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71. 发明专利

JP2010016259A Pattern forming method 审中-公开
标题翻译：图案形成方法
公开(公告)号：JP2010016259A
公开(公告)日：2010-01-21
申请号：JP2008176152
申请日：2008-07-04
申请人： Panasonic Corp , パナソニック株式会社
发明人： ENDO MASATAKA , SASAKO MASARU
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： G03F7/0035 , G03F7/40 , H01L21/0274 , H01L21/033 , H01L21/0337 , Y10S427/102 , Y10S430/143 , Y10S430/146
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To make it possible to attain a fine pattern having an excellent shape by preventing the generation of pattern defect in double patterning.
SOLUTION: A first resist film 102 is formed on a substrate 101, and a first pattern exposure which irradiates exposing light on the first resist film 102 through a first mask 103A is carried out. The first resist film 102 develops to form a first resist pattern 102a from the first resist film 102. Then, nanocarbon is deposited on the surface of the first resist pattern 102a, and a second resist film 105 is formed on the substrate 101 containing the first resist pattern 102a. Next, a second pattern exposure which irradiates exposing light on the second resist film 105 through a second mask 103B is carried out, and the second resist film 105 develops to form a second resist pattern 105a from the second resist film 105.
COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：通过防止双重图案化中的图案缺陷的产生，可以获得具有优异形状的精细图案。解决方案：在基板101上形成第一抗蚀膜102，并且通过第一掩模103A对第一抗蚀膜102上的曝光进行照射的第一图案曝光。第一抗蚀剂膜102发展成从第一抗蚀剂膜102形成第一抗蚀剂图案102a。然后，在第一抗蚀剂图案102a的表面上沉积纳米碳，并且在包含第一抗蚀剂膜102的基板101上形成第二抗蚀剂膜105 抗蚀剂图案102a。接下来，执行通过第二掩模103B对第二抗蚀剂膜105上的曝光进行照射的第二图案曝光，并且使第二抗蚀剂膜105展开，从第二抗蚀膜105形成第二抗蚀剂图案105a。（C）2010，JPO＆INPIT

72. 发明专利

JP4116031B2 Growth method of the matrix of the matrix growth apparatus and a multi-layer of carbon nanotubes of the carbon nanotube 有权
公开(公告)号：JP4116031B2
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：JP2005310370
申请日：2005-10-25
申请人：ツィンファユニバーシティ , 鴻富錦精密工業(深▲セン▼)有限公司
发明人：守善 ▲ハン▼ , ▲カイ▼ 劉 , 開利姜
IPC分类号： C01B31/02 , B01J23/745 , B01J23/75 , B01J23/755 , B01J35/02
CPC分类号： C23C16/0281 , C23C16/26 , C23C16/448 , C30B25/02 , C30B29/02 , C30B29/605 , Y10S427/102
摘要： An apparatus for making an array of carbon nanotubes includes a reaction chamber with a gas inlet and a gas outlet; a quartz boat disposed in the reaction chamber; a substrate with a surface deposited with a film of first catalyst, the substrate being disposed in the quartz boat; and a second catalyst disposed in the quartz beside the substrate. A method for making an array of carbon nanotubes, comprising the steps of: (a) providing a substrate with a surface deposited with a film of first catalyst; (b) disposing a second catalyst beside the substrate to produce small amounts of hydrogen gas which flows to the first catalyst; (c) introducing a carrier gas and a carbon source gas flowing from the second catalyst to the first catalyst at a predetermined temperature; and (d) growing an array of carbon nanotubes extending from the substrate.

