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1. 发明公开

KR20200140815A 석영유리도가니 및 그의 제조방법 审中-公开
公开(公告)号：KR20200140815A
公开(公告)日：2020-12-16
申请号：KR20207028140
申请日：2019-02-19
申请人： SHIN ETSU QUARTZ PRODUCTS CO LTD
发明人： BABA YUJI
IPC分类号： C30B15/10 , C03B20/00 , C30B29/06
摘要： 본발명은, 바닥부, 만곡부, 및직동부로이루어지는석영유리도가니로서, 기포를함유하는불투명석영유리로이루어지는외층과, 투명석영유리로이루어지는내층을갖고, 상기외층은, 동종의또는 2종이상의이종의원료가루로부터제작된것이며, 상기기포의함유밀도로구분되는 2개이상의부위를갖고, 상기외층에있어서의인접하는 2개의부위의기포함유밀도에대해서, 상기기포의함유밀도가큰 부위 a의기포함유밀도를 da(pcs/mm3), 상기기포의함유밀도가작은부위 b의기포함유밀도를 db(pcs/mm3)로했을때에, 상기인접하는 2개의부위에있어서의기포함유밀도의차 D=(da-db)/db가 10% 이상인석영유리도가니이다. 이에따라, 석영유리도가니의외층에있어서, 부위마다상이한기능을갖게할 수있는석영유리도가니가제공된다.

2. 发明公开

KR20200133187A 유동가능한 무기 그레인의 처리방법 및 이 방법의 수행에 적합한 로터리 튜브 审中-公开
公开(公告)号：KR20200133187A
公开(公告)日：2020-11-26
申请号：KR20200058681
申请日：2020-05-15
申请人： HERAEUS QUARZGLAS , SHIN ETSU QUARTZ PRODUCTS CO LTD
发明人： SOHN MATTHIAS
IPC分类号： C03B5/225 , F27B7/02 , F27B7/06
摘要： 유동가능한무기그레인의처리방법및 이방법의수행에적합한로터리튜브유동가능한무기그레인을처리하는공지된방법에있어서, 회전축에대하여회전하고분리부재에의해다수의처리구역으로분할된처리챔버를둘러싸는가열된로터리튜브가사용된다. 그레인은그레인유입구측에서처리챔버로공급되고그레인유출구측을향해그레인이송방향으로이송되며, 공정중에처리가스에노출된다. 그로부터, 로터리킬른에서유입가능한무기그레인, 특히, SiO2그레인을처리가스의적고효과적인소비방식으로, 신뢰성있고, 재현성있는열처리방법을가능하게하기위해, 사용된처리가스는종축에대하여회전하는가스안내튜브에의해반응구역외부로흡입되는것이제안된다.

3. 发明申请

WO2020259898A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES DREIDIMENSIONALEN OBJEKTES AUS GLAS UND DAFÜR GEEIGNETE GLASFASER 审中-公开
公开(公告)号：WO2020259898A1
公开(公告)日：2020-12-30
申请号：PCT/EP2020/062022
申请日：2020-04-30
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD
发明人： HÖNER, Miriam Sonja , HOFMANN, Achim
IPC分类号： C03C25/002 , B29C64/118 , B29C64/135 , C03B37/14 , C03C25/25 , C03C25/30 , C03C25/321 , C03C25/40 , B33Y10/00
摘要： Bekannte Verfahren zur Herstellung eines dreidimensionalen Objektes aus Glasumfassen das Umformen einer Glasfaser, wobei die mit einem Schutzmantel versehene Glasfaser kontinuierlich einer Heizquelle zugeführt, der Schutzmantel unter Einwirkung von Hitze entfernt und die Glasfaser erweicht wird. Um hiervon ausgehend die Herstellung von filigranen oder optisch möglichst verzerrungsfreien und transparenten Glas-Objekten erleichtern und insbesondere auch die Einstellung optischer und mechanischer Eigenschaften mit hoher räumlicher Auflösung zu ermöglichen, wird vorgeschlagen, dass die Glasfaser einen Schutzmantel mit einer Schichtdicke im Bereich von 10 nm bis 10 µm aufweist.

