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    • 4. 发明申请
    • 透明導電膜およびその製造方法、ならびにその製造に使用されるスパッタリングターゲット
    • 透明导电膜,其生产方法和用于生产的喷射目标
    • WO2007142043A1
    • 2007-12-13
    • PCT/JP2007/060615
    • 2007-05-24
    • 旭硝子株式会社小高 秀文光井 彰
    • 小高 秀文光井 彰
    • H01B5/14C04B35/457C23C14/34G02F1/1343H01B13/00C01G19/02
    • C01G19/00C23C14/086C23C14/3414G02F1/13439
    •  ガラスフリットの侵食に対して強い耐性を持ち、ガラスフリット接触した状態で焼成しても電気抵抗が増加することのない透明導電膜およびその製造方法を提供する。  酸化スズを主成分とする透明導電膜であって、前記透明導電膜は、タングステン、タンタル、ニオブ、モリブデンおよびビスマスからなる群から選択される少なくとも一つ以上の元素をドーパントとして含み、アンチモンおよびインジウムを実質的に含まず、 前記透明導電膜中にドーパントとして含まれる前記元素の総量をM A 、前記透明導電膜に含まれるスズ元素の量をSnとした場合に、下記式(1),(2)を満たすことを特徴とする透明導電膜。 0.8 < (Sn)/(Sn+M A ) < 1.0  ・・・(1) 0.01 < (M A )/(Sn+M A ) < 0.2 ・・・(2)
    • 一种透明导电膜,其具有高耐玻璃料腐蚀性,即使在与玻璃料接触的状态下燃烧时也不会增加电阻; 以及该膜的制造方法。 透明导电膜包括氧化锡作为主要成分,其特征在于透明导电膜含有选自钨,钽,铌,钼和铋作为掺杂剂的一种或多种元素,并且基本上不含锑 也不是铟。 其特征还在于,当透明导电膜中作为掺杂剂包含的元素的总量由M A A表示时,透明导电膜中含有的锡元素的量为 由Sn表示,该膜满足以下关系式(1)和(2)。 0.8 <(SN)/(SN + M A A)<1.0(1)0.01 <(M A A)/(Sn + M A A < )<0.2(2)