73. 发明专利

JP2005521563A How to collect the nano-objects 审中-公开
公开(公告)号：JP2005521563A
公开(公告)日：2005-07-21
申请号：JP2003580561
申请日：2003-03-03
申请人：ザユニバーシティオブノースカロライナアットチャペルヒルThe University Of North Carolina At Chapel Hill
发明人：スージンオー， , ヒデオシモダ， , オットー，ゼット．ゾウ，
IPC分类号： B82B3/00 , B05D1/18 , B05D1/20 , C01B31/02 , H01G9/00 , H01G9/058 , H01J9/02 , H01M4/04 , H01M4/86 , H01M6/02 , H01M10/04
CPC分类号： B82Y30/00 , B05D1/18 , B05D1/204 , B82Y40/00 , Y10S427/102 , Y10S977/847 , Y10S977/848 , Y10S977/882
摘要：前もって形成されたナノ物体からマクロ構造を自己組立する方法が提供される。この方法は、所望のアスペクト比と化学的官能性となるまでナノ物体を処理し、この処理されたナノ物体を懸濁液を形成するために溶媒と混合する工程を含む。懸濁液の形成の後、基体がこの懸濁液中に挿入される。溶媒の蒸発、懸濁液のｐＨ値の変更、あるいは懸濁液の温度の変更によって、懸濁液中のナノ物体は基体上に整然と配向されて堆積する。さらに、種結晶は基体の代わりに使用され、それによってナノ物体の単結晶および自立膜を形成し得る。

74. 发明授权

EP1323671B1 Procédé de fabrication d'au moins un nanotube entre deux éléments électriquement conducteurs et dispositif pour mettre en oeuvre un tel procédé 有权
标题翻译：用于执行该方法用于两个导电元件之间产生至少一个纳米管的方法和设备
公开(公告)号：EP1323671B1
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：EP02293242.0
申请日：2002-12-24
申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
发明人： Delaunay, Marc , Senillou, Anne , Semeria Marie-Noélle
IPC分类号： C23C16/26 , C23C16/511 , C30B25/10 , C01B31/02 , H05H1/46 , B82B3/00 , B82Y30/00 , B82Y10/00 , H01J37/32
CPC分类号： B82Y30/00 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C01B32/16 , C23C16/26 , C23C16/511 , C30B25/105 , C30B29/02 , C30B29/605 , H01J37/32192 , H01J37/3266 , H01L51/0048 , H01L51/0052 , H05H1/46 , Y10S427/102 , Y10S977/843

75. 发明授权

EP1183210B1 MULTILAYER CARBON NANOTUBE FILMS 有权
标题翻译：从薄膜多层碳纳米管
公开(公告)号：EP1183210B1
公开(公告)日：2010-02-24
申请号：EP00915051.7
申请日：2000-04-14
申请人： COMMONWEALTH SCIENTIFIC AND INDUSTRIAL RESEARCH ORGANISATION
发明人： DAI, Liming , HUANG, Shaoming
IPC分类号： C01B31/02 , C23C16/26 , C23C16/02 , C01B3/26
CPC分类号： B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/162 , C01B2202/08 , D01F9/127 , Y10S427/102 , Y10S977/778 , Y10S977/842 , Y10S977/896
摘要： This invention relates to a process for the preparation of a substrate-free aligned nanotube film comprising: (a) synthesising a layer of aligned carbon nanotubes on a quartz glass substrate by pyrolysis of a carbon-containing material in the presence of a suitable catalyst for nanotube formation; and (b) etching quartz glass substrate at the nanotube/substrate interface to release said layer of aligned nanotubes from the substrate. Another aspect of the invention provides a process for the preparation of multilayer carbon nanotube film comprising depositing a substrate-free carbon nanotube film onto another nanotube film. In yet another aspect of the invention there is provided a process for the preparation of a 'hetero-structured' multilayer carbon nanotube film which includes one or more carbon nanotube layers together with layers of other materials, such as metal, semiconductor and polymer.

