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81. 发明专利

TW200632544A 於基板上形成微細圖案的裝置 APPARATUS FOR FORMING FINE PATTERN ON SUBSTRATE 审中-公开
简体标题：于基板上形成微细图案的设备 APPARATUS FOR FORMING FINE PATTERN ON SUBSTRATE
公开(公告)号：TW200632544A
公开(公告)日：2006-09-16
申请号：TW094145252
申请日：2005-12-20
申请人： DMS有限公司 DMS CO., LTD.
发明人：李永哲 LEE, YOUNG-CHUL , 朴庸碩 PARK, YONG-SEOK , 許經憲 HEO, KYOUNG-HEON , 周蓮 JU, YEON
IPC分类号： G03F , H01L
CPC分类号： G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00
摘要：一種形成微細圖案的裝置，它包括：帶有預定處理空間的腔室；使用浮力來支撐上面形成了感光有機層的基板的支撐台；與所述支撐台相隔開，用於在基板的有機層上壓印預處理圖案以區分蝕刻及非蝕刻區域的模版；用於驅動所述支撐台朝向模版，使模版上形成的圖案可以形成於基板有機層上的驅動單元。
简体摘要：一种形成微细图案的设备，它包括：带有预定处理空间的腔室；使用浮力来支撑上面形成了感光有机层的基板的支撑台；与所述支撑台相隔开，用于在基板的有机层上压印预处理图案以区分蚀刻及非蚀刻区域的模版；用于驱动所述支撑台朝向模版，使模版上形成的图案可以形成于基板有机层上的驱动单元。

82. 发明专利

TWI259825B 對接式系統以及用於轉移和處理基板的方法 DOCKING-TYPE SYSTEM AND METHOD FOR TRANSFERRING AND TREATING SUBSTRATE 有权
简体标题：对接式系统以及用于转移和处理基板的方法 DOCKING-TYPE SYSTEM AND METHOD FOR TRANSFERRING AND TREATING SUBSTRATE
公开(公告)号：TWI259825B
公开(公告)日：2006-08-11
申请号：TW093115261
申请日：2004-05-28
申请人： DMS有限公司 DMS CO., LTD.
发明人：朴庸碩 PARK, YONG-SEOK , 金京 KIM, KYUNG-CHUL , 李碩周 LEE, SOK-JOO
IPC分类号： B65G
CPC分类号： H01L21/6719 , H01L21/67028 , H01L21/67196
摘要：一種基板轉移／處理系統，其包括：一基板堆疊基部、一基板轉移構件用於從該基部接收基板或是轉移基板至該基部、一基板洗滌／乾燥裝置用於洗滌和乾燥該從基板轉移構件所轉移來的基板、以及一基板處理裝置用於處理已經由基板洗滌／乾燥裝置所洗滌／乾燥過及經由基板轉移構件所轉移來的基板。
简体摘要：一种基板转移／处理系统，其包括：一基板堆栈基部、一基板转移构件用于从该基部接收基板或是转移基板至该基部、一基板洗涤／干燥设备用于洗涤和干燥该从基板转移构件所转移来的基板、以及一基板处理设备用于处理已经由基板洗涤／干燥设备所洗涤／干燥过及经由基板转移构件所转移来的基板。

83. 发明专利

TWI250897B 流體噴射噴嘴 FLUID INJECTION NOZZLE 有权
简体标题：流体喷射喷嘴 FLUID INJECTION NOZZLE
公开(公告)号：TWI250897B
公开(公告)日：2006-03-11
申请号：TW093115770
申请日：2004-06-02
申请人： DMS有限公司 DMS CO., LTD.
发明人：許經憲 HEO, KYOUNG-HEON
IPC分类号： B05B
CPC分类号： B05C5/0254
摘要：一種用於處理一基板之流體噴射噴嘴，其包括一具有一第一尖端之第一板件，及一具有一第二尖端之第二板件，該第二尖端藉由一固緊件被耦合至該第一板件。該第一及第二板件界定出一流體通道，且該第一及第二尖端具有互不相同之長度。
简体摘要：一种用于处理一基板之流体喷射喷嘴，其包括一具有一第一尖端之第一板件，及一具有一第二尖端之第二板件，该第二尖端借由一固紧件被耦合至该第一板件。该第一及第二板件界定出一流体信道，且该第一及第二尖端具有互不相同之长度。