4. 发明申请

WO2015003966A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SPIEGELSUBSTRAT-ROHLINGS AUS TITAN-DOTIERTEM KIESELGLAS FÜR DIE EUV-LITHOGRAPHIE, SOWIE SYSTEM ZUR POSITIONSBESTIMMUNG VON DEFEKTEN IN EINEM ROHLING 审中-公开
标题翻译：用于生产镜基板BLANK钛掺杂的玻璃PEBBLES用于EUV光刻，AND SYSTEM用于确定缺陷的位置。在一个空白
公开(公告)号：WO2015003966A1
公开(公告)日：2015-01-15
申请号：PCT/EP2014/064036
申请日：2014-07-02
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD.
发明人： BECKER, Klaus
IPC分类号： G01N21/958 , B24B13/00 , G01N21/896
CPC分类号： B24B49/12 , B24B7/241 , B24B13/0018 , G01N21/8851 , G01N21/958 , G01N2021/8861 , G01N2021/8967 , G01N2201/06113
摘要： Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines Spiegelsubstrat- Rohlings aus Titan-dotiertem Kieselglas für die EUV-Lithographie mit einer Dicke von mindestens 40 Millimetern mit den folgenden Verfahrensschritten vorgeschlagen: • a) Planschleifen der Oberfläche des Rohlings • b) Ermittlung von Daten zu Defekten in einer Oberflächenschicht des Rohlings, wobei bl) Licht an einer Stelle der planen Oberfläche des Rohlings in einem vorbestimmten Einstrahlwinkel a kleiner 90° in den Rohling eindringt, b2) das Licht an einem Defekt im Rohling gestreut und b3) das Streulicht in einem Abstand x zur Eindringstelle an der Oberfläche des Rohlings von einem senkrecht darüber angeordneten Lichterfassungselement detektiert wird; • c) Bestimmung der Position des Defektes in der Oberflächenschicht anhand der beim Verfahrensschritt b) erhaltenen Daten • d) Teilweise oder vollständiges Entfernen der Oberflächenschicht unter Berücksichtigung der Positionsbestimmung gemäß Verfahrensschritt c) und unter Ausbildung des Spiegelsubstrat-Rohlings.
摘要翻译：它提出了一种用于产生从掺杂钛的石英玻璃一Spiegelsubstrat-空白的EUV光刻用厚度至少为40毫米，其包括以下步骤的方法：获取数据缺陷•一个）的空白•B的表面的研磨）该铸锭，其中BL）的光在所述坯件的平的表面的一个位置处进入的小于90°入射一个在空白的预定角度的表面层，b2）的光在一个距离x，以散射由于在空白中的缺陷和b3）中的散射光入侵在坯料的从垂直排列的光感测元件上的表面检测到的; •c）确定从在步骤b）获得的数据•d中的表面层中的缺陷的位置）所考虑的位置确定的部分或完全去除所述表面层的按照工艺步骤c）和以形成所述镜基板坯料。

5. 发明申请

WO2013131995A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG UND VERARBEITUNG EINER PASTÖSEN SIO2-MASSE, SOWIE DEREN VERWENDUNG 审中-公开
标题翻译：方法用于生产和糊状SIO2人群处理，其使用
公开(公告)号：WO2013131995A1
公开(公告)日：2013-09-12
申请号：PCT/EP2013/054573
申请日：2013-03-07
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD.
发明人： WEBER, Jürgen , TRAEGER, Norbert , SCHEICH, Gerrit , WERDECKER, Waltraud , SCHENK, Christian , PEEKHAUS, Joachim , MEYER-MERGET, Kerstin , PANKALLA, Sebastian
IPC分类号： C01B33/12 , C01B33/157 , C01B33/187
CPC分类号： C01B33/1417 , B05D5/005 , B05D2203/35 , B05D2601/22 , B82Y30/00 , C01B33/158 , C01P2004/64 , C03B19/066 , C03C3/076 , C03C8/02 , C03C17/25 , C03C2205/00 , C03C2217/213 , C03C2218/11 , C03C2218/30
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer pastösen SiO 2 -Masse unter Verwendung eines SiO 2 -Schlickers, das einfache Zwischenlager- und Transportbedingungen zulässt ohne dass dadurch die Verarbeitbarkeit des Schlickers zur pastösen SiO 2 -Masse beeinträchtigt wird. Erfindungsgemäß wird dazu vorgeschlagen, dass ein homogenisierter SiO 2 -Grundschlicker einem Trocknungsschritt unter Bildung einer SiO 2 -Trockenmasse unterzogen und anschließend mittels eines Wiederbefeuchtungsschrittes zu der pastösen SiO 2 -Masse weiterverarbeitet wird, wobei der Wiederbefeuchtungsschritt die Zugabe von Flüssigkeit auf die SiO 2 -Trockenmasse unter Ausbildung einer pastösen knetbaren SiO 2 -Masse mit einem Feststoffgehalt von mehr als 85 Gew.-% umfasst. Die Erfindung betrifft weiterhin die Verwendung einer pastösen SiO 2 -Masse als Reparaturmasse.
摘要翻译：本发明涉及一种用于生产使用的SiO 2料浆，其允许容易中间储存和运输条件，而不影响浆料的可加工性受到影响的糊状物质的SiO 2糊状物质的SiO 2。根据本发明，意味着经历干燥步骤一均匀化的SiO 2 - 基极浆料，形成的SiO 2的固体，然后由一个Wiederbefeuchtungsschrittes的手段糊状的SiO 2质量进一步处理时，Wiederbefeuchtungsschritt添加液体到SiO 2系干质量，以形成糊状具有.-超过85％（重量），其包括的固体含量的SiO 2捏合质量。本发明还涉及到使用糊状物质的SiO 2作为修复块。

