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热词
    • 1. 发明申请
    • 트렌치 기법을 이용한 2단자 반도체 소자 제작 방법
    • 使用TRENCH技术制造2端子半导体器件的方法
    • WO2010047446A1
    • 2010-04-29
    • PCT/KR2009/001832
    • 2009-04-09
    • 동국대학교 산학협력단이진구이성대김미라민대홍김완주
    • 이진구이성대김미라민대홍김완주
    • H01L21/302
    • H01L29/6609H01L21/30625H01L29/66083H01L29/66166H01L29/66174
    • 본 발명은 반도체 소자의 직렬 저항 성분을 감소시키고 효과적인 열 방출을 도모하여 소자 특성 향상을 위한 반도체 기판 연마 공정을 식각 방법으로 사용하는 트렌치 기법을 이용한 2단자 반도체 소자 제작 방법을 제공하기 위한 것으로서, 불순물이 첨가된 활성층이 성장된 기판 위에 식각 패턴을 형성하여 식각을 통해 트렌치를 형성하는 단계와, 상기 식각 패턴 제거 후, 기판 상부 전면에 증착(evaporation) 또는 스퍼터링(sputtering) 방법을 이용하여 전면 금속층을 형성하는 단계와, 상기 전면 금속층이 형성된 기판 전면에 상기 형성된 트렌치 옆면보다 두꺼운 두께로 도금 금속층을 형성하는 단계와, 기계적 또는 화학적 방법 중 적어도 하나 이상의 연마 공정을 이용하여 상기 기판 하부에 상기 전면 금속층이 노출될 때까지 연마를 수행하는 단계와, 상기 연마된 기판 위에 금속 전극 형성을 위한 후면 금속층을 형성하는 단계와, 습식 또는 건식 식각 방법 중 적어도 하나를 이용하여 각각의 소자들을 분리하는 단계를 포함하는데 있다.
    • 本发明提供一种使用沟槽技术制造2端子半导体器件的方法。 该方法使用半导体衬底抛光工艺作为蚀刻方法,通过减少半导体器件的串联电阻分量并有效地散热来提高器件特性。 制造2端子半导体器件的方法包括以下步骤:在衬底上形成蚀刻图案,在其上具有杂质的有源层生长以通过蚀刻形成沟槽; 使用蒸发或溅射方法去除蚀刻图案并在基板的上前表面上形成前金属层; 在其上形成有前金属层的基板的前表面上形成金属镀层,其中金属镀层比形成的沟槽的侧面厚; 执行至少一个机械或化学抛光工艺,直到前金属层在基板的下部暴露于外部; 在抛光的基板上形成用于形成金属电极的背金属层; 以及使用至少一种湿法或干蚀刻法分离器件。
    • 2. 发明授权
    • 초고주파 반도체 소자
    • 微波半导体元件
    • KR100686438B1
    • 2007-02-23
    • KR1020040075719
    • 2004-09-22
    • 학교법인 동국대학교이성대김삼동이복형이진구
    • 이복형이성대김삼동이진구
    • H01L21/336H01L29/772H01L21/66H01L21/28
    • 본 발명은 초고주파 단일칩 집적회로(microwave monolithic integrated circuit: MMIC)의 능동소자로 사용되는 초고주파 반도체 소자에 대한 것으로 게이트, 드레인 및 소스 와 측정을 위한 게이트, 드레인 및 소스 패드로 구성된 초고주파 반도체 소자에 있어서, 측정용 게이트 패드와 측정용 드레인 패드 대신에 게이트 확장 전극 및 드레인 확장 전극을 대치시켜 형성한 초고주파 반도체 소자에 관한 것이다.
      본 발명은 반도체 소자에서 측정용 패드의 형성과 디임베딩 과정을 생략함으로써 비용과 시간을 효과적으로 줄일 수 있으며, 또한 본 발명의 디임베딩 된 초고주파 반도체 소자는 입출력단의 측정 패드 대신에 확장 전극을 대치함으로써 전극과 측정 패드 부분에서 발생하는 불연속 특성을 제거하여 초고주파 단일칩 집적회로의 설계시에 필요한 디임베딩 과정을 생략할 수 있어 모델링 과정에서의 시간과 비용의 절감이 가능하고, 초고주파 단일칩 집적회로 설계에서 능동 소자의 정확한 특성과 크기를 제공할 수 있기 때문에 설계 시간 단축과 원하는 사양으로의 정확한 설계가 가능한 효과가 있다.
