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81. 发明专利

DE112018004250B4 Anordnung eines Substrats aus einem piezoelektrischen Material und eines Trägersubstrats und Verfahren zur Herstellung der Anordnung 未知
公开(公告)号：DE112018004250B4
公开(公告)日：2022-06-15
申请号：DE112018004250
申请日：2018-11-12
申请人： NGK INSULATORS LTD
发明人： HORI YUJI , YAMADERA TAKAHIRO , TAKAGAKI TATSURO
IPC分类号： H01L41/00 , B32B9/00 , C30B29/30 , C30B33/06 , H01L21/02 , H01L41/053 , H01L41/09 , H01L41/187 , H01L41/31 , H01L41/337 , H03H3/08 , H03H9/25
摘要： Verbundener Körper, aufweisend:ein Trägersubstrat;eine Siliziumoxidschicht, die auf dem Trägersubstrat bereitgestellt ist; undein Substrat aus einem piezoelektrischen Material, das auf der Siliziumoxidschicht bereitgestellt ist, wobei das Substrat aus einem piezoelektrischen Material ein Material, ausgewählt aus der Gruppe, bestehend aus Lithiumniobat, Lithiumtantalat und Lithiumniobat-Lithiumtantalat, aufweist,wobei die Stickstoffkonzentration NA an einer Grenzfläche zwischen dem Substrat aus einem piezoelektrischen Material und der Siliziumoxidschicht 1 × 1019bis 1 × 1021Atome/cm3beträgt, die Stickstoffkonzentration NB an einer Grenzfläche zwischen der Siliziumoxidschicht und dem Trägersubstrat 1 × 1019Atome/cm3oder weniger beträgt und das Verhältnis (NA/NB) der Stickstoffkonzentration NA an der Grenzfläche zwischen dem Substrat aus einem piezoelektrischen Material und der Siliziumoxidschicht in Bezug auf die Stickstoffkonzentration NB an der Grenzfläche zwischen der Siliziumoxidschicht und dem Trägersubstrat 10 oder höher und 1000 oder niedriger ist, undwobei die Kohlenstoffkonzentration CA an der Grenzfläche zwischen dem Substrat aus einem piezoelektrischen Material und der Siliziumoxidschicht 1 × 1020bis 3 × 1021Atome/cm3beträgt, die Kohlenstoffkonzentration CB an der Grenzfläche zwischen der Siliziumoxidschicht und dem Trägersubstrat 1 × 1018Atome/cm3oder niedriger beträgt und das Verhältnis (CA/CB) des Kohlenstoffgehalts CA an der Grenzfläche zwischen dem Substrat aus einem piezoelektrischen Material und der Siliziumoxidschicht in Bezug auf die Kohlenstoffkonzentration CB an der Grenzfläche zwischen der Siliziumoxidschicht und dem Trägersubstrat 100 oder höher und 1000 oder niedriger ist.

82. 发明专利

DE112018003633B4 VERBUNDENER KÖRPER UND AKUSTIKWELLENVORRICHTUNG 未知
公开(公告)号：DE112018003633B4
公开(公告)日：2021-05-06
申请号：DE112018003633
申请日：2018-08-21
申请人： NGK INSULATORS LTD
发明人： GOTO MASASHI , TAI TOMOYOSHI , MINOURA MAI
IPC分类号： H03H9/25 , H01L41/09 , H01L41/187 , H01L41/31 , H01L41/337
摘要： Verbundener Körper (1, 7), der ein Trägersubstrat (3) und eine Schicht aus einem piezoelektrischen Material (2) umfasst, wobei das Trägersubstrat (3) Sia-Ion umfasst und die Schicht aus einem piezoelektrischen Material (2) ein Material umfasst, das LiAO3umfasst (A stellt ein oder mehrere Element(e), ausgewählt aus der Gruppe, bestehend aus Niob und Tantal, dar):wobei der verbundene Körper (1, 7) eine Grenzflächenschicht (4), die entlang einer Grenzfläche zwischen dem Trägersubstrat (3) und der Schicht aus einem piezoelektrischen Material (2) vorliegt, und eine Trägersubstrat-seitige Zwischenschicht (5) umfasst, die zwischen der Grenzflächenschicht (4) und dem Trägersubstrat (3) vorliegt; undwobei jede der Grenzflächenschicht (4) und der Trägersubstrat-seitigen Zwischenschicht (5) Stickstoff, Sauerstoff, Aluminium, Silizium und ein oder mehrere Element(e), ausgewählt aus der Gruppe, bestehend aus Niob und Tantal, umfasst.