76. 发明公开

EP1464619A1 METHOD OF MANUFACTURING DENSELY FITTED MULTI−LAYER CARBON NANO−TUBE 审中-公开
标题翻译： VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON DICHT ANGEBRACHTER MEHRSCHICHTIGERKOHLENSTOFFNANORÖHRE
公开(公告)号：EP1464619A1
公开(公告)日：2004-10-06
申请号：EP02806058.0
申请日：2002-11-05
申请人： Japan Science and Technology Agency , NEC Corporation
发明人： Iijima, Sumio , Yudasaka, Masako , Koshio, Akira
IPC分类号： C01B31/02 , D01F9/12
CPC分类号： B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/162 , C01B2202/06 , C01B2202/30 , D01F9/12 , Y10S427/102 , Y10S977/844
摘要： A method of manufacturing, with high purity and high efficiency, a multi-wall carbon nanotube (10) having layers densely fitted to the center part thereof, comprising the step of leading a graphite rod (2) into plasma flame (1) generated in the atmosphere of inert gas (4) added with hydrogen to evaporate carbon so as to stack the densest multi-wall carbon nanotube (10) on the surface of the graphite rod (2).
摘要翻译：一种制造具有高纯度和高效率的多壁碳纳米管（10）的方法，该多壁碳纳米管（10）具有密集配合到其中心部分的层，包括将石墨棒（2）引入等离子体火焰（1）中的步骤惰性气体（4）的气氛中加入氢气以蒸发碳，以将最密集的多壁碳纳米管（10）堆叠在石墨棒（2）的表面上。

77. 发明公开

EP1323671A1 Procédé de fabrication d'au moins un nanotube entre deux éléments électriquement conducteurs et dispositif pour mettre en oeuvre un tel procédé 有权
标题翻译：用于执行该方法用于两个导电元件之间产生至少一个纳米管的方法和设备
公开(公告)号：EP1323671A1
公开(公告)日：2003-07-02
申请号：EP02293242.0
申请日：2002-12-24
申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
发明人： Delaunay, Marc , Senillou, Anne , Semeria Marie-Noélle
IPC分类号： C01B31/02 , B82B3/00
CPC分类号： B82Y30/00 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C01B32/16 , C23C16/26 , C23C16/511 , C30B25/105 , C30B29/02 , C30B29/605 , H01J37/32192 , H01J37/3266 , H01L51/0048 , H01L51/0052 , H05H1/46 , Y10S427/102 , Y10S977/843
摘要： L'invention concerne un procédé de fabrication d'au moins un nanotube (2) entre deux éléments électriquement conducteurs (4) situés sur un substrat (8), ledit procédé mettant en oeuvre une puissance micro-ondes dans une chambre de dépôt (6), un gaz contenant des molécules organiques injecté à faible pression à l'intérieur de la chambre de dépôt (6). Selon l'invention, le procédé met également en oeuvre un champ magnétique ainsi qu'au moins une zone de résonance cyclotron électronique (16) favorisant l'ionisation et/ou la dissociation du gaz injecté, le procédé comprenant en outre une opération d'écrantage des différentes espèces produites dans chaque zone de résonance cyclotron électronique (16), afin d'autoriser exclusivement aux radicaux libres non-condensables du type CxHy°, l'accès à une zone de dépôt (24) pour réaliser ledit nanotube.
L'invention concerne également un dispositif apte à mettre en oeuvre un tel procédé.
摘要翻译：上的基片的两个电导体之间的纳米管的制造采用微波功率在沉积腔室与气体含在低压下注入的有机分子。因此它利用磁场和环tronic的电子共振区域（一个或多个）有利于离子化和/或注入气体的离解。上的基板（8）的两个电导体之间的纳米管的制造在沉积室（6）与在低压下注入含有气体的有机分子采用了微波功率。因此，它使用磁场以及至少一个环tronic的电子共振区域（16）有利于离子化和/或注入气体的离解。它包括在每个所产生的不同种类的筛选的手术环tronic的电子共振区域，以独占授权的类型CxHyO的不可冷凝的自由基，它们的到沉积区（24），以产生纳米管的访问。一种独立claimsoft因此包括用于生产上的基板通过该方法的两个电导体之间的纳米管的装置。

