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1. 发明申请

WO2012117646A1 光検査方法及びその装置审中-公开
标题翻译：光检查方法和光检查装置
公开(公告)号：WO2012117646A1
公开(公告)日：2012-09-07
申请号：PCT/JP2011/079558
申请日：2011-12-20
申请人：株式会社日立製作所 , 中平健治 , 本田敏文 , 中田俊彦
发明人：中平　健治 , 本田　敏文 , 中田　俊彦
IPC分类号： G01N21/956
CPC分类号： G01N21/88 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2021/8835
摘要：　光検査装置において、検出する光が微弱な場合に問題となる量子ノイズの影響を抑制するものであって、光検査装置を、試料に光を照射する光照射手段と、参照光を発射する参照光手段と、光照射手段により光が照射された試料からの透過光または散乱光または反射光と、参照光手段から発射された参照光とを干渉させて干渉光を生成する光干渉手段と、光干渉手段により生成した干渉光を検出する光検出手段と、光検出手段により干渉光を検出して得られた検出信号に基づいて欠陥の有無を識別する欠陥識別手段と、試料からの透過光または散乱光または反射光の状態または参照光手段から発射された参照光の状態または光干渉手段により生成した干渉光の状態のうち少なくとも一つを変換する光変換手段とを備えて構成した。
摘要翻译：该光检测装置抑制量子噪声的影响，当被检测光弱时，会产生问题。光检测装置设有：用光照射样品的光照射装置; 参考光装置，其辐射参考光; 光干涉装置通过借助于光照射装置从被照射的样品的透射光或散射光或反射光产生干涉光，并且从参考光装置辐射的参考光彼此干涉; 光检测装置，其检测由光干涉装置产生的干涉光; 缺陷识别装置，其基于通过光检测装置检测干涉光获得的检测信号来识别缺陷的存在/不存在; 以及光转换装置，其将至少一种状态（即，透射光的状态或来自样品的散射光或反射光）的状态转换为从参考光装置辐射的参考光的状态，以及通过光干涉装置产生的干涉光的状态。

2. 发明申请

WO2011068011A1 荷電粒子線装置およびその画質改善方法审中-公开
标题翻译：充电颗粒光束装置和图像质量改进方法
公开(公告)号：WO2011068011A1
公开(公告)日：2011-06-09
申请号：PCT/JP2010/069826
申请日：2010-11-08
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ , 柏潔 , 中平健治 , 宮本敦 , 宍戸千絵 , 数見秀之
发明人：柏　潔 , 中平　健治 , 宮本　敦 , 宍戸　千絵 , 数見　秀之
IPC分类号： H01L21/66 , G01N23/225 , H01J37/22 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/244 , H01J2237/24495 , H01J2237/2809 , H01J2237/2817 , H01L22/12
摘要：　複数の検出器からの検出信号をパターン配置に応じた適切な配分比を用いて合成して、多層レイヤにおける下層パターンのコントラストを向上する技術である。複数の検出器から得られた検出画像を用いて画質改善を図ることを可能とする荷電粒子線装置およびその画質改善方法において、配置場所の異なる各検出器の出力に対応する検出画像を用いて、１枚以上の出力画像を生成する方法を、設計データや検出画像から算出したパターン方向あるいはエッジ強度の情報等を用いて制御するものである。このように、複数の検出器を用いることで検出信号範囲を拡大し、設計データや検出画像から算出したパターン方向あるいはエッジ強度を用いて検出信号を合成することで、コントラスト等の画質の改善を図ることができる。
摘要翻译：为了提供一种配置，其中通过使用与图案布置相对应的适当分配比从多个检测器合成检测信号，在多层中的下层图案的对比度是一种带电粒子束装置，其实现使用从多个检测器获得的检测图像的图像质量改进及其图像质量改进方法，其中使用设计来使用与放置在不同位置的各个检测器的输出相对应的检测图像来生成一个或多个输出图像的方法数据，与从检测到的图像计算出的图案方向或边缘强度相关的信息等。因此，可以通过使用多个检测器来扩展检测的信号范围，并且可以通过使用设计数据或从检测到的图像计算的图案方向或边缘强度合成检测信号来提高诸如对比度的图像质量。

