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1. 发明专利

JP2018138798A シール材审中-公开
公开(公告)号：JP2018138798A
公开(公告)日：2018-09-06
申请号：JP2017033303
申请日：2017-02-24
申请人：日本バルカー工業株式会社
发明人：辻和明 , 櫻井貴史
IPC分类号： H01L21/3065 , C23C16/44 , F16J15/16 , F16J15/3204
摘要：【課題】真空状態とする場合の脱気性を維持しつつ、プラズマガスを導入した際にはラジカルの通過を遮蔽することができるシール材を提供する。【解決手段】筒状または環状の本体部を有するシール材であって、前記本体部の軸方向の一方の縁部には、径方向外側に張り出すフランジ部が形成され、前記本体部の内周には、軸方向において前記フランジ部から遠ざかるほど径が狭まるように傾斜する傾斜面が形成され、前記傾斜面は、前記本体部の軸心に対する傾斜角度が10度以上60度以下となるように形成されている。【選択図】図2

6. 实用新型

JP3216619U 回転軸の軸封構造有权
公开(公告)号：JP3216619U
公开(公告)日：2018-06-07
申请号：JP2018001187
申请日：2018-03-30
申请人：日本バルカー工業株式会社
发明人：須川修司
IPC分类号： F16J15/24
摘要：【課題】回転軸に使用されるグランドパッキンの長寿命化を図ることができる回転軸の軸封構造を提供する。【解決手段】グランドパッキン2から流体の上流側に向かってグランドパッキン2に隣接する固定環収容ケーシング3と固定環A4と回転環5と固定環B6とパッキン引き上げケーシング7とをそれぞれ順に有し、固定環A4、回転環5および固定環B6をパッキン引き上げケーシング7に押圧するためのコイルスプリング8が固定環収容ケーシング3と固定環A4との間に配設され、固定環収容ケーシング3と固定環A4および固定環B6との間にそれぞれシールパッキン9が配設され、回転環5が固定環A4および固定環B6と摺動可能に回転軸1に固定され、グランドパッキン2と固定環収容ケーシング3と固定環A4と回転環5と固定環B6とがパッキン引き上げケーシング7とパッキン押え11とによって挟持されていることを特徴とする。【選択図】図1

10. 发明专利

JP2018081020A 振動センサーおよび振動検出システム审中-公开
公开(公告)号：JP2018081020A
公开(公告)日：2018-05-24
申请号：JP2016224094
申请日：2016-11-17
申请人：日本バルカー工業株式会社 , 学校法人関西大学
发明人：佐藤央隆 , 米田哲也 , 油谷康 , 田實佳郎
IPC分类号： H01L41/113 , H01L41/047 , H01L41/193 , H01L41/187 , H01L41/18 , G01H11/08
摘要：【課題】圧電出力に対する電源誘導ノイズの影響を軽減する。【解決手段】振動源(32)から振動を検出する振動センサー(2)であって、圧電素子(4)と、圧電素子(4)に生じる圧電出力を取り出す出力取出し部(6)とを備え、前記出力取出し部(6)は、前記圧電出力を導く導体(接続導体12、12−1)と、該導体を覆うシールド導体(16−1、16−2)を備え、出力取出し部(6)から取り出される圧電出力の電源誘導ノイズの影響を軽減する。【選択図】図1

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