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    • 6. 发明专利
    • 電漿室的電極之製造方法
    • 等离子室的电极之制造方法
    • TW480901B
    • 2002-03-21
    • TW088115814
    • 1999-09-14
    • 李正基
    • 李正基
    • H05H
    • 本案揭露的是一種用於製造電漿室之電極的方法。根據該方法,在面對一個鑽孔盤處提供一個圓形的矽基材,該鑽孔盤具有數個由其一個表面處所凸出的尖端。之後,提供一個包含有數個研磨微粒的研磨物質在圓形矽基材和鑽孔盤上。其後,將超音波應用在該鑽孔盤上以震動鑽孔盤的尖端。在鑽孔盤的尖端之震動期間當中,數個研磨徽粗碰撞該圓形矽盤,而藉此於該圓形矽盤上形成了數個細微的貫穿孔洞。
    • 本案揭露的是一种用于制造等离子室之电极的方法。根据该方法,在面对一个钻孔盘处提供一个圆形的硅基材,该钻孔盘具有数个由其一个表面处所凸出的尖端。之后,提供一个包含有数个研磨微粒的研磨物质在圆形硅基材和钻孔盘上。其后,将超音波应用在该钻孔盘上以震动钻孔盘的尖端。在钻孔盘的尖端之震动期间当中,数个研磨徽粗碰撞该圆形硅盘,而借此于该圆形硅盘上形成了数个细微的贯穿孔洞。