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1. 发明申请

WO2013031777A1 イオン源审中-公开
标题翻译：离子源
公开(公告)号：WO2013031777A1
公开(公告)日：2013-03-07
申请号：PCT/JP2012/071718
申请日：2012-08-28
申请人：株式会社東芝 , 角谷晶子 , 橋本清 , 佐藤潔和 , 長内昭宏 , 吉行健 , 来栖努 , 林和夫
发明人：角谷　晶子 , 橋本　清 , 佐藤　潔和 , 長内　昭宏 , 吉行　健 , 来栖　努 , 林　和夫
IPC分类号： H01J27/24 , H05H1/24 , H05H7/08
CPC分类号： H01J27/24 , H01J49/164
摘要：　本発明は、高純度の多価イオンを取り出すことができるイオン源を提供することを目的とする。イオン源（１０）は、レーザ（１３）が照射されると電子と陽イオンに電離したプラズマ（１４）を生成するターゲット（１２）と、このターゲット（１２）の電位を陽イオンの出射目標である加速チャンネル（１８）よりも高く設定する第１電源（第１電圧Ｅ1）と、この陽イオンがターゲット（１２）から加速チャンネル（１８）に至る経路上にあるフィルタ電極（１５）の電位をターゲット（１２）の電位よりも高く設定する第２電源（第２電圧Ｅ2）と、を備える。
摘要翻译：本发明的目的是提供一种可以从其中取出高纯度多价离子的离子源。该离子源（10）包括：靶（12），当用激光（13）照射时，产生等离子体（14），其中靶被离子化成电子和正离子; 第一电源（第一电压E1），其将目标（12）的电位设置为比作为正离子发射的目标的加速度通道（18）的电位高; 以及第二电源（第二电压E2），其设置在正离子从目标（12）行进到加速通道（18）的路径中的过滤电极（15）的电位高于目标（12）的电位。

2. 发明申请

WO2012057107A1 レーザ・イオン源审中-公开
标题翻译：激光源
公开(公告)号：WO2012057107A1
公开(公告)日：2012-05-03
申请号：PCT/JP2011/074493
申请日：2011-10-25
申请人：株式会社東芝 , 林和夫 , 角谷晶子 , 長内昭宏 , 佐藤潔和 , 来栖努 , 吉行健
发明人：林　和夫 , 角谷　晶子 , 長内　昭宏 , 佐藤　潔和 , 来栖　努 , 吉行　健
IPC分类号： H01J27/24 , H01J37/08
CPC分类号： H01J37/08 , H01J27/24 , H01J2237/022 , H01J2237/08 , H01J2237/186 , H01J2237/31701
摘要：　レーザ光の照射によりイオンを発生させるレーザ・イオン源であって、真空排気される容器（１１０）と、容器（１１０）内に配置され、レーザ光の照射によりイオンを発生するターゲット（１２１）が収容された照射箱（１２０）と、照射箱（１２０）からイオンを静電的に引き出し、イオンビームとして容器１１０の外部に導くイオンビーム引き出し部（１１２）と、容器（１１０）のイオンビームの取り出し部に設けられ、イオンビーム射出時に開き、射出時以外は閉じるバルブ（１４０）と、バルブ（１４０）と照射箱（１２０）との間に設けられ、イオンビーム射出時に間欠的に開き、射出時以外は閉じるシャッタ（１５０）と、を具備した。これにより、レーザ照射の際に発生する微粒子を容器（１１０）内に閉じ込め、真空排気系やイオン源に接続される後段の装置へ微粒子が流出するのを抑制する。
摘要翻译：提供了一种通过照射激光束产生离子的激光离子源，包括：抽空容器（110）; 位于所述容器（110）内的照明箱（120），并且其中通过用所述激光束照射而发射离子的靶（121）被容纳; 离子束提取单元，其从所述照明箱（120）静电地离开离子，并将作为离子束的离子导出到所述容器（110）外部; 设置在所述容器（110）的离子束提取部分上的阀（140），当所述离子束离开并且否则关闭时，所述阀打开; 以及设置在所述阀（140）和所述照明箱（120）之间的闸门（150），当所述离子束离开并且否则关闭时，所述闸门间歇地打开。激光束照射时发射的微观粒子因此被捕获在容器（110）内，并且所述显微粒子排放到排出组件或连接到离子源的下游装置被减轻。

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