83. 发明专利

DE102019115131A1 Elektrisches Bauteil, elektrische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Vielzahl von elektrischen Bauteilen 未知
公开(公告)号：DE102019115131A1
公开(公告)日：2020-12-10
申请号：DE102019115131
申请日：2019-06-05
申请人： RF360 EUROPE GMBH
发明人： VALTERE MARKUS , TREU JULIAN
IPC分类号： H01L41/053 , H01L41/047 , H01L41/22 , H01L41/31 , H03H9/25
摘要： In mindestens einer Ausführungsform umfasst das elektrische Bauteil (10) eine piezoelektrische Schicht (1a), eine Elektrodenstruktur (2) mit einer ersten Elektrode (21) auf einer Oberseite (11) der piezoelektrischen Schicht und eine metallische Beschichtung (3). Eine Seitenfläche (12) des elektrischen Bauteils erstreckt sich quer zur Oberseite. Die Elektrodenstruktur bildet zusammen mit der piezoelektrischen Schicht einen Resonator für Schallwellen. Die metallische Beschichtung bildet einen Großteil der Seitenfläche des elektrischen Bauteils.

84. 发明专利

DE102015213714B4 Mikromechanisches Bauteil und Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen mikromechanischen Bauteils 未知
公开(公告)号：DE102015213714B4
公开(公告)日：2020-11-19
申请号：DE102015213714
申请日：2015-07-21
申请人： FRAUNHOFER GES FORSCHUNG
发明人： SENGER FRANK , HOFMANN ULRICH , KADEN DIRK
IPC分类号： H01L41/04 , B81B3/00 , B81B7/02 , B81C1/00 , G01P15/09 , H01L41/09 , H01L41/113 , H01L41/31 , H02N11/00
摘要： Mikromechanisches Bauteil mit einem Schichtaufbau aus mindestens einem von einem Siliziumwafer gebildeten Substrat (10), einer ersten leitfähigen Schicht (11) einer piezoelektrisch aktiven Schicht (12) und einer zweiten leitfähigen Schicht (13), wobei die erste und zweite leitfähige Schicht (11, 13) Elektroden für die piezoelektrisch aktive Schicht (12) bilden, wobei das Siliziumsubstrat (10) gleichzeitig eine mechanische Funktionsschicht als Träger für die piezoelektrisch aktive Schicht ist und ausgebildet ist, sich gleichzeitig mit der piezoelektrisch aktiven Schicht (12) zu verformen,dadurch gekennzeichnet, dass(i) das Bauteil als ein- oder mehrachsig piezoelektrisch angetriebener Spiegel (1) ausgebildet ist, wobei eine mit einer Verspiegelungsschicht versehene Spiegelplatte (2) und Federelemente (3), an denen die Spiegelplatte (2) gelagert ist, durch Substratdurchätzung freigestellt sind,oder(ii) das Bauteil als Biegebalkenschwinger ausgebildet ist und als Beschleunigungsgeber oder als Energie-Harvester dient, wobei die Balkenstruktur (18) durch Substratdurchätzung freigestellt ist.

85. 发明专利

DE112018005782T5 Anordnung eines Substrats aus einem piezoelektrischen Material und eines Trägersubstrats und Verfahren zur Herstellung der Anordnung 未知
公开(公告)号：DE112018005782T5
公开(公告)日：2020-08-20
申请号：DE112018005782
申请日：2018-11-09
申请人： NGK INSULATORS LTD
发明人： HORI YUJI , YAMADERA TAKAHIRO , TAKAGAKI TATSURO
IPC分类号： H03H9/25 , H01L21/02 , H01L41/09 , H01L41/187 , H01L41/31 , H03H3/08
摘要： (Aufgabe) Die Aufgabe ist es, beim Verbinden eines Substrats aus einem piezoelektrischen Material, das aus einem Material aus Lithiumniobat oder dergleichen zusammengesetzt ist, und eines Trägersubstrats mit einer darauf bereitgestellten Siliziumoxidschicht die Verschlechterung der Eigenschaften eines verbundenen Körpers zu verhindern.(Lösung) Ein verbundener Körper 8A umfasst ein Trägersubstrat 3, eine Siliziumoxidschicht 7, die auf dem Trägersubstrat 3 bereitgestellt ist, und ein Substrat aus einem piezoelektrischen Material 1A, das auf der Siliziumoxidschicht 7 bereitgestellt ist und aus einem Material, ausgewählt aus der Gruppe, bestehend aus Lithiumniobat, Lithiumtantalat und Lithiumniobat-Lithiumtantalat, zusammengesetzt ist. Der Durchschnittswert der Stickstoffkonzentration der Siliziumoxidschicht 7 ist höher als die Stickstoffkonzentration an einer Grenzfläche E zwischen der Siliziumoxidschicht 7 und dem Trägersubstrat 3 und höher als die Stickstoffkonzentration an einer Grenzfläche D zwischen der Siliziumoxidschicht 7 und dem Substrat aus einem piezoelektrischen Material 1A.