78. 发明公开

EP1018487A4 FULLERENE-CONTAINING STRUCTURE AND PROCESS FOR PRODUCING THE SAME 失效
标题翻译： FULLEREN容纳结构及其制造方法
公开(公告)号：EP1018487A4
公开(公告)日：2000-07-12
申请号：EP98909786
申请日：1998-03-20
申请人： JAPAN SCIENCE & TECH CORP , TOSHIBA KK
发明人： TANAKA SHUN-ICHIRO , XU BINGSHE
IPC分类号： B32B9/00 , C01B31/02
CPC分类号： B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/15 , C01B32/152 , Y10S427/102 , Y10S977/734 , Y10S977/742 , Y10S977/843 , Y10T428/30
摘要： A fullerene-containing structure which comprises a multilayered amorphous carbon base (4) comprising a first amorphous carbon layer (1) and a second amorphous carbon layer (2) and further comprises giant fullerenes (6) formed at least around the layer interface in the base (4) and each extending to both layers. The giant fullerenes formed around the layer interface can be connected to each other to form a continuous structure, e.g., a filmy structure (a filmy giant fullerene (7)). Such a fullerene-containing structure can be regulated with respect to the shape and position of the giant fullerenes and the state of the fullerenes, e.g., a continuous structure. The generated giant fullerenes themselves can be protected with the stable carbonaceous substrate.

79. 发明公开

EP1018487A1 FULLERENE-CONTAINING STRUCTURE AND PROCESS FOR PRODUCING THE SAME 失效
标题翻译：含FULLERENE的结构体及其制造方法
公开(公告)号：EP1018487A1
公开(公告)日：2000-07-12
申请号：EP98909786.0
申请日：1998-03-20
申请人： Japan Science and Technology Corporation , Kabushiki Kaisha Toshiba
发明人： TANAKA, Shun-ichiro , XU, BingShe 102 Perute Kanazawabunko
IPC分类号： C01B31/02
CPC分类号： B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/15 , C01B32/152 , Y10S427/102 , Y10S977/734 , Y10S977/742 , Y10S977/843 , Y10T428/30
摘要： A fullerene containing structure comprises an amorphous carbon base having a first amorphous carbon layer and a second amorphous carbon layer laminated together, and a giant fullerene formed in the neighborhood of layer interface of the amorphous carbon base straddling on both the amorphous carbon layers. A plurality of giant fullerenes generated in the neighborhood of the layer interface are connected together to form a continuum body such as a film structure (a film of giant fullerene) or the like. According to such the fullerene containing structure, a shape and a position to be formed of the giant fullerene, further a state of formation such as a connecting structure or the like can be controlled. In addition, the stable carbon base can protect the generated giant fullerene itself.
摘要翻译：含富勒烯结构包括具有层压在一起的第一无定形碳层和第二无定形碳层的无定形碳基体，以及形成在跨越两个无定形碳层的无定形碳基体的层界面附近的巨型富勒烯。在层界面附近产生的多个巨型富勒烯连接在一起以形成诸如膜结构（巨型富勒烯膜）等的连续体。根据这样的富勒烯的结构，可以控制巨型富勒烯的形状和形成位置，还可以控制连接结构等的形成状态。另外，稳定的碳基可以保护产生的巨大富勒烯本身。

80. 发明公开

EP0871587A4 EP0871587A4 - 失效
标题翻译： EP0871587A4 - Google专利
公开(公告)号：EP0871587A4
公开(公告)日：1998-12-02
申请号：EP96944317
申请日：1996-12-19
IPC分类号： B01J3/06 , C01B21/06 , C01B21/082 , C04B35/58 , C01C3/00
CPC分类号： C04B35/58 , C01B21/0605 , C01P2002/76 , C01P2002/77 , C04B35/645 , Y10S427/102 , Y10T428/30
摘要： A cubic form of C3N4 with a zero-pressure bulk modulus exceeding that of diamond. Also a process for preparing such product which comprises combining carbon and nitrogen at a pressure of 120,000 to 800,000 atmosphere and a temperature of 1000-3000 °C. Carbon particles may be immersed in liquid nitrogen and the mixture heated by a laser beam followed by quenching.
摘要翻译：立方形的C3N4，其零压体积弹性模量超过钻石的体积弹性模量。还有一种制备这种产品的方法，该方法包括在120,000-800,000大气压和1000-3000℃的温度下合并碳和氮。可以将碳颗粒浸入液氮中，并通过激光束加热混合物，然后淬火。

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