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    • 2. 发明申请
    • 表面保護フィルム
    • 表面保护膜
    • WO2007074778A1
    • 2007-07-05
    • PCT/JP2006/325793
    • 2006-12-25
    • 株式会社きもと梶谷 邦人今村 順一
    • 梶谷 邦人今村 順一
    • G03F1/14B32B27/00G03F7/20
    • B32B27/28B32B27/08B32B2307/412B32B2307/748B32B2457/08G03F7/11G03F7/2014
    • 本発明の表面保護フィルムは、透明高分子フィルムの一方の面に粘着層が設けられ、他方の面に表面保護層が設けられ、表面保護層が、離型性成分としてJIS R3257:1999における水との接触角が100度以上である縮合反応型シリコーン系樹脂を含み、バインダー成分であるJIS R3257:1999における水との接触角が90度以下である縮合反応型樹脂より形成する。好ましくは、前記JIS R3257:1999における水との接触角が90度以下である縮合反応型樹脂は、縮合反応型シリコーン系樹脂を含む。この表面保護フィルムは、フォトレジストに対する極めて高い離型性を持続することができる。
    • 一种表面保护膜,其包含透明聚合物膜,在其一侧形成的压敏粘合剂层和在另一侧上形成的表面保护层,其中所述表面保护层由包含 根据JIS R3257:1999测定的与水接触角的缩合反应型有机硅树脂为100°以上,以及根据JIS R3257:1999测定的与水接触角的缩合反应型树脂的粘合剂成分为90 °以下。 根据JIS R3257:1999测定的与水接触角为90°以上的缩合反应型树脂优选为缩合反应型有机硅树脂。 该表面保护膜可以保持非常高的光致抗蚀剂的脱模性。