3. 发明申请

WO2008140043A1 超音波診断装置および超音波診断装置の画質改善方法审中-公开
标题翻译：超声波设备和用于改进超声波设备图像质量的方法
公开(公告)号：WO2008140043A1
公开(公告)日：2008-11-20
申请号：PCT/JP2008/058639
申请日：2008-05-09
申请人：株式会社日立メディコ , 中平健治 , 宮本敦
发明人：中平健治 , 宮本敦
IPC分类号： A61B8/00
CPC分类号： G01S7/52046 , A61B8/00 , G01S7/52026 , G06T5/002 , G06T5/10 , G06T2207/10132 , G06T2207/20016 , G06T2207/20064 , G06T2207/30048
摘要：　超音波画像に対して画質改善処理を施し、組織構造や病変部位の視認性向上を実現する。　少なくとも二つ以上の解像度レベルの各々に対して推定したノイズ量およびノイズ量推定の信頼度に基づいて補正ノイズ量を算出し、前記補正ノイズ量を用いて多重解像度分解処理により得られた分解係数に対して強度変換を行う。また、複数の分解係数に基づいて個々の分解係数の強度変換を行うことにより、高画質の画像を生成することを可能とする。さらに、撮像条件・画像の種類・撮像対象に応じて処理パラメータを切り替えることで、用途に応じた処理時間と画質の両立を可能とする。
摘要翻译：可以提高超声波装置的图像质量，并提高组织结构和病变的可见性。根据针对至少两个分辨率级别和噪声量估计的可靠性估计的噪声量，计算校正噪声量。对通过使用校正噪声量的多路复用分辨率分解处理获得的分解系数执行强度转换。此外，通过根据多个分解系数执行各个分解系数的强度转换，可以生成高质量的图像。此外，通过根据成像条件，图像类型和图像对象切换处理参数，可以同时实现适合于该目的的处理时间和图像质量。

4. 发明申请

WO2013046848A1 欠陥観察方法及び欠陥観察装置审中-公开
标题翻译：缺陷观察方法和缺陷观察装置
公开(公告)号：WO2013046848A1
公开(公告)日：2013-04-04
申请号：PCT/JP2012/067266
申请日：2012-07-06
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ , 嶺川陽平 , 中平健治 , 原田実 , 平井大博 , 中垣亮
发明人：嶺川　陽平 , 中平　健治 , 原田　実 , 平井　大博 , 中垣　亮
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G06T7/0004 , G06T7/001 , G06T2207/10061 , G06T2207/20016 , G06T2207/30148
摘要：　複数の画像取得条件から選択した任意の画像取得条件を用いて検査対象である試料の表面を撮像して欠陥画像を取得する画像取得工程と、前記画像取得工程にて取得した欠陥画像を処理して、該試料の表面上の欠陥位置を算出する欠陥位置算出工程と、前記欠陥位置算出工程にて算出した欠陥位置の確からしさである欠陥検出確度を求める欠陥検出確度算出工程と、前記欠陥検出確度算出工程にて求めた欠陥検出確度が予め定めた条件を満たすかどうかを判定する終了判定工程と、を備え、前記終了判定工程にて該条件を満たすと判断するまで、前記複数の画像取得条件から画像取得条件を選択し直し、前記画像取得工程と前記欠陥位置算出工程と前記欠陥検出確度算出工程と前記終了判定工程とを繰り返すことを特徴とする欠陥観察方法である。
摘要翻译：一种缺陷观察方法，其特征在于，包括：图像获取步骤，用于对要检查的样本的表面进行成像，并且使用从多个图像获取条件中选择的任意图像获取条件获取缺陷图像; 缺陷位置计算步骤，用于处理在图像获取步骤中获取的缺陷图像，并计算样本表面上缺陷的位置; 缺陷检测精度计算步骤，用于获得缺陷检测精度，该缺陷检测精度是在缺陷位置计算步骤中计算的缺陷位置的精度的度量; 以及结束评估步骤，用于评估在缺陷检测精度计算步骤中获得的缺陷检测精度是否满足预先定义的条件; 从多个图像获取条件继续重新选择图像获取条件，重复图像获取步骤，缺陷位置计算步骤，缺陷检测精度计算步骤和结束评估步骤，直到确定满足条件的最终评估步骤。

