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    • 7. 发明专利
    • 除泡裝置及除泡方法 BUBBLE ELIMINATING DEVICE AND METHOD USING THE SAME
    • 除泡设备及除泡方法 BUBBLE ELIMINATING DEVICE AND METHOD USING THE SAME
    • TW201200223A
    • 2012-01-01
    • TW099120573
    • 2010-06-24
    • 兆星科技有限公司
    • 陳俊宏
    • B01DH01L
    • 本發明提供一種除泡裝置,其係用於半導體、光電產業或其它產業塗佈製程中會產生氣泡之化學液,包括:一殼體、至少二下隔板及至少一上隔板。該殼體相對的二側分別設有一輸入孔及一輸出孔,該殼體之頂部設有至少一回流孔,該輸入孔、該輸出孔及該回流孔係貫通該殼體之內、外部。該二下隔板設於殼體內之底壁,該上隔板設於殼體內之頂壁,該上隔板及該二下隔板交錯設置;藉此,可用以去除氣泡,回收利用化學液。本發明另提供一種除泡方法。
    • 本发明提供一种除泡设备,其系用于半导体、光电产业或其它产业涂布制程中会产生气泡之化学液,包括:一壳体、至少二下隔板及至少一上隔板。该壳体相对的二侧分别设有一输入孔及一输出孔,该壳体之顶部设有至少一回流孔,该输入孔、该输出孔及该回流孔系贯通该壳体之内、外部。该二下隔板设于壳体内之底壁,该上隔板设于壳体内之顶壁,该上隔板及该二下隔板交错设置;借此,可用以去除气泡,回收利用化学液。本发明另提供一种除泡方法。