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    • 2. 发明专利
    • 負載埠 LOAD PORT
    • 负载端口 LOAD PORT
    • TW200601482A
    • 2006-01-01
    • TW093119461
    • 2004-06-30
    • 來易特製作所股份有限公司 RIGHT MFG, CO., LTD.
    • 吉村武彥 YOSHIMURA TAKEHIKO永田龍彥 NAGATA TATSUHIKO關優 SEKI MASARU長義陛 CHO YOSHINORI
    • H01LB65G
    • H01L21/67775H01L21/67772
    • 負載埠(100)具備載置晶圓搬送器(10)的載置台(101);具有略平行於晶圓搬送器(10)的晶圓(1)間的間隙(A),以使交換晶圓搬送器(10)的空氣用的淨化氣體(purgegas)流出及/或流入的噴嘴口(111)的噴嘴部(110);包含使噴嘴部(110)進出於內部具有基板處理裝置的無塵室的壁面(201)附近所形成的負載埠(100)的門開口部(202)的噴嘴驅動用馬達(166)等的驅動部;與容器開口部(12)氣密地連結,形成與晶圓搬送器(10)的內部空間連續的密閉空間(B)的密閉空間形成部(120);及依據表示晶圓搬送器(10)的空氣的淨化程度的氧濃度,以切換控制噴嘴部(110)的淨化氣體的流動的控制部(160)等。
    • 负载端口(100)具备载置晶圆搬送器(10)的载置台(101);具有略平行于晶圆搬送器(10)的晶圆(1)间的间隙(A),以使交换晶圆搬送器(10)的空气用的净化气体(purgegas)流出及/或流入的喷嘴口(111)的喷嘴部(110);包含使喷嘴部(110)进出于内部具有基板处理设备的无尘室的壁面(201)附近所形成的负载端口(100)的门开口部(202)的喷嘴驱动用马达(166)等的驱动部;与容器开口部(12)气密地链接,形成与晶圆搬送器(10)的内部空间连续的密闭空间(B)的密闭空间形成部(120);及依据表示晶圆搬送器(10)的空气的净化程度的氧浓度,以切换控制喷嘴部(110)的净化气体的流动的控制部(160)等。
    • 4. 发明专利
    • 連接裝置 CONNECTION DEVICE
    • 连接设备 CONNECTION DEVICE
    • TW200534418A
    • 2005-10-16
    • TW093109902
    • 2004-04-09
    • 來易特製作所股份有限公司 RIGHT MFG. CO., LTD.
    • 永田龍彥 TATSUHIKO NAGATA吉村武彥 YOSHIMURA TAKEHIKO
    • H01L
    • H01L21/67126H01L21/67017H01L21/67775
    • 本發明的連接裝置(100),係連接於設置於收容晶圓(1)的基晶圓載具(10)上,且具有供流入將晶圓載具(10)環境氣體進行取代之氣體的氣體流入口(32)的排淨口(30)上之裝置,具備有包含有如:基台(101)、形成於基台(101)上的連通口(102)、以及使氣體流入口(32)與連通口(102)相密接的密接機構;密接機構係由:設置於與排淨口(30)相對向的對向面(103)上,並配置於連通口(102)周緣的密封用環(105);形成於對向面(103)上的溝部(104);在連通於溝部(104)上的減壓用通路(107);以及接於減壓用通路(107)上,並將空間的空氣輸送往外部的真空泵等所構成;於使基台(101)與排淨口(30)相接觸的位置處,將由溝部(104)與氣體流入口(32)之周緣部(32A)所形成之空間的壓力減壓,俾使氣體流入口(32)與連通口(102)呈密接狀態。
    • 本发明的连接设备(100),系连接于设置于收容晶圆(1)的基晶圆载具(10)上,且具有供流入将晶圆载具(10)环境气体进行取代之气体的气体流入口(32)的排净口(30)上之设备,具备有包含有如:基台(101)、形成于基台(101)上的连通口(102)、以及使气体流入口(32)与连通口(102)相密接的密接机构;密接机构系由:设置于与排净口(30)相对向的对向面(103)上,并配置于连通口(102)周缘的密封用环(105);形成于对向面(103)上的沟部(104);在连通于沟部(104)上的减压用通路(107);以及接于减压用通路(107)上,并将空间的空气输送往外部的真空泵等所构成;于使基台(101)与排净口(30)相接触的位置处,将由沟部(104)与气体流入口(32)之周缘部(32A)所形成之空间的压力减压,俾使气体流入口(32)与连通口(102)呈密接状态。
    • 5. 发明专利
    • LID-DETACHABLE DEVICE FOR CARRYING CONTAINER
    • JP2002068362A
    • 2002-03-08
    • JP2000255223
    • 2000-08-25
    • RIGHT MFG CO LTD
    • NAGATA TATSUHIKO
    • B65B31/00B65D85/86B65G49/07H01L21/673H01L21/68
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To open and close all lid members of a variety of carrying containers of various makers, to satisfy an allowable deformation error that ensures a normal operation even if use conditions (temperature, humidity and use conditions) change, and to enable attachment/detachment without causing the carrying container to be struck against any members even under any use conditions. SOLUTION: The lid for an opening of the