冲器模块之间以及处理模块和缓冲模块之间传送托盘。