      초고주파 반도체 소자, MMIC, 모델링, de-embedding
    • 3. 发明授权
    • 풀-업형 캔틸레버를 이용한 마이크로 머시닝 스위치제작방법
    • 采用上拉式悬臂式微加工开关的方法
    • KR100633208B1
    • 2006-10-11
    • KR1020040066941
    • 2004-08-24
    • 학교법인 동국대학교이성대이진구
    • 이성대이진구
    • H01L29/00H01H59/00
    • 본 발명은 각종 통신 시스템에서 사용되는 반도체 스위치 제작에 관한 것으로서, 하부에서 상부로 동작하는 pull-up 형태의 캔틸레버를 사용한 pull-up 형 캔틸레버를 이용한 마이크로 머시닝 스위치 제작방법에 관한 것이다.
      본 발명의 Pull-up 형 캔틸레버를 이용한 마이크로 머시닝 스위치는 높은 단락/개방 격리 특성을 가지며, 낮은 구동전압으로 인해 통신 시스템 내부에 구동 전압을 승압하기 위한 회로가 불필요하므로 시스템의 크기를 소형화가 가능하며, 구동시 캔틸레버를 구성하는 금속의 변형이 없으므로 장시간 사용 후 특성 변화가 거의 없으며, 반영구적으로 사용이 가능한 효과가 있다.
      본 발명은 종래의 Pull-down 형태의 캔틸레버를 Pull-up 구조로 하여 낮은 직류 전압으로 캔틸레버와 전송 선로를 단락시키고, 캔틸레버를 두꺼운 금속층으로 구성하여 캔틸레버의 무게에 의한 중력을 이용하여 개방하는 구조의 Pull-up 형 캔틸레버를 이용한 마이크로 머시닝 스위치제작방법을 제공한다.
      반도체 스위치, Micro-machining, cantilever, pull-up
    • 9. 发明公开
    • 항로 매몰 및 침식 방지용 인공 식생 모형체
    • 用于防止导航通道中的沉降的植物植被模型
    • KR1020120030484A
    • 2012-03-28
    • KR1020120009220
    • 2012-01-30
    • 이성대
    • 이성대
    • A01G1/00E02B3/04E02B3/08
    • A01G2/00A01G20/00E02B3/043E02B3/08
    • PURPOSE: An artificial vegetation model for preventing the erosion and burying a navigation channel is provided to produce the model by imitating the functions of the marine ecosystem. CONSTITUTION: An artificial vegetation model for preventing the erosion and burying a navigation channel comprises the following: a fixing member(110) fixed to the underwater bottom of the coast sea; artificial vegetations obtained by imitating the marine ecosystem; and a connection member(120) fixing the artificial vegetations to the fixing member. The artificial vegetations are formed in a stiff shape for partially passing through the current.
    • 目的:通过模拟海洋生态系统的功能,提供防止侵蚀和埋藏导航通道的人工植被模型。 构成:用于防止侵蚀和埋入导航通道的人工植被模型包括:固定在海岸海底的固定构件(110); 通过模仿海洋生态系统获得的人造植被; 以及将人造植被固定到固定构件的连接构件(120)。 人造植被形成为用于部分通过电流的刚性形状。
    • 10. 实用新型
    • 슬라이드식 휴대폰의 슬라이드모듈
    • 滑动式手机的滑动模块
    • KR200395924Y1
    • 2005-09-14
    • KR2020050019242
    • 2005-07-01
    • 이성대
    • 이성대
    • H04B1/38
    • H04M1/0237
    • 본 고안은 슬라이드식 휴대폰에 관한 것으로서, 본체와 이동체에 각각 고정된 고정플레이트와 이동플레이트가 슬라이딩 가능하게 결합되고, 고정플레이트와 이동플레이트 사이에는 이동플레이트에 탄성력을 제공하는 토션스프링이 설치된 슬라이드식 휴대폰의 슬라이드모듈에 있어서, 상기 고정플레이트 또는 이동플레이트 중 어느 한 쪽의 일면 양측에는 결합돌부가 돌출 형성되고, 상기 결합돌부와 대향되는 나머지 쪽의 일면 양측에는 결합홈이 형성되어 슬라이딩 결합되되, 상기 결합돌부의 일측은 결합홈에 경사지게 면접촉되게 결합되고, 상기 결합돌부의 타측은 결합홈에 수직하게 면접촉되게 결합된 것을 특징으로 하여, 슬라이드모듈을 구성하는 고정플레이트와 이동플레이트를 간단하게 조립할 수 있고, 그 슬라이딩 구조가 단순화되며, � �기 및 부피가 슬림화되는 장점이 있다.