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1. 发明公开

CN104183452A 具有自主管理功能的远程等离子体系统及其自主管理方法失效转让
公开(公告)号：CN104183452A
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：CN201310452821.4
申请日：2013-09-27
申请人：崔大奎
发明人：崔大奎
IPC分类号： H01J37/32 , H01J37/04 , H01J37/302
CPC分类号： H01J37/32935 , H01J37/32357 , H01J37/32917 , H01J37/3299 , H05H1/46 , H05H2001/463
摘要：本发明的具有自主管理功能的远程等离子体系统，从远程等离子体发生器中产生的等离子体供应给工艺腔室的过程中，可实时确认远程等离子体发生器的运行状态信息及在工艺腔室内的等离子体处理工艺进行状态信息。由此，流程管理人员可实时掌握远程等离子体系统的运行状态，在发生非正常运行的情况下，可立即采取应对措施。此外，流程管理人员可在需要维护系统时，实时掌握相关信息，以提高维护效率。

2. 发明授权

CN104183452B 具有自主管理功能的远程等离子体系统及其自主管理方法失效转让
公开(公告)号：CN104183452B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201310452821.4
申请日：2013-09-27
申请人：崔大奎
发明人：崔大奎
IPC分类号： H01J37/32 , H01J37/04 , H01J37/302
CPC分类号： H01J37/32935 , H01J37/32357 , H01J37/32917 , H01J37/3299 , H05H1/46 , H05H2001/463
摘要：本发明的具有自主管理功能的远程等离子体系统，从远程等离子体发生器中产生的等离子体供应给工艺腔室的过程中，可实时确认远程等离子体发生器的运行状态信息及在工艺腔室内的等离子体处理工艺进行状态信息。由此，流程管理人员可实时掌握远程等离子体系统的运行状态，在发生非正常运行的情况下，可立即采取应对措施。此外，流程管理人员可在需要维护系统时，实时掌握相关信息，以提高维护效率。

3. 发明专利

TW502264B 射頻匹配單元有权
简体标题：射频匹配单元
公开(公告)号：TW502264B
公开(公告)日：2002-09-11
申请号：TW090116372
申请日：2001-07-04
申请人：三星電子股份有限公司 , 崔大奎
发明人：閔泳敏 , 全相文 , 楊潤植 , 金鎮滿
IPC分类号： H01F
CPC分类号： H01J37/32082 , H01F2021/125 , H01J37/32183
摘要：一種利用一雷漿將一射頻產生器的阻抗與製造半導體元件所用之一射頻負載的阻抗相匹配之裝置係包含一可變電感構件，此可變電感構件係耦合至一可變電容器與一固定電容器且具有互相串聯電性耦合且相鄰之兩個電感器，這兩個電感器的其中至少一者為可移式配置而使得一個電感器的磁通量與另一電感器的磁通量產生干涉，藉以控制可變電感器的電感。若應用於一種電漿強化半導體晶圓處理系統，則可減少在射頻產生器與射頻負載之間達成射頻匹配所費的時間，且可延長該裝置的壽命。
简体摘要：一种利用一雷浆将一射频产生器的阻抗与制造半导体组件所用之一射频负载的阻抗相匹配之设备系包含一可变电感构件，此可变电感构件系耦合至一可变电容器与一固定电容器且具有互相串联电性耦合且相邻之两个电感器，这两个电感器的其中至少一者为可移式配置而使得一个电感器的磁通量与另一电感器的磁通量产生干涉，借以控制可变电感器的电感。若应用于一种等离子强化半导体晶圆处理系统，则可减少在射频产生器与射频负载之间达成射频匹配所费的时间，且可延长该设备的寿命。

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