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1. 发明公开

CN118974413A 泵控制方法和设备审中-公开
公开(公告)号：CN118974413A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202380032465.2
申请日：2023-04-06
申请人：埃地沃兹有限公司
发明人： R·L·哈金 , C·S·N·姆比安吉 , A·格雷文 , J·A·海洛克 , 李剑
IPC分类号： F04D15/00 , F04D19/04 , F04D27/00
摘要：本发明的方面设计一种用于控制泵(P1)的泵控制单元(1)。所述泵(P1)具有泵驱动马达(2)、用于识别泵类型的泵类型识别器(5)和用于识别泵速度额定值的泵速度额定值识别器(6)。所述泵控制单元(1)包括：至少一个控制器(10)，所述至少一个控制器(10)被构造成控制用于为所述泵驱动马达(2)提供动力的逆变器；泵类型识别电路(11)和泵速度额定值识别电路(12)。所述泵类型识别电路(11)被构造成与所述泵类型识别器(5)进行通信以识别所述泵类型，所述泵类型识别电路(11)被构造成输出用于识别所述泵类型的泵类型识别信号(PUMP_ID_MON)。所述泵速度额定值识别电路(12)被构造成与所述泵速度额定值识别器(6)进行通信以识别所述泵速度额定值，所述泵类型识别电路(11)被构造成输出用于识别所述泵速度额定值的泵速度额定值识别信号(PUMP_SPEED_ID_MON)。所述控制器(10)具有交叉检查电路(13)，所述交叉检查电路(13)用于接收所述泵类型识别信号(PUMP_ID_MON)和所述泵速度额定值识别信号(PUMP_SPEED_ID_MON)。所述交叉检查电路(13)被构造成识别所识别的泵类型和所识别的泵速度额定值之间的错配。所述交叉检查电路(13)被构造成根据所述错配的识别来输出错配信号(ID_CROSS‑CHECK)以抑制所述泵的运行。本发明的方面还涉及一种泵(P1)和一种控制泵(P1)的方法。

2. 发明公开

CN118974406A 涡旋泵审中-公开
公开(公告)号：CN118974406A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202380031381.7
申请日：2023-03-30
申请人：埃地沃兹有限公司
发明人： A·E·K·霍尔布鲁克 , N·P·斯科菲尔德 , D·贝德维尔
IPC分类号： F04C18/02 , F04C27/00 , F04C29/00
摘要：公开一种非接触式涡旋泵(100)，其包括绕动涡旋盘(130)、固定涡旋盘(120)、联接到绕动涡旋盘的驱动轴(140)，其中该驱动轴可相对于固定涡旋盘在轴向方向上移动。该非接触式涡旋泵还包括：环形轴承(160b)，环形轴承(160b)围绕驱动轴延伸，用于支撑和促进驱动轴的旋转；以及隔膜(180)，隔膜(180)附接到该环形轴承以支撑该环形轴承，其中该隔膜在轴向方向上是柔性的，以允许环形轴承在轴向方向上移动，从而促进驱动轴相对于固定涡旋盘在轴向方向上的可移动性。

3. 发明公开

CN118613314A 分离器设备转子审中-实审
公开(公告)号：CN118613314A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202280089811.6
申请日：2022-11-22
申请人：埃地沃兹有限公司
发明人： M·R·奥尼尔 , I·D·斯通斯 , I·D·本泽瓦尔 , F·格雷
IPC分类号： B01D45/14
摘要：本发明涉及一种用于分离器设备的转子。所述转子具有旋转轴线并且包括：入口，所述入口可操作以接收外排流，环形裙板，所述环形裙板限定离心分离器，所述离心分离器可操作以分离所述外排流，所述离心分离器具有在第一方向上的气体出口和在第二方向上的废物出口。所述环形裙板的表面朝向所述转子的所述旋转轴线倾斜，使得在所述转子旋转期间，所述外排流中的非气态物质通过与所述表面接触而被朝向所述废物出口偏置。该发明还涉及一种包括这种转子的分离器设备、一种处理外排流的方法以及一种设计转子的方法。