6. 发明申请

WO2011039159A1 ROHLING AUS TITAN-DOTIERTEM, HOCHKIESELSÄUREHALTIGEM GLAS FÜR EIN SPIEGELSUBSTRAT FÜR DEN EINSATZ IN DER EUV-LITHOGRAPHIE UND VERFAHREN FÜR SEINE HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译： BRUTE钛掺杂的，高二氧化硅玻璃镜基底FOR USE IN EUV光刻AND METHOD FOR PRODUCTION
公开(公告)号：WO2011039159A1
公开(公告)日：2011-04-07
申请号：PCT/EP2010/064317
申请日：2010-09-28
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. , KUEHN, Bodo
发明人： KUEHN, Bodo
IPC分类号： C03B19/14 , C03B20/00 , C03C3/06
CPC分类号： C03B23/20 , C03B19/1453 , C03B32/00 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C2201/42 , G02B5/10 , G03F7/708 , Y10T428/22 , Y10T428/24612
摘要： Um ausgehend von einem bekannten Verfahren zur Herstellung eines Rohlings aus Titan-dotiertem, hochkieselsäurehaltigem Glas (Glas) für ein Spiegelsubstrat für den Einsatz in der EUV-Lithographie, das einen zu verspiegelnden und beim bestimmungsgemäßen Einsatz des Spiegelsubstrats als hochbelastete Zone spezifizierten Oberflächenbereich aufweist, der eine Außenkontur hat, einen Rohling bereit zu stellen, der kostengünstig herstellbar ist und der dennoch hohen Anforderungen bezüglich Homogenität, Blasen- und Schlierenfreiheit genügt, wird eine Verfahrensweise vorgeschlagen, die folgende Verfahrensschritte umfasst: (a) Erzeugen eines Frontkörpers aus Titan-dotiertem Glas hoher Qualität und mit Abmessungen, die die Außenkontur mit Übermaß umschließen, (b) Erzeugen eines zylinderförmigen Stützkörpers aus Titan-dotiertem Glas, (c) Verbinden von Frontkörper und Stützkörper unter Bildung eines Verbundkörpers, und (d) Bearbeitung des Verbundkörpers zum Spiegelsubstrat-Rohling, wobei das Erzeugen des Frontkörpers einen Homogenisierungsprozess umfasst, der ein Verdrillen eines durch Flammenhydrolyse einer siliziumhaltigen Verbindung erhaltenen stangenförmigen Ausgangskörpers zu einem Frontkörperrohling umfasst, und dass der Stützkörper als monolithischer Glasblock mit geringerer Homogenität als der Frontkörper ausgebildet ist.
摘要翻译：为了从用于制造由掺杂钛的高硅玻璃（玻璃），用于在EUV光刻中，它具有利用一个镜基板的空白公知的方法开始被mirrorized和打算使用的镜基板的指定为高负载区的表面积的外轮廓具有提供一种可以经济地和关于满足从条纹仍要求高的均匀性，膀胱和自由地制造，过程中提出，下面的处理步骤的空白：（a）形成的高掺杂钛的玻璃的前体质量和其与筛上，（b）中包围的外轮廓成形接合前体和支撑体上以形成复合体，而复合体的（d）中处理，以将镜基板ř钛掺杂玻璃的圆筒状支承体，（C）的尺寸 Ohling，其中所述前体的所述生成包括均质化处理，其包括加捻由含硅化合物棒状起始体的火焰水解反应前体坯而获得的信号，并且所述支撑体被形成为具有比前体的下部均匀性的单片玻璃块。