84. 发明专利

TW200423200A 用於平面顯示器之基材處理系統的基材運送裝置 SUBSTRATE CONVEYING APPARATUS OF SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM FOR FLAT DISPLAY 审中-公开
简体标题：用于平面显示器之基材处理系统的基材运送设备 SUBSTRATE CONVEYING APPARATUS OF SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM FOR FLAT DISPLAY
公开(公告)号：TW200423200A
公开(公告)日：2004-11-01
申请号：TW093101310
申请日：2004-01-19
申请人： DMS有限公司 DMS CO., LTD.
发明人：李東萬 LEE, DONG MAN
IPC分类号： H01L
摘要：一種用於平面顯示器之基材處理系統的基材運送裝置係包括有複數個用於運送基材的運送軸桿以及一個用於防止該等運送軸桿下垂的防止下垂構件，而該等運送軸桿係被配置在一個用於處理一個基材的工作空間之中，並且該防止下垂機構係被配置在該等運送軸桿下方。
简体摘要：一种用于平面显示器之基材处理系统的基材运送设备系包括有复数个用于运送基材的运送轴杆以及一个用于防止该等运送轴杆下垂的防止下垂构件，而该等运送轴杆系被配置在一个用于处理一个基材的工作空间之中，并且该防止下垂机构系被配置在该等运送轴杆下方。

85. 发明专利

TW202010823A 有機材料、有機材料的製造方法及有機發光元件审中-公开
简体标题：有机材料、有机材料的制造方法及有机发光组件
公开(公告)号：TW202010823A
公开(公告)日：2020-03-16
申请号：TW108132233
申请日：2019-09-06
申请人：韓商顯示器生產服務股份有限公司 , DMS CO., LTD.
发明人：樸庸碩 , PARK, YONG SEOK
IPC分类号： C09K11/06 , H01L51/50 , H05B33/14
摘要：本發明公開了用於有機發光元件的有機材料、有機材料的製造方法及有機發光元件。本發明的特點在於在用於有機發光元件的有機材料中添加離子性液體，根據本發明，具有提高有機發光元件的壽命和發光效率等元件特性的效果。
简体摘要：本发明公开了用于有机发光组件的有机材料、有机材料的制造方法及有机发光组件。本发明的特点在于在用于有机发光组件的有机材料中添加离子性液体，根据本发明，具有提高有机发光组件的寿命和发光效率等组件特性的效果。

86. 发明专利

TWI431719B 等離子體反應器中用於乾燥清洗反應室內部的元件去除吸附設備以及使用該設備在元件去除吸附中進行靜電吸附、使元件去除吸附的方法失效
简体标题：等离子体反应器中用于干燥清洗反应室内部的组件去除吸附设备以及使用该设备在组件去除吸附中进行静电吸附、使组件去除吸附的方法
公开(公告)号：TWI431719B
公开(公告)日：2014-03-21
申请号：TW099129806
申请日：2010-09-03
申请人： DMS有限公司 , DMS CO., LTD.
发明人：李炳日 , LEE, BYOUNGIL , 張赫真 , JANG, HYEOKJIN , 高誠庸 , KO, SUNGYONG , 金珉植 , KIM, MINSHIK
IPC分类号： H01L21/683 , H01J37/32
CPC分类号： H01L21/6831 , H01J37/321 , H01L21/68742

87. 发明专利

TWI388068B 用於製造薄膜型太陽電池的沉積裝置有权
简体标题：用于制造薄膜型太阳电池的沉积设备
公开(公告)号：TWI388068B
公开(公告)日：2013-03-01
申请号：TW097148886
申请日：2008-12-16
申请人： DMS有限公司 , DMS CO., LTD.
发明人：朴勝一 , PARK, SEUNG IL , 許閏成 , HUH, YUNSUNG
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/042
CPC分类号： Y02E10/50 , Y02P70/521

88. 发明专利

TW200915384A 壓印裝置 IMPRINTING DEVICE 审中-公开
简体标题：压印设备 IMPRINTING DEVICE
公开(公告)号：TW200915384A
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：TW097128599
申请日：2008-07-29
申请人： DMS有限公司 DMS CO., LTD.
发明人：朴春成 PARK, CHUN-SEONG , 吳相澤 OH, SANG-TAEK , 申泰炅 SHIN, TAE-KYOUNG , 李真香 LEE, JIN-HYANG , 鄭昌鎬 JUNG, CHANG-HO , 李宰一 LEE, JAE-IL
IPC分类号： H01L
摘要：本發明揭示一種可透過簡單的方式在平板顯示元件用的基板上形成蝕刻區與非蝕刻區的壓印裝置。該裝置包括:框架;腔室,具有第一腔殼與第二腔殼,所述第一腔殼與第二腔殼設置在所述框架上的上、下兩個位置上,所述兩個腔殼透過結合或分離動作,形成一可以開放的密封空間;軟模,具有用於區分蝕刻區與非蝕刻區域的圖案面,位於所述腔室的密封空間內;載物臺,具有用於裝載基板的裝載面,在所述腔室的密封空間內相對於所述軟模做上下運動;及硬化機構,從位於所述載物臺的基板一側向另一側移動的同時照射紫外線。
简体摘要：本发明揭示一种可透过简单的方式在平板显示组件用的基板上形成蚀刻区与非蚀刻区的压印设备。该设备包括:框架;腔室,具有第一腔壳与第二腔壳,所述第一腔壳与第二腔壳设置在所述框架上的上、下两个位置上,所述两个腔壳透过结合或分离动作,形成一可以开放的密封空间;软模,具有用于区分蚀刻区与非蚀刻区域的图案面,位于所述腔室的密封空间内;载物台,具有用于装载基板的装载面,在所述腔室的密封空间内相对于所述软模做上下运动;及硬化机构,从位于所述载物台的基板一侧向另一侧移动的同时照射紫外线。