86. 发明专利

CH708212B1 Microgénérateur, en particulier pour montre-bracelet. 未知
公开(公告)号：CH708212B1
公开(公告)日：2017-08-31
申请号：CH10882013
申请日：2013-06-10
申请人： RICHEMONT INT SA
发明人： ANDREA MAZZALAI , PAUL MURALT , JEAN-CLAUDE MEYLAN
IPC分类号： H02N2/18 , G04C10/00 , G04G19/00 , H01L41/31
摘要： L’invention concerne un microgénérateur, en particulier pour montre-bracelet, comprenant une masse oscillante (1), un élément annulaire d’impulsions (2) coopérant en rotation avec la masse oscillante (1), un support fixe (3), monté co-axialement avec l’élément annulaire d’impulsions (2) et pourvu d’une pluralité de lames piézoélectriques (4) s’étendant radialement depuis le support fixe (3) vers l’élément annulaire d’impulsions (2), dans lequel l’élément annulaire d’impulsions (2) comporte une pluralité de dents (8) disposées radialement intérieurement dans l’élément annulaire et aptes à coopérer avec les extrémités libres des lames piézoélectriques (4) lors de la rotation de l’élément annulaire d’impulsions (2). L’invention concerne également un mouvement horloger pour montre à quartz comprenant un tel microgénérateur, une montre comprenant un tel mouvement ainsi qu’un procédé de fabrication de telles lames piézoélectriques.

87. 发明专利

DE102015213714A1 Mikromechanisches Bauteil und Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen mikromechanischen Bauteils 未知
公开(公告)号：DE102015213714A1
公开(公告)日：2017-01-26
申请号：DE102015213714
申请日：2015-07-21
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E V
发明人： SENGER FRANK , HOFMANN ULRICH , KADEN DIRK
IPC分类号： H01L41/04 , B81B3/00 , B81B7/02 , B81C1/00 , G01P15/09 , H01L41/09 , H01L41/113 , H01L41/31 , H02N11/00
摘要： Es wird ein mikromechanisches Bauteil mit einem Schichtaufbau aus mindestens einem Substrat (10), einer ersten leitfähigen Schicht (11) einer piezoelektrisch aktiven Schicht (12) und einer zweiten leitfähigen Schicht (13), wobei die erste und zweite leitfähige Schicht (11, 13) Elektroden für die piezoelektrisch aktive Schicht (12) bilden, vorgeschlagen. Das Substrat (10) ist gleichzeitig eine mechanische Funktionsschicht als Träger für die piezoelektrisch aktive Schicht und ist ausgebildet, sich gleichzeitig mit der piezoelektrisch aktiven Schicht (12) zu verformen.