5. 发明申请

WO2009118840A1 映像出力装置、映像表示装置、及び映像表示システム审中-公开
标题翻译：视频输出设备，视频显示设备，视频显示系统
公开(公告)号：WO2009118840A1
公开(公告)日：2009-10-01
申请号：PCT/JP2008/055717
申请日：2008-03-26
申请人：パイオニア株式会社 , 大平健治
发明人：大平健治
IPC分类号： H04N5/44
CPC分类号： H04N7/0112 , H04N5/765 , H04N5/91 , H04N7/012 , H04N9/7921 , H04N21/436 , H04N21/43632 , H04N21/440263
摘要：　映像出力装置は、ＨＤＭＩインターフェースで接続された映像表示装置との間で送受信可能な最大の映像出力フォーマットＰ１を決定する映像フォーマット決定手段と、最大の映像出力フォーマットＰ１で、映像データを映像表示装置に出力中に、最大の映像出力フォーマットＰ１と異なる映像出力フォーマットＰ２に変更する指示を受けた場合には、異なる映像出力フォーマットＰ２の映像データを最大の映像出力フォーマットＰ１のフレーム上に再配置する映像変換手段と、最大の映像出力フォーマットＰ１で、映像変換手段により再配置された映像データｄ１、及び異なる映像出力フォーマットＰ２に関する情報ｄ２を、映像表示装置に出力する映像出力手段と、を有する。
摘要翻译：视频输出装置包括视频格式确定装置，视频转换装置和视频输出装置。视频格式确定装置决定可以通过HDMI接口在视频输出装置和连接到视频输出装置的视频显示装置之间发送和接收的最大视频输出格式P1。当视频数据以最大视频输出格式（P1）输出到视频显示装置时，接收到将视频输出格式改变为与最大视频输出格式（P1）不同的视频输出格式（P2）的命令时，视频转换装置以最大视频输出格式（P1）的帧重新排列视频输出格式（P2）中的视频数据。视频输出装置将视频转换装置重新排列的视频数据（d1）和关于最大视频输出格式（P1）的视频输出格式（P2）的信息（d2）输出到视频显示装置。

6. 发明申请

WO2006118355A1 弾性紐状体への接着剤塗布方法および弾性紐状体への接着剤塗布装置审中-公开
标题翻译：用于涂布粘合剂以涂覆弹性状态材料的方法和装置
公开(公告)号：WO2006118355A1
公开(公告)日：2006-11-09
申请号：PCT/JP2006/309520
申请日：2006-04-27
申请人：株式会社サンツール , オペロンテックス株式会社 , 日高昇二 , 垂見成基 , 貴田孝 , 山住英二 , 武内文男 , 丸山哲夫 , 高平健治 , 柴田高利
发明人：日高昇二 , 垂見成基 , 貴田孝 , 山住英二 , 武内文男 , 丸山哲夫 , 高平健治 , 柴田高利
IPC分类号： B05D7/24 , B05C5/02 , B05D1/26 , B05D7/02 , D06H3/00
CPC分类号： A61F13/15593 , B05C5/0225 , B05C5/0241 , B05C5/027 , D06B3/045
摘要：コータ塗布ヘッドのスリット溝では、弾性紐状体の結び目を、弾性紐状体の走行ラインより自動的にジャンプさせることで、塗布作業を休止することなく、連続塗布作業を可能とすること。コータ塗布ヘッドを走行中の弾性紐状体について、走行中の弾性紐状体に存在する結び目を検知し、結び目の検知にもとづき、本来の走行ラインより浮き上がらせてスリット溝を回避して通過させ、スリット溝を回避したのち、本来の走行ラインに戻して連続走行させてスリット溝について弾性紐状体の結び目をジャンプ通過させる。走行中の弾性紐状体に存在する結び目に対する検知手段と、コータコータ塗布ヘッドのスリット溝を回避して通過させるための、ジャンプ誘導手段とを設ける。
摘要翻译：一种用于将粘合剂施加到弹性线状材料上的方法和装置，所述弹性绳状材料能够通过自动地将弹性线状材料的结从用于缝隙处的材料的运行线自动跳开而停止施加操作凹槽在涂布机应用头。检测在涂布机涂布头上运行的弹性绳状材料的结，并且基于结的检测，结从原始行进线上升，使得其能够在避开狭缝槽的同时通过。结后避免缝槽，返回原来的行驶线，连续运行。该装置包括用于运行中的弹性绳状材料的结的检测装置和用于在结束施涂头的同时避免缝隙的同时通过结的跳转引导装置。

