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1. 发明专利

JP2021192948A ハブ型ブレード审中-公开
公开(公告)号：JP2021192948A
公开(公告)日：2021-12-23
申请号：JP2021146163
申请日：2021-09-08
申请人：株式会社東京精密
发明人：星純二 , 塚本早紀 , 山中紀幸
IPC分类号： B24D3/00 , B24D3/06 , B24D5/16 , H01L21/301 , B24D5/12
摘要：【課題】高精度なハブ型ブレードを効率的かつ安定して製造することが可能なハブ型ブレードを提供すること。【解決手段】本発明の一態様に係るハブ型ブレードは、軸線回りに回転可能に形成され前記軸線方向の一方側にブレード取付面が形成されたハブと、前記ブレード取付面に配置されたブレード本体と、前記ハブと前記ブレード本体の間に配置され前記ハブに前記ブレード本体を装着して接続する接続部と、を備え、前記接続部は、前記ハブ側と前記ブレード本体側に位置される両面に粘着性を有する両面粘着テープにより構成されており、前記ブレード取付面が、表面粗さRmaxが0〜20μmに形成されていることを特徴とする。【選択図】図2

2. 发明专利

JP6983588B2 測定器及びそれに用いる衝突退避機構並びに衝突退避方法有权
公开(公告)号：JP6983588B2
公开(公告)日：2021-12-17
申请号：JP2017172845
申请日：2017-09-08
申请人：株式会社東京精密
发明人：岡部聡志
IPC分类号： G01B5/06 , G01B5/18 , G01B5/08 , G01B5/12

3. 发明专利

JP6983374B2 測定装置及び測定方法有权
公开(公告)号：JP6983374B2
公开(公告)日：2021-12-17
申请号：JP2016226121
申请日：2016-11-21
申请人：株式会社東京精密
发明人：林恭平
IPC分类号： G01B11/00 , G01B9/02 , G01B11/06

4. 发明专利

JP2021182011A 表面形状測定装置及びそのスティッチング測定方法审中-公开
公开(公告)号：JP2021182011A
公开(公告)日：2021-11-25
申请号：JP2021136497
申请日：2021-08-24
申请人：株式会社東京精密
发明人：森井秀樹
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/24
摘要：【課題】スティッチング測定により被測定面の表面形状測定を行う際の測定時間を効果的に短縮できる表面形状測定装置及びそのスティッチング測定方法を提供する。【解決手段】測定対象物Pのステージ10と、白色干渉計の光学部2と、測定光の光路長を変化させる走査手段と、被測定面Sの面内方向移動手段35と、被測定面Sの概略形状情報を取得する概略形状取得手段72と概略形状情報に基づいて被測定面Sを傾斜状領域Dと平坦状領域Kとで構成された複数の測定面Nに分割する被測定面分割手段74と、分割した各測定面について表面形状を測定走査するのに最小限必要な最小走査範囲Zを設定する最小走査範囲設定手段76と、を備えた。【選択図】図1

5. 发明专利

JP2021179380A 形状測定機及びその制御方法审中-公开
公开(公告)号：JP2021179380A
公开(公告)日：2021-11-18
申请号：JP2020085358
申请日：2020-05-14
申请人：株式会社東京精密
发明人：増田光 , 森井秀樹
IPC分类号： G01B5/20
摘要：【課題】測定対象物の形状測定の異常発生の原因を容易に検出可能な形状測定機及びその制御方法を提供する。【解決手段】予め定められた検出器感度方向に沿った接触子の変位を検出する変位検出器と、測定対象物に対して変位検出器を相対移動させて測定対象物の被測定面を接触子によりトレースさせる相対移動機構と、測定対象物に対する変位検出器の相対位置を検出する位置検出センサと、検出器感度方向の振動を検出する振動検出部と、相対移動機構による相対移動が行われている間、位置検出センサによる相対位置の検出と変位検出器による変位の検出と振動検出部による振動の検出とを含む3つの動作を互いに同期させて繰り返し実行させる同期制御部と、を備える。【選択図】図1