4. 发明公开

CN118284518A 热交换器审中-实审
公开(公告)号：CN118284518A
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202280077602.X
申请日：2022-11-17
申请人：埃地沃兹有限公司
发明人： A·J·希里
IPC分类号： B33Y80/00
摘要：公开了一种热交换器。该热交换器包括：用于输送第一流体的第一组第一导管，第一导管具有三角形截面部分；以及用于输送第二流体的第二组第二导管，第二导管具有三角形截面部分，其中相邻的第一导管被居间的第二导管间隔开。这样，导管可以以空间有效的构造紧密地定位在一起，这有助于改善第一流体和第二流体之间的热交换，同时还提供了使用于构造热交换器的材料的量最小化的紧凑布置。

5. 发明公开

CN118234952A 涡轮分子泵叶片盘审中-实审
公开(公告)号：CN118234952A
公开(公告)日：2024-06-21
申请号：CN202280075040.5
申请日：2022-11-09
申请人：埃地沃兹有限公司
发明人： N·J·格兰特
IPC分类号： F04D19/04 , F04D29/32 , F04D29/54
摘要：一种涡轮分子泵叶片盘(400)，包括：中心毂(402)，其被构造成围绕轴线(412)旋转，所述轴线(412)限定轴向方向；以及一个或多个叶片(410)，其从所述中心毂(402)径向延伸；其中，所述一个或多个叶片(410)中的每一者具有如下截面(500)：所述截面在第一方向(508)上渐缩到第一点(510)，所述第一方向(508)平行于所述轴向方向；所述截面在第二方向(512)上渐缩到第二点(514)，所述第二方向(512)平行于所述轴向方向并且与所述第一方向(508)相反；并且所述截面是基本上平行四边形形状。

6. 发明公开

CN117795252A 入口组件审中-实审
公开(公告)号：CN117795252A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202280049680.9
申请日：2022-07-07
申请人：埃地沃兹有限公司
发明人： A·J·希里 , M·J·西尔伯斯坦
IPC分类号： F23G7/06 , F23D14/12 , F23D14/02 , B01D53/70
摘要：公开了一种入口组件、减排装置和方法。入口组件用于减排装置，减排装置用于处理来自半导体加工工具的排出流，入口组件包括：入口喷嘴，其被配置成将排出流输送到减排装置的燃烧室中；以及试剂喷嘴，其被配置成将试剂输送到减排装置的燃烧室中，试剂喷嘴相对于入口喷嘴同心地定位，试剂喷嘴被配置成在其周边周围的不同位置处以不同的量输送试剂。以这种方式，被供应到燃烧室以有助于排出气体流减排的试剂剂量可以在排出气体流周围的不同位置或部位处变化。这使得试剂的流量能够与从入口喷嘴排放到燃烧室中的排出流的流量相匹配，这提供了正确的试剂剂量以适合不同部位处的排出流，这提高了减排装置的破坏率效率，而不会导致试剂的过量供应。

7. 发明公开

CN117716128A 泵监测系统和方法审中-实审
公开(公告)号：CN117716128A
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202280036776.1
申请日：2022-05-19
申请人：埃地沃兹有限公司
发明人： M·西蒙兹 , A·J·帕蒂 , C·米勒斯
IPC分类号： F04B49/10 , F04D15/00 , F04C28/28 , F04B51/00
摘要：本发明的各方面涉及一种用于识别真空泵(3)中的故障状况的泵监测系统(1)。该泵监测系统(1)包括控制器(23)和用于检测声波的麦克风(37)。该控制器(23)被配置成从麦克风(37)接收表示由真空泵(3)产生的声波的音频信号(SAUD‑n)。该控制器(23)处理接收到的音频信号(SAUD‑n)，以生成音频信号(SAUD‑n)的频域表示。分析音频信号(SAUD‑n)的频域表示，以识别指示故障状况的至少一个故障状况频率分量(FFC‑n)。根据对该至少一个故障状况频率分量(FFC‑n)的识别，输出故障状况信号(SFLT‑n)，以识别所述故障状况。在另一实施例中，泵监测系统(1)包括用于检测振动的振动传感器(51)。本发明还涉及一种真空泵(3)；一种监测真空泵(3)的方法；以及一种非暂时性计算机可读介质。