89. 发明专利

TW200905744A 即時控制電漿反應器的端點檢測裝置,具有端點檢測裝置的電漿反應器,以及端點檢測方法 ENDPOINT DETECTION DEVICE FOR REALIZING REAL-TIME CONTROL OF PLASMA REACTOR, PLASMA REACTOR WITH ENDPOINT DETECTION DEVICE, AND ENDPOINT DETECTION METHOD 审中-公开
简体标题：实时控制等离子反应器的端点检测设备,具有端点检测设备的等离子反应器,以及端点检测方法 ENDPOINT DETECTION DEVICE FOR REALIZING REAL-TIME CONTROL OF PLASMA REACTOR, PLASMA REACTOR WITH ENDPOINT DETECTION DEVICE, AND ENDPOINT DETECTION METHOD
公开(公告)号：TW200905744A
公开(公告)日：2009-02-01
申请号：TW097107000
申请日：2008-02-29
申请人： DMS有限公司 DMS CO., LTD.
发明人：朴根周 PARK, KUN JOO , 韓光勳 HAN, GWANG HOON , 金起鉉 KIM, KEE HYUN , 李元默 LEE, WEON MOOK , 韓暻薰 HAN, KYOUNGHOON , 蔡熙燁 CHAE, HEEYEOP
IPC分类号： H01L , G01N
CPC分类号： H01J37/32963 , G01N21/71 , H01J37/32935 , H01L21/67069 , H01L21/67253
摘要：茲提供一種端點檢測裝置、一種具有該端點檢測裝置的電漿反應器、以及一種端點檢測方法。該端點檢測裝置包含一OES資料運算單元、一資料選擇器、一乘積產生器、一SVM、以及一端點測定器。該OES資料運算單元係利用正規化及PCA來處理參考OES資料。該資料選擇器選擇一部份該等線性參考負載向量以及選擇一部份該等經選定之線性參考負載向量。該乘積產生器輸出至少一參考乘積値。該SVM做迴歸以及輸出一預測乘積値。該端點測定器檢測一加工晶圓蝕刻或沉積端點以及輸出一檢測訊號。
简体摘要：兹提供一种端点检测设备、一种具有该端点检测设备的等离子反应器、以及一种端点检测方法。该端点检测设备包含一OES数据运算单元、一数据选择器、一乘积产生器、一SVM、以及一端点测定器。该OES数据运算单元系利用范式及PCA来处理参考OES数据。该数据选择器选择一部份该等线性参考负载矢量以及选择一部份该等经选定之线性参考负载矢量。该乘积产生器输出至少一参考乘积値。该SVM做回归以及输出一预测乘积値。该端点测定器检测一加工晶圆蚀刻或沉积端点以及输出一检测信号。

90. 发明专利

TW200903690A 基板輸送裝置 SUBSTRATE TRANSPORTING APPARATUS 审中-公开
简体标题：基板输送设备 SUBSTRATE TRANSPORTING APPARATUS
公开(公告)号：TW200903690A
公开(公告)日：2009-01-16
申请号：TW096123986
申请日：2007-07-02
申请人： DMS有限公司 DMS CO., LTD.
发明人：李碩周 LEE, SOK-JOO
IPC分类号： H01L
摘要：本發明提供了一種在製造平板顯示器用基板的各工序的輸送線中,可連續投入及輸出基板的基板輸送裝置。所述基板輸送裝置包括:基板輸送單元,其配置有相隔一定距離的多個輸送輥,並且在所述輸送輥上面以水平或傾斜狀態輸送基板;緩衝臂,其上面可放置基板,並且通過上/下移動向所述輸送輥移交基板或從所述輸送輥上承接基板;支架,其具備將所述緩衝臂上/下移動的驅動單元,並且用於固定所述緩衝臂,使所述緩衝臂移動到可以移交或承接基板的狀態;以及狀態變換單元,其通過鉸接方式連接所述緩衝臂和支架,並且產生旋轉力,使所述緩衝臂以鉸接部為基准進行旋轉而改變其狀態。
简体摘要：本发明提供了一种在制造平板显示器用基板的各工序的输送线中,可连续投入及输出基板的基板输送设备。所述基板输送设备包括:基板输送单元,其配置有相隔一定距离的多个输送辊,并且在所述输送辊上面以水平或倾斜状态输送基板;缓冲臂,其上面可放置基板,并且通过上/下移动向所述输送辊移交基板或从所述输送辊上承接基板;支架,其具备将所述缓冲臂上/下移动的驱动单元,并且用于固定所述缓冲臂,使所述缓冲臂移动到可以移交或承接基板的状态;以及状态变换单元,其通过铰接方式连接所述缓冲臂和支架,并且产生旋转力,使所述缓冲臂以铰接部为基准进行旋转而改变其状态。

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