7. 发明申请

WO2010029147A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES QUARZGLASKÖRPERS 审中-公开
标题翻译：用于生产的石英玻璃体
公开(公告)号：WO2010029147A1
公开(公告)日：2010-03-18
申请号：PCT/EP2009/061803
申请日：2009-09-11
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. , WERDECKER, Waltraud , BAUER, Peter , SCHOETZ, Gerhard , LANGNER, Andreas , BRAEUER, Karsten
发明人： WERDECKER, Waltraud , BAUER, Peter , SCHOETZ, Gerhard , LANGNER, Andreas , BRAEUER, Karsten
IPC分类号： C03B32/00 , C03B37/012
CPC分类号： C03B37/01282 , C03B19/066 , C03B37/01291 , C03B2203/14 , C03B2203/42
摘要： Die Herstellung eines Quarzglaskörpers in einem Aufbau prozess, bei dem aus amorphen SiO2-Teilchen ein offenporiger Formkörper (5) mit zylinderförmiger Aussenseite gebildet wird, und einem Verdichtungsprozess, bei dem der Formkörper (5) zu dem Quarzglaskörper thermisch verdichtet wird, ist allgemein bekannt. Um dieses Verfahren hinsichtlich Produktivität und Kosteneffizienz zu optimieren, wird erf indungsgemäss vorgeschlagen, dass vor dem Verdichtungsprozess die zylinderförmige Aussenseite des Formkörpers (5) unter Belassung eines offenporigen Formkörper-Innenbereichs (6) mit einer gasdichten Versiegelungsschicht (7) versehen, und der mit der gasdichten Versiegelungsschicht (7) versehene offenporige Formkörper-Innenbereich (6) einer Konditionierungsbehandlung unterzogen wird.
摘要翻译：形成在无定形SiO 2颗粒的制造中的结构的石英玻璃体的过程的具有开孔的具有圆柱形外表面模制体（5），和一个压缩方法，其中所述成形体（5）热压缩到石英玻璃体，是众所周知的。为了在生产率和成本效率方面优化该过程中，提出ERFindungsgemäss提供所成型体的圆筒状的外侧面（5），同时留下一个开孔成型体内部区域（6）气密密封层（7）的压缩过程之前，并与设置有开孔的模制品调理治疗的内部区域（6）进行气密密封层（7）。

8. 发明申请

WO2009146992A1 METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING A CRUCIBLE OF QUARTZ GLASS 审中-公开
标题翻译：用于生产QUARTZ玻璃的可溶性的方法和装置
公开(公告)号：WO2009146992A1
公开(公告)日：2009-12-10
申请号：PCT/EP2009/055451
申请日：2009-05-06
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. , KAYSER, Thomas , LEHMANN, Walter , LAUDAHN, Hilmar
发明人： KAYSER, Thomas , LEHMANN, Walter , LAUDAHN, Hilmar
IPC分类号： C03B19/09
CPC分类号： C30B15/10 , C03B19/095 , C30B35/002
摘要： The invention starts from a method for producing a crucible of quartz glass in that SiO 2 inner layer granules are vitrified in a rotating melting mold (1), which is covered at least in part by a heat shield (2), in a light gas-containing atmosphere under the action of a plasma to obtain a transparent inner layer, at least part of the light gas being supplied to the melting mold (1) through a gas inlet (8,9) of the heat shield. In order to form an inner layer with a particularly low bubble content and with minimal efforts in terms of energy and material, it is proposed that in a layer-forming step preceding the vitrifying step, a granule layer (14) of the SiO 2 inner layer granules is formed on the inner wall, and wherein the plasma zone (13) and the heat shield (2) together with the gas inlet (8,9) are movable at least in a direction perpendicular to the rotation axis and are moved laterally in the direction of the granule layer (14) during the vitrifying step so as to vitrify the granule layer (14).
摘要翻译：本发明从石英玻璃坩埚的制造方法开始，其中SiO 2内层颗粒在至少部分由隔热罩（2）覆盖的旋转熔融模具（1）中进行玻璃化，在等离子体的作用下形成含气氛，以获得透明的内层，至少部分轻质气体通过隔热罩的气体入口（8,9）供应到熔化模具（1）。为了形成具有特别低的气泡含量并且在能量和材料方面的最小努力的内层，提出在玻璃化步骤之前的层形成步骤中，SiO 2内层的颗粒层（14）颗粒形成在内壁上，并且其中等离子体区域（13）和隔热罩（2）与气体入口（8,9）一起可以至少在垂直于旋转轴线的方向上移动并且横向移动在玻璃化步骤期间颗粒层（14）的方向以使颗粒层（14）玻璃化。

