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1. 发明专利

TWI232896B 被處理物之表面處理方法及其處理裝置 SURFACE TREATING METHOD OF OBJECT TO BE TREATED AND TREATMENT APPARATUS THEREOF 失效
简体标题：被处理物之表面处理方法及其处理设备 SURFACE TREATING METHOD OF OBJECT TO BE TREATED AND TREATMENT APPARATUS THEREOF
公开(公告)号：TWI232896B
公开(公告)日：2005-05-21
申请号：TW091133045
申请日：2002-11-11
申请人：吉田英夫 YOSHIDA HIDEO , 旭工程股份有限公司 ASAHI ENGINEERING CO., LTD.
发明人：吉田英夫 YOSHIDA HIDEO , 宮田清藏 MIYATA SEIZO , 曾根正人 SONE MASATO , 佐藤信義 SATO NOBUYOSHI
IPC分类号： C25D
CPC分类号： B08B3/14 , C25D5/00 , C25D5/08 , C25D17/00 , C25D21/04 , H01L21/02052 , H01L21/2885 , H01L21/32134
摘要：本發明之被處理物之表面處理方法及處理裝置，能夠適用於例如被處理物的電氣化學處理，避免被處理物和空氣接觸，使得被處理表面能高度精確並且平均的活性化，獲得金屬離子之良好析出，同時，能合理地進行表面處理流體和處理液體的供應排除，有效加以利用並且防止排除於系統外，實現合理化的系統並且提昇生產性及量產化，同時能合理並且安全地進行電氣化學處理作業，而且能減少設備體積使得費用降低及便於維修。
本發明之被處理物之表面處理方法係將表面處理流體導入於可容納被處理物的反應槽(4)，在前述被處理物的表面處理後，將前述表面處理流體導入分離槽(14)，使得污染物分離後的表面處理流體循環於上述反應槽(4)。
前述被處理物的表面處理時，將包含前述反應槽(4)的表面流體循環途徑連通，而使得前述表面處理流體始終能循環於該循環途徑。
简体摘要：本发明之被处理物之表面处理方法及处理设备，能够适用于例如被处理物的电气化学处理，避免被处理物和空气接触，使得被处理表面能高度精确并且平均的活性化，获得金属离子之良好析出，同时，能合理地进行表面处理流体和处理液体的供应排除，有效加以利用并且防止排除于系统外，实现合理化的系统并且提升生产性及量产化，同时能合理并且安全地进行电气化学处理作业，而且能减少设备体积使得费用降低及便于维修。本发明之被处理物之表面处理方法系将表面处理流体导入于可容纳被处理物的反应槽(4)，在前述被处理物的表面处理后，将前述表面处理流体导入分离槽(14)，使得污染物分离后的表面处理流体循环于上述反应槽(4)。前述被处理物的表面处理时，将包含前述反应槽(4)的表面流体循环途径连通，而使得前述表面处理流体始终能循环于该循环途径。

2. 发明专利

TW200300464A 被處理物之表面處理方法及其處理裝置失效
简体标题：被处理物之表面处理方法及其处理设备
公开(公告)号：TW200300464A
公开(公告)日：2003-06-01
申请号：TW091133045
申请日：2002-11-11
申请人：吉田英夫 , 旭工程股份有限公司 ASAHI ENGINEERING CO., LTD.
发明人：吉田英夫 , 宮田清藏 MIYATA SEIZO , 曾根正人 , 佐藤信義
IPC分类号： C25D
CPC分类号： B08B3/14 , C25D5/00 , C25D5/08 , C25D17/00 , C25D21/04 , H01L21/02052 , H01L21/2885 , H01L21/32134
摘要：本發明之被處理物之表面處理方法及處理裝置，能夠適用於例如被處理物的電氣化學處理，避免被處理物和空氣接觸，使得被處理表面能高度精確並且平均的活性化，獲得金屬離子之良好析出，同時，能合理地進行表面處理流體和處理液體的供應排除，有效加以利用並且防止排除於系統外，實現合理化的系統並且提昇生產性及量產化，同時能合理並且安全地進行電氣化學處理作業，而且能減少設備體積使得費用降低及便於維修。本發明之被處理物之表面處理方法係將表面處理流體導入於可容納被處理物的反應槽(4)，在前述被處理物的表面處理後，將前述表面處理流體導入分離槽(14)，使得污染物分離後的表面處理流體循環於上述反應槽(4)。前述被處理物的表面處理時，將包含前述反應槽(4)的表面流體循環途徑連通，而使得前述表面處理流體始終能循環於該循環途徑。
简体摘要：本发明之被处理物之表面处理方法及处理设备，能够适用于例如被处理物的电气化学处理，避免被处理物和空气接触，使得被处理表面能高度精确并且平均的活性化，获得金属离子之良好析出，同时，能合理地进行表面处理流体和处理液体的供应排除，有效加以利用并且防止排除于系统外，实现合理化的系统并且提升生产性及量产化，同时能合理并且安全地进行电气化学处理作业，而且能减少设备体积使得费用降低及便于维修。本发明之被处理物之表面处理方法系将表面处理流体导入于可容纳被处理物的反应槽(4)，在前述被处理物的表面处理后，将前述表面处理流体导入分离槽(14)，使得污染物分离后的表面处理流体循环于上述反应槽(4)。前述被处理物的表面处理时，将包含前述反应槽(4)的表面流体循环途径连通，而使得前述表面处理流体始终能循环于该循环途径。

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