7. 发明申请

WO2012140874A1 荷電粒子顕微鏡装置および画像撮像方法审中-公开
标题翻译：充电颗粒显微镜装置和图像捕获方法
公开(公告)号：WO2012140874A1
公开(公告)日：2012-10-18
申请号：PCT/JP2012/002498
申请日：2012-04-11
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ , 中平健治 , 宮本敦
发明人：中平　健治 , 宮本　敦
IPC分类号： H01J37/22 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/26 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/221 , H01J2237/24495 , H01J2237/2809
摘要：　多層レイヤにおける下層領域やホールパターンの穴底など，試料から十分な信号量が得られにくい領域に対しても高画質である画像を撮像する。　荷電粒子顕微鏡装置を用いた試料の画像撮像方法であって，前記荷電粒子顕微鏡装置の検出器のゲインを第一のゲイン値に設定して前記試料に対して荷電粒子ビームの走査を行い，第一の画像を取得する第一画像取得ステップと，前記検出器のゲインを前記第一のゲイン値とは異なる第二のゲイン値に設定して前記試料に対して荷電粒子ビームの走査を行い，第二の画像を取得する第二画像取得ステップと，前記第一のゲイン値と前記第二のゲイン値を用いて，前記第一の画像と前記第二の画像を合成する画像合成ステップと、を有することを特徴とする画像撮像方法である。
摘要翻译：为了即使在难以从试样获得足够量的信号的区域（例如，多层结构中的下层区域或孔的基底）也捕获高质量的图像在孔图案中，使用带电粒子显微镜装置的标本图像捕获方法的特征在于包括：第一图像获取步骤，其中将带电粒子显微镜中的检测器的增益设置为第一增益值，带电粒子束扫描在样本上进行，得到第一图像; 第二图像获取步骤，其中将检测器的增益设置为与第一增益值不同的第二增益值，对样本进行带电粒子束扫描，并获得第二图像; 以及其中使用第一增益值和第二增益值并且组合第一图像和第二图像的图像组合步骤。

8. 发明申请

WO2012008217A1 超音波画像の画像復元方法およびその装置並びに超音波診断装置审中-公开
标题翻译：超声图像重建方法，其设备及其超声诊断装置
公开(公告)号：WO2012008217A1
公开(公告)日：2012-01-19
申请号：PCT/JP2011/061436
申请日：2011-05-18
申请人：株式会社日立メディコ , 上瀧剛 , 宮本敦 , 中平健治
发明人：上瀧　剛 , 宮本　敦 , 中平　健治
IPC分类号： A61B8/00
CPC分类号： A61B8/5246 , A61B8/14 , A61B8/461 , A61B8/462 , A61B8/5207 , A61B8/54 , G06T3/4053 , G06T2207/10016 , G06T2207/10132 , G06T2207/30004
摘要：超音波診断装置においてフレームレートを維持しつつ高分解能な超音波画像を取得するために、時系列に沿って撮像した複数フレームの超音波画像と位置ずれ量を基に画像復元処理を行い高分解能の超音波画像を生成する、または，超音波プローブを制御してフレーム毎にスキャン方位，あるいはスキャン焦点距離を変化させて取得した複数フレームの超音波画像を基に画像復元処理を行い高分解能の超音波画像を生成するようにした。
摘要翻译：为了在超声诊断装置中保持帧率的同时获取高分辨率超声图像，所公开的方法通过基于以时间序列获取的多个超声图像帧和位置偏移的大小进行图像重建来形成高分辨率超声图像，或者通过基于通过控制超声波探头获取的多个超声图像帧和改变每个帧的扫描方向或扫描焦点距离执行超声图像重建来形成高分辨率超声图像。

