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    • 1. 发明专利
    • 基板に照射するための動作方法および装置
    • 用于照射基板操作的方法和装置
    • JP2016522581A
    • 2016-07-28
    • JP2016517232
    • 2014-05-26
    • ヘレーウス ノーブルライト ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングHeraeus Noblelight GmbHヘレーウス ノーブルライト ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングHeraeus Noblelight GmbH
    • ヴェーバー ユルゲンヴェーバー ユルゲンリノフ スヴェンリノフ スヴェンヴァイス オリヴァーヴァイス オリヴァー
    • H05K3/10B05D3/02
    • F26B3/30H01L21/67115
    • 赤外線を照射することにより基板を処理するための装置の公知の動作方法であって、前記装置は、複数の筒形の赤外線放射源をまとめた照射ユニットを有し、前記複数の赤外線放射源の長手軸は互いに平行に配置されており、前記動作方法は、(a)前記基板の達成すべき処理結果に依存して、総照射出力を設定するステップと、(b)それぞれの目標動作出力で前記赤外線放射源を動作させるステップとを有する、公知の動作方法。当該公知の動作方法を背景として、前記装置を新規の動作方式に簡単かつ迅速に転換することができ、かつ、当該動作を簡単かつ低コストで動作させることができる効率的な動作方法を実現するため、本発明では、(c)前記基板の達成すべき処理結果に依存して、目標放射スペクトルを設定するステップと、(d)前記複数の赤外線放射源の各目標動作出力が加算されることにより、前記目標放射スペクトルおよび総照射スペクトルになるように、当該複数の赤外線放射源の各目標動作出力を個別に設定するステップと、を提案する。(e)ただし、前記複数の赤外線放射源の構成は同一であり、前記総照射出力と設定された目標値との最大偏差は15%であることを前提とする。
    • 一种操作装置,通过使红外线照射处理衬底的已知方法,该装置具有一个汇总多个圆筒形的的红外光源的照明单元,所述多个红外线辐射源 纵向轴线平行地配置彼此,操作方法,这取决于所要达到上述基板,设置总的辐射输出的步骤的处理结果,(b)用于每个目标输出操作(a)中 以及操作所述红外辐射源,操作的公知的方法的步骤。 针对操作的公知的方法的背景下,该装置可以容易地和快速地转换为新的操作方案,并且实现能够以简单和低成本的操作操作的有效操作方法 因此,根据该处理结果的本发明中,(c)以在基底上,设定目标发光光谱的工序;(d)在所述多个红外线辐射源的每一个目标的操作输出相加来实现 通过,以使目标辐射光谱和总光谱照射提出单独设置多个红外线辐射源的相应的目标操作输出,。 (E)。然而,多个红外线辐射源的配置是相同的,设置为总辐射输出的目标值之间的最大偏差被假定为15%。