carrying container whose inside is kept highly clean is engaged with a door 13 of the opening 12 of a room which is kept highly clean. The lid-detachable device for the carrying container attaches/detaches the lid 13 while keeping peripheries of both the openings in firm contact with each other in order to maintain the high cleanness. The lid-detachable device has positioning pins 14a and 14b for positioning the lid 13, a fine adjustment mechanism 20 for finely adjusting the positions of the positioning pins 14a and 14b, and a position-keeping mechanism 40 for keeping the position of the lid 13 engaged by the positioning pins 14a and 14b.
    • 8. 发明公开
    • INSTRUMENT FOR MEASURING EYE ADJUSTING FUNCTION STATE
    • 用于测量眼睛调节功能状态的仪器
    • EP1645221A1
    • 2006-04-12
    • EP04735507.8
    • 2004-05-31
    • RIGHT MFG. Co. Ltd.
    • NAGATA, Tatsuhiko, RIGHT MFG, CO., LTD.AIZAWA, Eishi, RIGHT MFG, CO., LTD.NISHIDA, Tetsurou, RIGHT MFG, CO., LTD.
    • A61B3/09
    • A61B3/103A61B3/032A61B3/09
    • The present invention provides an eye accommodation function state measurement device capable of always obtaining accurate measurement results regardless of the cylinder power, measurement date, and the like, and enabling measurement under conditions the same as the previous measurement conditions. The eye accommodation function state measurement device includes a target projection section 62 which projects a target 62a onto a subject's eye 60, and a target moving mechanism which moves the position of the target 62a along the direction of the optical axis of the subject's eye 60, the eye accommodation function state measurement device disposing the target 62a at a plurality of positions by using the target moving mechanism, and measuring the eye accommodation function state of the subject's eye 60 at each position, the eye accommodation function state measurement device including a target position select section 67 which can select the initial position of the target 62a from a plurality of positions, and a target position correction section 68 which can correct the initial position of the target 62a to an arbitrary position. The target position select section 67 can select one of at least three kinds of power values including "spherical power", "spherical power + cylinder power / 2", and "spherical power + cylinder power". as the initial position of the target 62a.
    • 本发明提供一种眼睛容纳功能状态测量装置,其能够不管气缸功率,测量日期等而始终获得精确的测量结果,并且能够在与之前的测量条件相同的条件下进行测量。 眼睛容纳功能状态测量装置包括:将目标62a投影到被检眼60上的目标投影部62;以及使目标62a的位置沿被检眼60的光轴方向移动的目标移动机构, 眼睛容纳功能状态测量装置通过使用目标移动机构将目标62a布置在多​​个位置,并测量每个位置处的被检眼60的眼睛容纳功能状态,眼睛容纳功能状态测量装置包括目标位置 可从多个位置选择目标62a的初始位置的选择部分67以及可将目标62a的初始位置校正到任意位置的目标位置校正部分68。 目标位置选择部分67可以选择包括“球面光焦度”,“球面光焦度+柱面光焦度/ 2”和“球面光焦度+柱面光焦度”的至少三种光焦度值中的一种。 作为目标62a的初始位置。