88. 发明专利

DE112012001935T5 Elektromechanische Umformungsvorrichtung und Verfahren zum Herstellen derselben 未知
公开(公告)号：DE112012001935T5
公开(公告)日：2014-07-10
申请号：DE112012001935
申请日：2012-06-26
申请人： HONDA ELECTRONIC
发明人： NAGAREDA KENJI , MURAI YUKI , HAYASHI ATSUHIRO , MAIDA YUICHI
IPC分类号： H01L41/187 , H01L41/09 , H01L41/113 , H01L41/31
摘要： Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, eine elektromechanische Umformungsvorrichtung bereitzustellen, bei der die piezoelektrische Eigenschaft sich wahrscheinlich mit der Zeit nicht verschlechtert, selbst wenn Änderungen der Temperatur, wozu die Übergangstemperatur von der orthorhombischen auf die tetragonale Phase gehört, vorkommen sollten. Die elektromechanische Umformungsvorrichtung 10 umfasst eine piezoelektrische Keramikzusammensetzung 11 mit Alkali-Niobat und einen unbiegsamen Körper 12, der auf die Hauptfläche 21 der piezoelektrischen Keramikzusammensetzung 11 geklebt wird. Die piezoelektrische Keramikzusammensetzung 11 besteht aus Kristallstrukturen, wie etwa orthorhombischen Kristallen, die auf der Seite gebildet sind, auf der die Temperatur tiefer ist als die Übergangstemperatur von der orthorhombischen auf die tetragonale Phase, tetragonalen Kristallen, die auf der Seite gebildet sind, auf der die Temperatur höher ist als die Übergangstemperatur von der orthorhombischen auf die tetragonale Phase, sowie auf der Seite, auf der die Temperatur tiefer ist als die Übergangstemperatur von der tetragonalen auf die kubische Phase, und kubischen Kristallen, die auf der Seite gebildet sind, auf der die Temperatur höher ist als die Übergangstemperatur von der tetragonalen auf die kubische Phase. Der Elastizitätsmodul des unbiegsamen Körpers 12 beträgt 60 GPa oder mehr. Der Volumenanteil der piezoelektrischen Keramikzusammensetzung 11, die in einem Bereich vorliegt, in dem der Abstand von der Klebestelle der piezoelektrischen Keramikzusammensetzung 11 und dem unbiegsamen Körper 12 [2 mm oder weniger beträgt], ist gleich 40% oder mehr.

89. 发明公开

EP3579290A1 1D/2D HYBRID PIEZOELECTRIC NANOGENERATOR AND METHOD FOR MAKING SAME 有权
公开(公告)号：EP3579290A1
公开(公告)日：2019-12-11
申请号：EP19178284.6
申请日：2019-06-04
申请人： Shimco North America Inc.
发明人： Mahmud, Alam , Khan, Asif Abdullah , Ban, Dayan , Voss, Peter
IPC分类号： H01L41/18 , H01L41/113 , H01L41/39 , H01L41/31 , H01L41/317 , H02N1/04
摘要： The present invention relates to a piezoelectric nanogenerator (PENG) that is capable of harvesting mechanical energy into electricity. The PENG comprises one dimensional (1D) and two dimensional (2D) nanostructures integrated together to form a composite nanostructure. A major advantage of the present invention is that the composite nanostructure provides enhanced electrical output and enhanced mechanical stability as compared to previously reported 1D or 2D nanostructures alone. Also described is a hybrid nanogenerator that combines the PENG with a triboelectric nanogenerator (TENG). A method of synthesizing the composite nanostructure PENG, in which the 1D and 2D nanostructures are grown together on the same substrate using a low temperature hydrothermal method is also described. The provided method is simple and cost-effective.

90. 发明公开

EP4148995A1 METHOD FOR MANUFACTURING COMPOSITE SUBSTRATE PROVIDED WITH PIEZOELECTRIC SINGLE CRYSTAL FILM 审中-实审
公开(公告)号：EP4148995A1
公开(公告)日：2023-03-15
申请号：EP21800359.8
申请日：2021-04-28
申请人： SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
发明人： NAGATA, Kazutoshi
IPC分类号： H03H3/08 , H01L41/187 , H01L41/31
摘要： Provided is a method of manufacturing a composite substrate equipped with a piezoelectric single-crystal film having good film-thickness uniformity and not causing deterioration in properties even if ion implantation is performed. The method of manufacturing a composite substrate 10 equipped with a piezoelectric single-crystal film 11 according to the present invention includes the steps of: (a) subjecting a piezoelectric single-crystal substrate 1 made of lithium tantalate or lithium niobate to ion implantation treatment to form an ion implantation layer 11, (c) bonding the surface of the piezoelectric single-crystal substrate 1 having the ion implantation layer 11 thereon to a temporary bonding substrate 2, (d) separating the piezoelectric single-crystal substrate 1 into the ion implantation layer 11 and the remaining portion of the substrate to form a piezoelectric single-crystal film 11 on the temporary bonding substrate 2, (f) bonding a supporting substrate 3 to the surface of the piezoelectric single-crystal film 11 opposite to a bonded surface of the temporary bonding substrate, and (g) separating the temporary bonding substrate from the piezoelectric single-crystal film 11.

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