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    • 5. 发明公开
    • 벨로우즈 펌프 장치
    • 波纹管泵装置
    • KR1020170096625A
    • 2017-08-24
    • KR1020177015941
    • 2015-07-06
    • 니폰 필라고교 가부시키가이샤
    • 나카노아츠시나가에케이지
    • F04B43/08F04B43/10
    • F04B43/10F04B11/00F04B11/0025F04B43/0081F04B43/067F04B43/113F04B45/022F04B45/0336F04B49/065F04B49/22F04B2203/10F04B2205/13F04B43/08
    • 작동유체의흡입으로부터토출로전환될때에발생하는충격압력을, 이미설치된벨로우즈펌프에서도용이하게억제할수 있는벨로우즈펌프장치를제공한다. 벨로우즈펌프장치는, 밀폐된 2개의공기실(21, 26) 중, 한쪽의공기실(26)에가압공기를공급함으로써벨로우즈(13, 14)를신장동작시켜이송유체를흡입하고, 다른쪽의공기실(21)에가압공기를공급함으로써벨로우즈(13, 14)를수축동작시켜이송유체를토출한다. 이벨로우즈펌프장치는, 한쪽의공기실(26)에공급하는가압공기의제1 공기압, 및다른쪽의공기실(21)에공급하는가압공기의제2 공기압을조정하는전공레귤레이터(51, 52)와, 벨로우즈(13, 14)의신장동작시에서의적어도신장종료시점에서, 제1 공기압이제2 공기압보다도낮아지도록전공레귤레이터(51, 52)를제어하는제어부(6)를구비하고있다.
    • 本发明提供一种波纹管泵装置,即使在已安装的波纹管泵中,也能够容易地抑制工作流体从吸入切换到排出时产生的冲击压力。 波纹管泵装置向被密封的两个空气室(21,26)中的一个提供加压空气以延伸波纹管(13,14)以吸引所传送的流体,而另一个 通过向空气室21供给加压空气,波纹管13和14缩回以排出输送的流体。 波纹管泵装置,压力第一压力,和空气室21的另一侧,电动气动调节器,用于调节供应到提供给一侧(空气室26,51,52中的空气的压缩空气的第二压力 )和,和一个高度至少在过程中的波纹管(13,14)的伸长行为结束eseoui,第一空气压力现在比所述第二压力气动调节器(51,低级52使得控制单元6),用于控制。
    • 9. 发明授权
    • 왕복동 펌프
    • 再生泵
    • KR101171442B1
    • 2012-08-06
    • KR1020097026102
    • 2008-04-02
    • 니폰 필라고교 가부시키가이샤
    • 마스다아키히로모리미츠오
    • F04B39/00F04B43/10F04B43/02
    • F04B43/084F04B43/1136
    • 펌프축 이외의 개소에도 축받이를 설치하는 구조 고안에 의해, 대구조물로 되는 이동체의 슬라이딩 이동의 원활함이나 그 슬라이딩 지지수단(축받이 등)의 내구성을 개선시킨다. 유체의 흡입로(12)와 토출로(13)를 구비한 펌프 보디(1)와, 이들 양 단부에 기밀 고정되는 한쌍의 격막(2)과, 각 격막(2)의 선단부에 취착되는 펌프축(15)과, 각 펌프축(15)을 슬라이딩 이동 가능하게 지지해서 격막(2)의 외측에 배치되는 연결 보디(16)를 통해 펌프 보디(1)에 일체화되는 한쌍의 펌프 플랜지(4)와, 각 펌프축(15)의 펌프 플랜지(4)로부터의 돌출 선단부(15B)에 부착되는 연결판(17)끼리를, 각 펌프 플랜지(4)를 관통해서 격막(2)의 외측에 배치되는 상태에서 연결하는 연결봉(18)과, 한쌍의 펌프 플랜지(4)에 걸쳐 설치되어 연결봉(18)을 포위하는 커버통(6)을 갖는 왕복동 펌프에 있어서, 연결봉(18)을 각 펌프 플랜지(4)에 지지되는 슬라이딩 축받이(27)를 통해 슬라이딩 이동 가능하게 지지한다.
      격막, 플랜지, 연결봉, 펌프축, 벨로우즈
    • 10. 发明授权
    • 튜브 디바이스 및 그 튜브 디바이스를 포함하는 배관시스템
    • 具有管道装置的管道装置和管道系统
    • KR101097621B1
    • 2011-12-22
    • KR1020110005877
    • 2011-01-20
    • 니폰 필라고교 가부시키가이샤
    • 오카모토유타카후지이다츠야
    • H01L21/02
    • F16L19/04F16L47/04
    • 본발명은반도체제조장치나액정장치, 화학약품제조장치, 식품생산라인등에이용되는튜브디바이스및 그튜브디바이스를포함하는배관시스템에관한것으로서, 튜브디바이스는, 케이싱과유니언너트를구비하며, 상기케이싱은, 합성수지제의튜브와, 상기튜브의단부를받아들이는주둥이부(8)와상기주둥이부내에설치된적어도 1개의시일면(42)을각각구비한 1쌍의합성수지제의덮개부재(5)와, 상기튜브의직경확대부(43)가형성된일단부및 타단부에각각외부에서끼워지는동시에, 상기덮개부재의상기주둥이부를구비한일단부에각각나사결합되는 1쌍의합성수지제의유니언너트(6)를구비하고, 상기덮개부재(5)는상기케이싱을구성하는튜브연결부(A)와, 상기케이싱에유체를도입하거나유출하는튜브연결부(B)와, 상기디바이스에유체를도입하거나유출하는튜브연결부(C)를구비하며, 상기유니언너트는, 상기덮개부재의일단부로의나사전진에의한체결에의해상기튜브를외측으로부터밀어누르고, 이밀어누름작용에의해상기튜브의직경확대부(43)와상기덮개부재의시일면(42)이밀착함으로써적어도 1군데에시일부(44)가형성되는것을특징으로한다.