9. 发明申请

WO2011114644A1 走査荷電粒子顕微鏡を用いた画像生成方法及び装置、並びに試料の観察方法及び観察装置审中-公开
标题翻译：使用扫描充电颗粒显微镜，样品观察方法和观察装置的图像生成方法和装置
公开(公告)号：WO2011114644A1
公开(公告)日：2011-09-22
申请号：PCT/JP2011/001275
申请日：2011-03-04
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ , 上瀧剛 , 宮本敦 , 中平健治 , 広井高志
发明人：上瀧　剛 , 宮本　敦 , 中平　健治 , 広井　高志
IPC分类号： G01B15/04 , G01N23/225
CPC分类号： G01B15/04 , H01J37/28 , H01J2237/221 , H01J2237/226 , H01J2237/24578 , H01J2237/2811 , H01J2237/2817 , H01L22/12
摘要：　ＳＥＭを用いた半導体パターンの画像の取得に関して、ＳＥＭの撮像に伴う電子線照射による試料へのダメージを抑えつつ、高分解能なＳＥＭ画像を取得することである。　電子線の照射エネルギーを抑えて撮像した低分解能なＳＥＭ画像から形状が類似するパターンを持つ領域（類似領域）を複数抽出し、複数の前記領域の画像データから画像復元処理により一枚の高分解能な前記パターンの画像を生成することを特徴とする。また、設計データを用いて前記類似領域および画像復元処理が実行可能となるＳＥＭの撮像位置および撮像範囲を決定することを特徴とする。
摘要翻译：公开了一种图像产生方法和装置，使得通过使用SEM照射电子束相对于半导体图案的图像拾取的结果，获得高分辨率SEM图像，同时抑制由SEM照射对样品造成的损伤。从抑制电子束的照射能量的同时拾取的低分辨率SEM图像中提取具有相似形状的图案的多个域（类似的域），从而从图像生成图案的单个高分辨率图像通过图像恢复处理在多个域中的数据。此外，使用设计数据确定允许执行图像恢复处理的类似域以及SEM成像位置和成像范围。

10. 发明申请

WO2011074183A1 欠陥観察方法及び欠陥観察装置审中-公开
标题翻译：缺陷观察方法和缺陷观察装置
公开(公告)号：WO2011074183A1
公开(公告)日：2011-06-23
申请号：PCT/JP2010/006784
申请日：2010-11-19
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ , 嶺川陽平 , 中垣亮 , 中平健治 , 平井大博 , 北橋勝弘
发明人：嶺川　陽平 , 中垣　亮 , 中平　健治 , 平井　大博 , 北橋　勝弘
IPC分类号： G01N23/225 , G01N21/956 , G06T1/00 , H01L21/027
CPC分类号： H01J37/26 , G01N23/22 , G01N2223/421 , G01N2223/6116 , G01N2223/6466 , G06T7/0004 , G06T2200/24 , G06T2207/10061 , G06T2207/20081 , G06T2207/30148
摘要：　教示欠陥および教示欠陥の画像処理による理想出力を入力し、欠陥種の分類に必要な画像処理パラメタの設定作業を容易かつ高速に行うことができる欠陥観察装置を提供する。　欠陥観察装置において、教示欠陥の情報、および教示欠陥の理想出力の情報を入力し、決定された画像処理パラメタセットによる処理結果を表示する入出力部１２３、全画像処理パラメタセットの中から全画像処理パラメタセットの総数よりも少ない数の画像処理パラメタセットを選択し、入力した欠陥画像について選択された画像処理パラメタセットによる画像処理結果を算出し、選択された画像処理パラメタセットについて一致度を算出し、選択された画像処理パラメタセットに対する一致度の分布から全画像処理パラメタセットにおける指標値の分布を推定し、全画像処理パラメタセットの中から高い一致度となる画像処理パラメタセットを決定する自動決定部１２４を備えた。
摘要翻译：提供了一种缺陷观察装置，其输入基于训练缺陷的图像处理的训练缺陷和理想输出，并且其可以容易且快速地设置缺陷类型的分类所需的图像处理参数。缺陷观察装置包括：输入/输出单元，其输入训练缺陷信息和关于训练缺陷的理想输出的信息，并且显示基于确定的图像处理参数集合的处理结果; 以及自动判定单元，其从所有图像处理参数组中选择比所有图像处理参数组的总数少的图像处理参数集合，计算基于所述图像处理参数集合的图像处理结果，对已经输入的缺陷图像选择的图像处理参数集，计算所选择的图像处理参数集合的一致程度，从所有图像处理参数集中的指标值的分布估计出所选择的图像处理参数集，并且从所有图像处理参数组中确定具有高度一致性的图像处理参数集。

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