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    • 3. 发明申请
    • 질화물 박막 구조 및 그 형성 방법
    • 氮化物薄膜结构及其形成方法
    • WO2010027230A2
    • 2010-03-11
    • PCT/KR2009/005055
    • 2009-09-07
    • 서울대학교 산학협력단윤의준차국헌김종학오세원우희제
    • 윤의준차국헌김종학오세원우희제
    • H01L33/16
    • H01L21/0237H01L21/02458H01L21/02505H01L21/02507H01L21/0254H01L21/02639H01L21/02647H01L33/007H01L33/12
    • 본 발명은 질화물 박막 구조 및 그 형성 방법에 관한 것이다. 질화물이 아닌 기판 위에 질화물 박막을 형성하게 되면 기판과 질화물 박막간의 격자상수 차이에 의하여 많은 결함이 생기게 된다. 또한 기판과 질화물 박막간의 열팽창 계수 차이 에 의하여 기판이 휘어지는 문제가 있다. 본 발명에서는 이러한 문제를 해결하고 자, 속이 비어 있는 입자, 즉 중공 구조물을 기판 상에 도포한 다음 그 위에 질화 물 박막을 성장시킨 박막 구조 및 그 형성 방법을 제안한다. 본 발명에 따르면, 중 공 구조물에 의한 ELO(Epitaxial Lateral Overgrowth) 효과를 얻을 수 있어 고품질 의 질화물 박막을 형성할 수 있으며, 박막 구조 안의 굴절률이 조절됨에 따라 본 발명에 따른 박막 구조를 LED와 같은 발광 소자로 제작시 광추출 효율이 증가되는 효과가 있다. 뿐만 아니라 기판의 열팽창 계수가 질화물 박막에 비하여 더 큰 경우 에는 질화물 박막 안의 중공 구조물 압축에 따라 질화물 박막의 전체 응력이 감소 되어 기판의 휘어짐을 방지하는 효과도 있다.
    • 氮化物薄膜结构及其形成方法技术领域本发明涉及一种氮化物薄膜结构及其形成方法。 如果在氮化物以外的衬底上形成氮化物膜,则由于衬底和氮化物膜之间的晶格常数差异而导致大量缺陷。 此外,由于衬底和氮化物薄膜之间的热膨胀系数的差异,存在衬底翘曲的问题。 在本发明中解决这些问题和字符时,空载空心粒子,被施加到所述中空结构在下面的衬底上提出了一种薄膜结构,并且其中一个在其上生长的水氮化物薄膜的方法。 根据本发明的光发射的,如一个薄膜结构根据本发明按照在ELO(外延横向过生长)的折射率可以得到,其效果能够形成高品质的氮化物薄膜,以及由球结构和LED调节薄膜结构 用器件制造时,光提取效率会提高。 此外,当基板比所述氮化物薄膜更大的热膨胀系数降低了氮化物薄膜的总应力按照在氮化物薄膜它具有防止基板的翘曲的效果压缩的中空结构。