8. 发明公开

CN117693391A 模块化消减设备审中-实审
公开(公告)号：CN117693391A
公开(公告)日：2024-03-12
申请号：CN202280049687.0
申请日：2022-07-07
申请人：埃地沃兹有限公司
发明人： A·J·希里 , D·F·巴尔茨 , M·J·西尔伯斯坦
IPC分类号： B01D53/70 , F23D14/12 , F23D14/02 , F23G7/06
摘要：公开了一种模块化消减设备和方法。该模块化消减设备用于消减来自半导体加工工具的流出物流，并且包括：壳体，其限定公共壳体腔室；多个燃烧腔室模块，其可定位在公共壳体腔室内，用于处置流出物流，每个燃烧腔室模块包含多孔套筒，多孔套筒在其内限定燃烧腔室。以这种方式，倍数个燃烧腔室可以设置在单个公共壳体内，其中的每个燃烧腔室可以被构造成处置特定的流出物流。因此，可以选择燃烧腔室的数量，以匹配预期来自任何特定加工工具的流出物流的不同类型和流量。这提供了一种易于缩放的架构以适应不同的流出物气体流类型和流量的需要，同时保持公共壳体，该公共壳体可以与上游和下游部件相接。

9. 发明公开

CN117642222A 减排设备审中-实审
公开(公告)号：CN117642222A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202280049674.3
申请日：2022-07-07
申请人：埃地沃兹有限公司
发明人： A·J·希里 , D·F·巴尔茨 , M·J·西尔伯斯坦
IPC分类号： B01D53/70 , F23D14/12 , F23D14/02 , F23G7/06
摘要：公开了减排设备和方法。减排设备用于减排来自半导体加工工具的废气流，且包括：燃烧室，由有孔套筒和与有孔套筒流体地联接的润湿套筒形成，有孔套筒限定燃烧室的上游部分，用于处理废气流，燃烧室的上游部分具有用于接收废气流的入口，润湿套筒限定燃烧室的下游部分，其中，有孔套筒配置成提供面向下游朝向燃烧室的下游部分的有孔轴向表面。以这种方式，有孔表面不仅面向内朝向燃烧室的上游部分，而且还面向下游朝向燃烧室的下游部分。这利于有孔套筒的表面上的燃烧，既朝向燃烧室的上游部分又朝向燃烧室的下游部分。这有助于维持有孔套筒的排放区域附近的温度，这有助于防止在该区域发生颗粒物质的凝结，且有助于防止可能导致桥接或堵塞的颗粒、粉末或冷凝物的积聚。

10. 发明公开

CN118974414A 电气馈通件、真空设备以及组装方法审中-公开
公开(公告)号：CN118974414A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202380024705.4
申请日：2023-03-01
申请人：埃地沃兹有限公司
发明人： J·A·海洛克
IPC分类号： F04D19/04 , F04D25/06 , F04D29/08 , F04D29/64
摘要：公开一种电气馈通件，其特别地用于真空泵，该电气馈通件包括具有两个或更多开口的壁元件，该壁元件优选地能连接到真空泵/真空设备或者是真空泵/真空设备的一部分，其中，接触元件延伸穿过开口中的每一者，该接触元件具有第一端部和相对第二端部，其中，各个密封元件设置在接触元件中的每一者与壁元件之间，使得开口被真空密封。

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