9. 发明申请

WO2008077807A1 QUARZGLAS-BAUTEIL MIT REFLEKTORSCHICHT SOWIE VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DESSELBEN 审中-公开
标题翻译：带有反射涂层和方法石英玻璃部件生产同样
公开(公告)号：WO2008077807A1
公开(公告)日：2008-07-03
申请号：PCT/EP2007/063874
申请日：2007-12-13
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. , WERDECKER, Waltraud , GERHARDT, Rolf , WEBER, Juergen
发明人： WERDECKER, Waltraud , GERHARDT, Rolf , WEBER, Juergen
IPC分类号： C03C17/25 , G02B5/02 , H01K1/32
CPC分类号： C03C17/25 , C03C2217/213 , C03C2217/24 , C03C2218/112 , G02B5/02 , H01J9/20 , H01J61/025 , H01J61/35 , H01K1/325 , H01K3/005 , Y10T428/26 , Y10T428/261 , Y10T428/265
摘要： Es sind Verfahren zur Herstellung eines Quarzglas-Bauteils mit Reflektorschicht bekannt, bei dem auf mindestens einem Teil der Oberfläche eines Substratkörpers aus Quarzglas eine als diffuser Reflektor wirkende Reflektorschicht aus Quarzglas erzeugt wird. Um hiervon ausgehend ein Verfahren anzugeben, das eine kostengünstige und reproduzierbare Herstellung gleichmäßiger SiO 2 -Reflektorschichten auf Quarzglas-Bauteilen ermöglicht, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass die Reflektorschicht durch thermisches Spritzen erzeugt wird, indem SiO 2 -Teilchen einemEnergieträger zugeführt, mittels diesem an-oder aufgeschmolzen und auf dem Substratkörper abgelagert werden. Bei einem nach dem Verfahren erhaltenen Quarzglas-Bauteil ist die SiO 2 -Reflektorschicht als durch thermisches Spritzen erzeugte und opak wirkende Schicht ausgebildet, die sich durch Rissfreiheit und Gleichmäßigkeit auszeichnet.
摘要翻译：有用于与反射体层，其中，作为漫反射器反射器层的力被由石英玻璃上形成的至少由石英玻璃构成的基板主体的表面的一部分制造的石英玻璃元件的方法。要指定此基础上的方法2 使得能够廉价且可重现的生产均匀的SiO _{的-Reflektorschichten在石英玻璃部件，本发明提出的是，反射器层是由热喷涂生产的，以SiO _{2 颗粒供给或熔化借助于此能量源和沉积在基板本体上。在由该方法的石英玻璃部件的SiO _{2 获得的一个被形成为通过热喷涂和不透明作用层产生的反射器层，其通过自由从裂纹和均匀性来区分。}}}

10. 发明申请

WO2006122904A2 METHOD FOR PRODUCING A TUBE OF QUARTZ GLASS BY ELONGATING A HOLLOW CYLINDER OF QUARTZ GLASS 审中-公开
标题翻译：通过开发QUARTZ玻璃的中空圆筒制造石墨玻璃管的方法
公开(公告)号：WO2006122904A2
公开(公告)日：2006-11-23
申请号：PCT/EP2006/062241
申请日：2006-05-11
申请人： HERAEUS TENEVO GMBH , SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. , BOGDAHN, Thomas
发明人： BOGDAHN, Thomas
IPC分类号： C03B37/012 , C03B23/047
CPC分类号： C03B37/01257 , C03B37/0124 , Y02P40/57
摘要： In a known method for producing a tube of quartz glass by elongating a hollow cylinder of quartz glass having an outer diameter AD, said cylinder is continuously supplied to a heating zone with a vertically oriented heating tube having an inner diameter d, with the proviso that the diameter ratio d/AD is set to a value ranging from 1.02 to 1.7. The hollow cylinder is softened therein zonewise, and a tubular strand is drawn off from the softened region and shortened to obtain the tube. Starting therefrom, in order to optimize the dimensional stability of the quartz glass tube obtained, it is suggested according to the invention that the heating zone should have a length L which is set such that the ratio L/d is smaller than 0.9..
摘要翻译：在通过延长具有外径AD的石英玻璃的中空圆筒来制造石英玻璃管的已知方法中，将所述圆筒连续地供给具有内径d的垂直取向的加热管的加热区，条件是将直径比d / AD设定为1.02〜1.7的范围。中空圆筒在其中被软化，并且将软管从软化区域中取出并缩短以获得管子。从此开始，为了优化所获得的石英玻璃管的尺寸稳定性，根据本发明提出，加热区应具有设定为L / d比小于0.9的长度L.

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