6. 发明专利

JP6963075B2 ウェハの表面処理装置有权
公开(公告)号：JP6963075B2
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：JP2020150419
申请日：2020-09-08
申请人：株式会社東京精密
发明人：石川一政
IPC分类号： B24B37/00 , B24B37/24 , H01L21/322 , H01L21/304

7. 发明专利

JP6959500B2 プローバおよびプリアライメント方法有权
公开(公告)号：JP6959500B2
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：JP2017061386
申请日：2017-03-27
申请人：株式会社東京精密
发明人：佐藤雄太 , 山口晃 , 飛山亜矢子 , 海老名卓志
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/68

8. 发明专利

JP2021173694A 測定装置及びその制御方法审中-公开
公开(公告)号：JP2021173694A
公开(公告)日：2021-11-01
申请号：JP2020079379
申请日：2020-04-28
申请人：株式会社東京精密
发明人：榎本雅人
IPC分类号： G01B5/28
摘要：【課題】ワークの測定条件等の設定を簡略化し、測定を効率化することが可能な測定装置及びその制御方法を提供する。【解決手段】測定装置(10)の制御方法は、2次元コードスキャナ(300)から、ワークの測定を行うための設定内容の情報を含む設定用2次元コードをスキャンして得られた情報を取得し、設定内容に基づいて、データ処理部(200)にワークの測定のための設定を行うプレイバックファイルを作成するステップと、プレイバックファイルを読み出すためのコードを含むプレイバック用2次元コードを作成するステップと、2次元コードスキャナを用いてプレイバック用2次元コードをスキャンしたときに、プレイバックファイルを読み出してデータ処理部に対して測定のための設定を行うステップとを備える。【選択図】図1

9. 发明专利

JP2021168419A ワーク分割装置及びワーク分割方法审中-公开
公开(公告)号：JP2021168419A
公开(公告)日：2021-10-21
申请号：JP2021118776
申请日：2021-07-19
申请人：株式会社東京精密
发明人：清水翼
IPC分类号： H01L21/301
摘要：【課題】チップサイズが小チップの場合に生じる分割予定ラインの未分割問題を解消することができるワーク分割装置及びワーク分割方法を提供する。【解決手段】ワーク分割装置は、ダイシングテープの裏面を押圧してダイシングテープを拡張させるエキスパンドリングと、エキスパンドリングの外径よりも大きい開口部を有するリング状に形成され、エキスパンドリングによるダイシングテープの拡張の際にダイシングテープが当接される拡張規制リングと、を備える。ダイシングテープは、第1方向のバネ定数と、第1方向と直交する第2方向のバネ定数とが異なる異方性を有しており、第1方向のバネ定数が第2方向のバネ定数よりも小さいものであり、拡張規制リングの開口部の開口形状は、第1方向を短径とし、第2方向を長径とする楕円形状である。【選択図】図10

10. 发明专利

JP2021158380A プローバおよびウェーハチャック审中-公开
公开(公告)号：JP2021158380A
公开(公告)日：2021-10-07
申请号：JP2021104954
申请日：2021-06-24
申请人：株式会社東京精密
发明人：西田智哉 , 元山崇 , 高橋武孝 , 田中渉 , 石本隆
IPC分类号： H01L21/683 , B65G49/07 , H01L21/66
摘要：【課題】反ったウェーハを矯正してチャックに吸着し、プロービングを可能にするプローバおよびウェーハチャックを提供する。【解決手段】まず、反ったウェーハWの反りの中心を、真空経路23から吸着溝19に供給される負圧により吸着する。次に、ウェーハWの反りの中心から外側に向かって、真空経路23から吸着溝19に供給される負圧により吸着する。次に、ウェーハWのサイズに応じて、12インチ用ベルヌーイポート穴41または8インチ用ベルヌーイポート穴42に正圧を供給し、ウェーハWの外側でベルヌーイ効果を生じさせることによって、ウェーハWの外側の反りを矯正する。最後に、12インチ用ベルヌーイポート穴41または8インチ用ベルヌーイポート穴42への正圧供給を停止し、ウェーハWの外側を吸着溝19に吸着させる。【選択図】図5

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